阵列基板及其制造方法、显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种阵列基板及其制造方法、显示装置。
【背景技术】
[0002]随着显示技术的发展，人们对显示装置的显示效果的要求越来越高，进而对显示装置中阵列基板的制作工艺的要求也越来越高。
[0003]阵列基板可以包括:衬底基板，以及形成在该衬底基板上的栅极、栅线、公共电极线、像素电极和数据线。在制造阵列基板时，可以首先在衬底基板上同时形成栅极、栅线和公共电极线，栅线的长度方向和公共电极线的长度方向平行，且栅线与栅极相连接；在形成有栅极、栅线和公共电极线的衬底基板上形成像素电极，像素电极与公共电极线相连接；在形成有像素电极的衬底基板上形成数据线，数据线的长度方向分别与栅线的长度方向、公共电极线的长度方向垂直，且数据线与栅极、公共电极线在衬底基板上的投影有重叠区域。需要说明的是，由于在制造阵列基板的过程中，衬底基板的表面很容易附着一些颗粒，在衬底基板表面形成数据线后，数据线的功能性不良，阵列基板的功能性不良，因此在上述的每个步骤之前，均需要对衬底基板的表面进行清洗，除去衬底基板表面附着的颗粒。具体的，可以倾斜衬底基板，并向衬底基板的表面喷洒清洗液，附着在衬底基板表面的颗粒能够在清洗液流动的作用下脱离衬底基板的表面。
[0004]由于在形成数据线之前，衬底基板的上形成有栅极、公共电极线，在清洗衬底基板表面的颗粒时，会有一部分颗粒附着于栅极、栅线与衬底基板表面的连接部位，且无法随着清洗液的流动脱离衬底基板的表面，因此，衬底基板的表面附着的颗粒较多，在衬底基板表面形成数据线后，数据线的功能性不良，阵列基板的功能性不良。
【发明内容】
[0005]为了解决数据线的功能性不良，阵列基板的功能性不良的问题，本发明提供了一种阵列基板及其制造方法、显示装置。所述技术方案如下:
[0006]第一方面，提供了一种阵列基板，所述阵列基板包括:
[0007]衬底基板；
[0008]所述衬底基板上形成有包含至少一个凸起的铺垫层；
[0009]形成有所述铺垫层的衬底基板上形成有数据线，所述数据线在所述铺垫层的正投影与所述凸起存在重叠区域。
[0010]可选的，所述铺垫层包括:多个栅极和多个栅线；
[0011]每个所述栅极与一个栅线连接，至少一个所述栅线远离所述栅极的一侧设置有阵列排布的多个凸起，所述凸起的高度方向与所述栅线的宽度方向平行。
[0012]可选的，至少一个所述栅极上远离栅线的一侧设置有凸起。
[0013]可选的，所述铺垫层还包括:多个公共电极线，
[0014]至少一个所述公共电极线两侧设置有阵列排布的多个凸起。
[0015]可选的，每个所述栅线远离所述栅极的一侧设置有阵列排布的多个凸起；
[0016]每个所述公共电极线两侧设置有阵列排布的多个凸起。
[0017]可选的，所述衬底基板上形成有包含至少一个凸起的所述铺垫层，所述铺垫层上的凸起以垫层加高的方式形成，所述凸起的高度方向与所述铺垫层的厚度方向平行。
[0018]可选的，所述铺垫层包括:栅极绝缘层，所述栅极绝缘层上设置有阵列排布的多个凸起，所述栅极绝缘层上的凸起以垫层加高的方式形成，所述凸起的高度方向与所述栅极绝缘层的厚度方向平行。
[0019]可选的，所述凸起为圆弧形凸起，所述圆弧形凸起的宽度大于或等于所述数据线的宽度。
[0020]可选的，所述凸起为方形凸起，所述方形凸起的宽度大于或等于所述数据线的宽度。
[0021]第二方面，提供了一种阵列基板的制造方法，所述阵列基板的制造方法包括:
[0022]在衬底基板上形成包含至少一个凸起的铺垫层；
[0023]在形成有所述铺垫层的衬底基板上形成数据线，所述数据线在所述铺垫层的正投影与所述凸起存在重叠区域。
[0024]可选的，所述在衬底基板上形成包含至少一个凸起的铺垫层，包括:
[0025]采用单色掩膜板在所述衬底基板上形成多个栅极和多个栅线，每个所述栅极与一个栅线连接，至少一个所述栅线远离所述栅极的一侧设置有阵列排布的多个凸起，所述凸起的高度方向与所述栅线的宽度方向平行。
[0026]可选的，至少一个所述栅极上远离栅线的一侧设置有凸起。
[0027]可选的，所述采用单色掩膜板在所述衬底基板上形成多个栅极和多个栅线，包括:
[0028]采用单色掩膜板在所述衬底基板上形成多个栅极、多个栅线和多个公共电极线，至少一个所述公共电极线两侧设置有阵列排布的多个凸起。
[0029]可选的，每个所述栅线远离所述栅极的一侧设置有阵列排布的多个凸起；
