一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置的制作方法

文档序号:12680016阅读:307来源:国知局
一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置的制作方法

本发明涉及一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,属于蓝宝石晶片加工技术领域。



背景技术:

蓝宝石因其硬度达到莫氏硬度9,在其加工工序中很重要的一点是贴片加工,也反应了蓝宝石晶片贴片是表面抛光加工的前置工序,一直是必须且不可以替代的重要工序之一。目前贴片的方法有很多种,主要采用光敏感胶水、蜡、其他高分子胶水等等。这些粘合剂的不论材料还是形态,作为蓝宝石衬底的贴片必须符合一个原则:可以贴片,可以拆卸。一般粘合剂的融化温度保持在100度以内,脱片作为一个不被技术看重的细小工序,往往是影响良率的决定因素。

脱片目前业界主要采用的是,首先对蓝宝石陶瓷盘(基板)进行加热至一定的温度,使得贴片的粘合剂产生化学反应或者融化现象,进而利用外力进行脱片。脱片过程中采用人为的旋转挪动,将所有蓝宝石晶片进行脱片,由于温度高,易对人产生烫伤危害,且盘面较大且重,不易转动;脱片时,粘合剂产生一定的粘性,很多采用刀片,树脂薄片的方法对其强制脱离,这种方法不仅效率低下,产生的蓝宝石边缘崩边很多,从而使整体的良率非常低下,让很多蓝宝石衬底厂家的崩角良率降低,损失可达5%-10%。



技术实现要素:

本发明的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,操作方便,可使蓝宝石晶片贴于平台加工后快速卸片,且保证产品质量。

本发明是通过如下的技术方案予以实现的:

一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,包括工作台和顶出机构,其中,所述工作台上设有加热盘,所述加热盘内设有通孔,所述顶出机构包括轴杆、杠杆和气缸,所述轴杆顶部设有第一挡板,所述轴杆外设有轴承、第二挡板和导向套,所述轴承包括外圈、内圈和保持架,所述外圈与通孔配合,且内壁上设有第一凹槽,底部设有第二凹槽,所述第一凹槽和第二凹槽分别与第一挡板和第二挡板配合,所述内圈至于第一挡板和第二挡板之间,且内壁与轴杆外壁配合,所述保持架位于外圈和内圈之间,所述保持架上设有若干滚动体;

所述轴承顶部设有硅胶垫,所述硅胶垫底部设有凸台,所述凸台与外圈内壁配合,所述导向套与工作台之间设有固定架,所述杠杆两端分别设有第一凹口和第二凹口,所述轴杆底部至于第一凹口内,且与杠杆铰接,所述气缸上设有升降轴,所述升降轴端部置于第二凹口内,且与杠杆铰接,所述气缸连接有脚踏开关,所述杠杆两侧设有支撑架,所述支撑架位于轴杆和升降轴之间,所述支撑架与杠杆之间设有销轴。

上述一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,其中,所述加热盘表面设有第三凹槽,所述第三凹槽呈田字型。

上述一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,其中,所述加热盘内设有若干加热丝,若干加热丝呈环形且同心设置。

上述一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,其中,所述外圈与通孔之间设有隔热套。

上述一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,其中,所述杠杆由第一水平杆、第一倾斜杆、第二水平杆和第二倾斜杆依次相连组成,所述第一倾斜杆和第二倾斜杆相互平行,且与第二水平杆之间的夹角a为160°。

本发明的有益效果为:

本发明结构紧凑、设计合理,不仅场地占用小,且操作方便,将待脱蓝宝石晶片的陶瓷盘放置于加热盘上,等待温度达到一定数值后,通过脚踏开关控制气缸开启,升降轴下降带动杠杆一侧下降,抬升轴杆,从而通过轴承将陶瓷盘整体顶起,方便人员就近作业,同时在脱片过程中可通过旋转陶瓷盘使待脱位置就近,方便操作,大大降低了搬运劳动强度以及脱片造成的破碎和人为问题,不仅降低了生产周期和成本,也大大提高了生产效率和良率。

附图说明

图1为本发明结构示意图。

图2为本发明加热盘结构示意图。

(图中,工作台1和顶出机构2,加热盘3,第三凹槽4,加热丝5,通孔6,轴杆7、杠杆8和气缸9,第一挡板10,轴承11、第二挡板12和导向套13,外圈14、内圈15和保持架16,第一凹槽17,第二凹槽18,隔热套19,滚动体20,硅胶垫21,凸台22,固定架23,第一凹口24和第二凹口25,升降轴26,支撑架27,销轴28,脚踏开关29,第一水平杆30、第一倾斜杆31、第二水平杆32和第二倾斜杆33)。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。

一种蓝宝石晶片加工用快速脱片装置,包括工作台和顶出机构,其中,所述工作台上设有铝制加热盘,所述加热盘表面设有第三凹槽,所述第三凹槽呈田字型,所述加热盘内设有若干加热丝,若干加热丝呈环形且同心设置,所述加热盘内设有通孔,所述顶出机构包括轴杆、杠杆和气缸,所述轴杆顶部设有第一挡板,所述轴杆外设有轴承、第二挡板和导向套,所述轴承包括外圈、内圈和保持架,所述外圈与通孔配合,且内壁上设有第一凹槽,底部设有第二凹槽,所述外圈与通孔之间设有隔热套,所述第一凹槽和第二凹槽分别与第一挡板和第二挡板配合,所述内圈至于第一挡板和第二挡板之间,且内壁与轴杆外壁配合,所述保持架位于外圈和内圈之间,所述保持架上设有若干滚动体;

所述轴承顶部设有硅胶垫,所述硅胶垫底部设有凸台,所述凸台与外圈内壁配合,所述导向套与工作台之间设有固定架,所述杠杆两端分别设有第一凹口和第二凹口,所述轴杆底部至于第一凹口内,且与杠杆铰接,所述气缸上设有升降轴,所述升降轴端部置于第二凹口内,且与杠杆铰接,所述气缸连接有脚踏开关,所述杠杆由第一水平杆、第一倾斜杆、第二水平杆和第二倾斜杆依次相连组成,所述第一倾斜杆和第二倾斜杆相互平行,且与第二水平杆之间的夹角a为160°,所述杠杆两侧设有支撑架,所述支撑架位于轴杆和升降轴之间,所述支撑架与第二水平杆之间设有销轴。

本发明的工作方式为:

将待脱蓝宝石晶片的陶瓷盘放置于加热盘上,等待温度达到一定数值后,采用环形加热丝加热均匀,采用“田”字型第三凹槽,课防止表面碎削将陶瓷基板压破,通过脚踏开关控制气缸开启和速率,升降轴平稳下降带动杠杆一侧下降,抬升轴杆,导向套保证轴杆作直线运动,从而通过轴承将陶瓷盘整体顶起,硅胶垫和隔热套阻热减震,方便人员就近作业,同时在脱片过程中可通过旋转陶瓷盘使待脱位置就近,方便操作;且轴承与轴杆安装配合紧密可靠,有利于支撑陶瓷盘作旋转运作,杠杆尺寸设计利于提高装置刚性,利于使用。

以上所述,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,可轻易想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围内。因此,本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。

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