柔性基板及其制作方法、显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种柔性基板及其制作方法、显示装置。
【背景技术】
[0002]柔性显示装置是一种基于柔性基底材料制作形成的显示装置。由于柔性显示装置具有可卷曲、宽视角、便于携带等特点，因此，在便携产品、多数显示应用领域柔性显示装置具有广阔的应用前景以及良好的市场潜力。
[0003]—般柔性显示装置中都设置有电容，由于电容的极板一般具有相对较大的面积，在柔性显示装置被折弯的过程电容距离基底较远的极板很容易被折断，影响柔性显示装置的发光显示。
【发明内容】
[0004]本发明的一个目的在于解决柔性显示装置中电容极板容易被折断影响显示的技术问题。
[0005]第一方面，本发明提供了一种柔性基板，包括柔性基底和设置在所述柔性基底上的电容；所述电容包括设置在所述柔性基底上的第一极板，设置在所述第一极板之上的电容介质层和设置在所述电容介质层上的第二极板；
[0006]其中，所述第二极板中包括具有第一厚度的第一部分和具有第二厚度的第二部分，所述第一部分和所述第二部分同层形成，所述第一厚度与所述第二厚度是不相等的。
[0007]进一步的，所述第二极板包括多个第一部分，两个相邻的第一部分之间间隔有第二部分;和/或;
[0008]所述第二极板包括多个第二部分，两个相邻的第二部分之间间隔有第一部分。
[0009]进一步的，所述第二极板包括多个第一部分，各个第一部分不对齐到同一行或同一列；和/或，
[0010]所述第二极板包括多个第二部分，各个第二部分不对齐到同一行或同一列。
[0011 ] 进一步的，所述第一部分与所述第二部分在不同的工艺中形成。
[0012]进一步的，所述柔性基板还包括设置在柔性基底上的薄膜晶体管；
[0013]所述第一部分与所述薄膜晶体管中的源漏极在同一工艺中形成，所述第二部分与所述薄膜晶体管中的栅极在同一工艺中形成；
[0014]或，
[0015]所述第二部分与所述薄膜晶体管中的源漏极在同一工艺中形成，所述第一部分与所述薄膜晶体管中的栅极在同一工艺中形成。
[0016]进一步的，所述第二极板的中央区域形成有镂空图形。
[0017]进一步的，所述第一极板为多晶硅半导体。
[0018]进一步的，所述柔性基板还包括设置在柔性基底上的薄膜晶体管；所述第一极板与所述薄膜晶体管中的有源层在同一工艺中形成。
[0019]第二方面，本发明还提供了一种柔性基板的制作方法，包括:
[0020]在柔性基底上用于形成电容的区域形成第一极板；
[0021]在所述第一极板上形成电容介质层；
[0022]在所述电容介质层上形成第二极板；其中，所述第二极板包括具有第一厚度的第一部分和具有第二厚度的第二部分，所述第一部分和所述第二部分同层形成，所述第一厚度与所述第二厚度是不相等的。
[0023]进一步的，还包括:在柔性基底上形成薄膜晶体管的过程；
[0024]在电容介质层上形成第二极板，具体包括:
[0025]在形成所述薄膜晶体管的栅极的同一工艺中所述形成第一部分，在形成所述薄膜晶体管的源漏极的同一工艺中形成第二部分；
[0026]或者，
[0027]在形成所述薄膜晶体管的栅极的同一工艺中所述形成第二部分，在形成所述薄膜晶体管的源漏极的同一工艺中形成第一部分。
[0028]第三方面，本发明还提供了一种显示装置，包括上述任一项所述的柔性基板。
[0029]本发明提供的柔性基板中，第二极板，即电容距离基底较远的极板中包括具有第一厚度的第一部分和具有第二厚度的第二部分，所述第一部分和所述第二部分同层形成，第一厚度和第二厚度不相同，这样第二极板在第一部分和第二部分之间具有段差。在将柔性基板折弯的过程中，这样的段差会使得第二极板受到的水平方向的应力大幅减小，从而降低该第二极板被折断的风险。