[0030]每个所述公共电极线两侧设置有阵列排布的多个凸起。
[0031]可选的，所述在衬底基板上形成包含至少一个凸起的铺垫层，包括:
[0032]采用多色掩膜板以垫层加高的方式，在所述衬底基板上形成包含至少一个凸起的铺垫层，所述凸起的高度方向与所述铺垫层的厚度方向平行。
[0033]可选的，所述在衬底基板上形成包含至少一个凸起的铺垫层，包括:
[0034]采用多色掩膜板以垫层加高的方式，在所述衬底基板上形成栅极绝缘层，所述栅极绝缘层上设置有阵列排布的多个凸起，所述凸起的高度方向与所述栅极绝缘层的厚度方向平行。
[0035]可选的，所述凸起为圆弧形凸起，所述圆弧形凸起的宽度大于或等于所述数据线的宽度。
[0036]可选的，所述凸起为方形凸起，所述方形凸起的宽度大于或等于所述数据线的宽度。
[0037]第三方面，提供了一种显示装置，所述显示装置包括如第一方面所述的阵列基板。
[0038]本发明提供了一种阵列基板及其制造方法、显示装置，由于阵列基板中的铺垫层上设置有凸起，且数据线在铺垫层的正投影与凸起存在重叠区域，在铺垫层上形成数据线之前，附着于凸起上的颗粒，能够随着清洗液的流动脱离衬底基板的表面，即铺垫层上设置有凸起的位置不会附着有颗粒，在铺垫层上形成的数据线不会受到附着在铺垫层上的颗粒的影响，衬底基板表面待形成数据线的位置上不会附着的颗粒，所以，消除了数据线的功能性不良，以及阵列基板的功能性不良。
[0039]应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。
【附图说明】
[0040]为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0041]图1是本发明实施例提供的一种阵列基板的结构示意图；
[0042]图2是相关技术提供的一种阵列基板的结构示意图；
[0043]图3是本发明实施例提供的一种阵列基板的局部结构的俯视图；
[0044]图4是本发明实施例提供的另一种阵列基板的局部结构的俯视图；
[0045]图5是本发明实施例提供的一种阵列基板的剖面图；
[0046]图6是本发明实施例提供的另一种阵列基板的结构示意图；
[0047]图7是本发明实施例提供的一种阵列基板的制造方法的方法流程图；
[0048]图8是本发明实施例提供的另一种阵列基板的制造方法的方法流程图；
[0049]图9是本发明实施例提供的又一种阵列基板的制造方法的方法流程图。
[0050]通过上述附图，已示出本发明明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本发明构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。
【具体实施方式】
[0051]为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。
[0052]本发明实施例提供了一种阵列基板，该阵列基板可以包括；衬底基板，衬底基板上可以形成有包含至少一个凸起的铺垫层；形成有铺垫层的衬底基板上可以形成有数据线，且数据线在铺垫层上的正投影与铺垫层上的凸起存在重叠区域。
[0053]综上所述，由于本发明实施例提供的阵列基板中，铺垫层上设置有凸起，且数据线在铺垫层的正投影与凸起存在重叠区域，在铺垫层上形成数据线之前，附着于凸起上的颗粒，能够随着清洗液的流动脱离衬底基板的表面，即铺垫层上设置有凸起的位置不会附着有颗粒，在铺垫层上形成的数据线不会受到附着在铺垫层上的颗粒的影响，所以，消除了数据线的功能性不良，以及阵列基板的功能性不良。
[0054]—方面，如图1所示，本发明实施例提供了一种阵列基板0，该阵列基板O可以包括:衬底基板01，衬底基板01上可以形成有包含至少一个凸起A的铺垫层；形成有铺垫层的衬底基板Ol上形成有数据线03，且该数据线03在铺垫层的正投影与凸起A存在重叠区域。该铺垫层可以包括:多个栅极021和多个栅线022。每个栅极021与一个栅线022连接，至少一个栅线022远离栅极021的一侧设置有阵列排布的多个凸起A，且图1中的每个凸起A的高度方向e均与栅线022的宽度方向f平行。本发明实施例中的衬底基板01可以为玻璃基板，需要说明的是，本发明实施例中的衬底基板01还可以为其他基板，本发明实施例对此不做限定。
[0055]可选的，至少一个栅极021上远离栅线022的一侧可以设置有阵列排布的多个凸起A。该铺垫层02还可以包括:多个公共