一种半导体发光元件及其制备方法与流程

文档序号:11252783阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种半导体发光元件,其至少包括衬底,以及位于所述衬底上的缓冲层、N型层、第一势垒层、浅量子阱层、多量子阱发光层和P型层,其特征在于:于所述N型层和第一势垒层之间插入差排形成层,所述差排形成层包括交替层叠的InxGa1‑xN子层和n‑GaN子层,其中0.01<x<0.1,本发明通过采用低温生长于N型层和第一势垒层之间生长InxGa1‑xN/n‑GaN周期性结构的差排形成层,差排形成层产生的差排密度及宽度会逐渐加深及增大而形成V型缺陷,进而影响差排密度,从而提高量子阱内量子效率。

技术研发人员:林继宏;林兓兓;蔡吉明;张家宏
受保护的技术使用者:安徽三安光电有限公司
技术研发日:2017.05.27
技术公布日:2017.09.15
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