一种纳米结构电介质电容器及其制备方法与流程

文档序号:11924720阅读:来源:国知局
技术总结
本发明公开了一种纳米结构电介质电容器及其制备方法,首先通过阳极氧化技术制备有序氧化钛纳米管阵列膜,然后进行氮化将氧化钛纳米管阵列膜转变为氮化钛纳米管阵列膜,再在氮化钛纳米管阵列表面利用阳极氧化保形性地制备氧化钛电介质膜,最后均匀沉积一层导电高分子膜作为对电极,形成氮化钛/氧化钛/导电高分子体系的全固态纳米电介质电容器。本发明通过简单的阳极氧化技术,可以实现电介质电容器比容量的大幅提高。

技术研发人员:朱绪飞;范昊雯;王晶;张伟康;廖茂颖;宋晔
受保护的技术使用者:南京理工大学
文档号码:201610634352
技术研发日:2016.08.05
技术公布日:2017.05.17

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