技术总结
本发明提供了一种用于面板级扇出表面处理的工艺系统及方法，该工艺系统包括：脱气塔、装卸载单元、载台及其搬运装置、射频蚀刻室以及物理气相沉积室；其中，载台用于承载并固定面板级扇出，装卸载单元用于将经过脱气塔处理后的面板级扇出装载到载台上以及用于将经过射频蚀刻室和/或物理气相沉积室处理后的面板级扇出从载台上卸载下来，搬运装置用于在装卸载单元、射频蚀刻室以及物理气相沉积室之间搬运所述载台。该工艺系统的设备组成结构简单，只需一个机械手在一个工作站(装卸载工作站)即可完成对面板级扇出的装卸载过程，且该工艺系统具有通用性强(适用于多种尺寸规格的面板级扇出)以及生产效率高的特点。
技术研发人员：丁万春
受保护的技术使用者：通富微电子股份有限公司
文档号码：201610939297
技术研发日：2016.10.25
技术公布日：2017.03.15