技术特征：
技术总结
本发明提供一种基板输送装置和基板输送方法。在吸引并输送基板的基板输送装置中，高精度地检测基板的输送的异常。基板输送装置构成为具备：基板保持部，其具备用于吸引并保持基板的吸引孔；移动机构，其用于使所述基板保持部移动；压力检测部，其对与所述吸引孔连通的吸引通路的压力进行检测；以及控制部，其基于所述压力检测部的压力检测值的微分值来检测输送的异常。通过像这样获取微分值，能够高精度地掌握吸引通路的压力的变化，因此能够高精度地检测基板的输送的异常。
技术研发人员：坂元直人;牧准之辅;梶原英树;森弘明;石丸和俊;绪方正彦
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：2017.03.24
技术公布日：2017.10.03