技术总结
本发明公开了一种用于制作栅极驱动单元的方法、栅极驱动单元和栅极驱动电路。其中，栅极驱动单元的制作方法包括：在第二金属层上形成光阻层；利用半色调掩膜版对光阻层进行曝光和显影；判断是否执行烧光阻步骤；在判断出执行烧光阻步骤时，采用烧光阻工艺去除光阻层上对应半色调掩膜版的半透光区域的光阻，采用蚀刻工艺蚀刻掉第二金属层上未被光阻覆盖的金属，并灰化剩余光阻，得到第一金属图案；在判断出不执行烧光阻步骤时，采用蚀刻工艺蚀刻掉第二金属层上未被光阻覆盖的金属，并灰化剩余光阻，得到第二金属图案。
技术研发人员：徐向阳
受保护的技术使用者：深圳市华星光电技术有限公司
文档号码：201611253204
技术研发日：2016.12.30
技术公布日：2017.05.10