技术总结
本实用新型公开了一种用于板式PECVD整排手动下料装置，其特征在于，包括框架型材，框架型材的上下两侧均设有圆形丝杆，每根圆形丝杆上均设有可以左右滑动的固定滑块，两个固定滑块分别固定在整排真空吸片器的两端，框架型材内还设有硅片承载盒。本实用新型通过平移把手将整排真空吸片器平移到硅片上方，打开真空开关使硅片吸出石墨框，通过平移把手将硅片平移到硅片承载盒上方，关闭真空开关使硅片掉落到硅片承载盒中，整个下片过程整排进行，减少了下料操作次数，缩短了下料时间，降低了生产过程碎片。
技术研发人员：王烨明
受保护的技术使用者：百力达太阳能股份有限公司
文档号码：201621352889
技术研发日：2016.12.09
技术公布日：2017.07.18