1.一种用于板式PECVD整排手动下料装置，其特征在于，包括框架型材(10)，框架型材(10)的上下两侧均设有圆形丝杆(11)，每根圆形丝杆(11)上均设有可以左右滑动的固定滑块(12)，两个固定滑块(12)分别固定在整排真空吸片器(13)的两端，框架型材(10)内还设有硅片承载盒(14)。
2.如权利要求1所述的一种用于板式PECVD整排手动下料装置，其特征在于，所述的整排真空吸片器(13)包括平移架(6)，平移架(6)下设有多个真空吸片器(7)，平移架(6)上设有平移把手(9)，平移把手(9)上设有真空开关(8)。
3.如权利要求1所述的一种用于板式PECVD整排手动下料装置，其特征在于，所述的真空吸片器(7)的数量与石墨框(4)内每排可放的硅片(5)数量相同。