【附图说明】
[0030]图1为本发明提供的一种柔性基板的横截面示意图；
[0031]图2为本发明提供的一种柔性基板的俯视示意图；
[0032]图3为本发明提供的再一种柔性基板的俯视示意图；
[0033]图4为本发明提供的再一种柔性基板的俯视示意图；
[0034]图5为本发明提供的再一种柔性基板的俯视示意图。
【具体实施方式】
[0035]为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他的实施例，都属于本发明保护的范围。
[0036]第一方面，本发明提供了一种柔性基板，包括柔性基底和设置在所述柔性基底上的电容；所述电容包括设置在所述柔性基底上的第一极板，设置在所述第一极板之上的电容介质层和设置在所述电容介质层上的第二极板；
[0037]其中，所述第二极板中包括具有第一厚度的第一部分和具有第二厚度的第二部分，第一部分和第二部分同层形成，第一厚度和第二厚度是不相等的。
[0038]第二方面，本发明提供了一种柔性基板的制作方法，可以用于制作第一方面所述的柔性基板，该方法包括:
[0039]在柔性基底上用于形成电容的区域形成第一极板；
[0040]在所述第一极板上形成电容介质层；
[0041]在所述电容介质层上形成第二极板，所形成的第二极板中包括具有第一厚度的第一部分和具有第二厚度的第二部分，第一厚度和第二厚度是不相等的。
[0042]本发明提供的柔性基板及利用本发明提供的柔性基板制作方法所制作的柔性基板中，第二极板，即电容距离基底较远的极板包括具有第一厚度的第一部分和具有第二厚度的第二部分，第一部分和第二部分同层形成，第一厚度和第二厚度是不相等的，这样第二极板在第一部分和第二部分之间具有段差。在将柔性基板折弯的过程中，这样的段差会使得第二极板受到的水平方向的应力大幅减小，降低了该第二极板被折断的风险。
[0043]在具体实施时，上述的第二极板中，第一部分和第二部分可以按照多种方式排列组合，使得第二极板的具体结构具有多种不同的形式。相应的，制作方法可能也略有差别，下面结合附图进行说明。
[0044]本发明实施例提供的柔性基板的示意结构可以参考图1-5，该阵列基板包括:基底100、设置在基底100上的第一极板200和设置在第一极板200之上的电容介质层300和设置在电容介质层300之上的第二极板400，参见图1，第二极板400包括具有第一厚度的第一部分410以及具有第二厚度的第二部分420，第一厚度大于第二厚度。参见图2，其中第一部分410的数量为多个，各个第一部分410位于第二极板400的边缘区域，两个第一部分410被第二部分420隔开。
[0045]—般的，参见图1，由于第一部分410和第二部分420的厚度不同，第一部分410的上表面和第二部分420的上表面位于不同平面上，导致第一部分410和第二部分420之间存在段差，这样在柔性基板被折弯的过程中，第二极板400沿第二极板400的整体结构所在的平面(图中为水平方向)上受到的应力会大幅减小，这样可以大幅降低第二极板400被折断的风险。
[0046]参见图2-5，本发明实施例提供的柔性基板，包含多个第一部分410，各个第一部分410之间被第二部分420间隔开，这样能够使得第二极板400的上表面具有多个段差，这样能够更好的减小在柔性基板被折弯的过程中第二极板400在水平方向上受到的应力，从而进一步降低第二极板400被折断的风险。不难理解的是，在实际应用中，设置多个第二部分420，并使各个第二部分420被第一部分410隔开，相应的技术方案也能够达到相似的效果，相应的技术方案也应该落入本发明的保护范围。另外，第一部分410和第二部分420的数量可以均为多个，此时还可以采用第一部分410和第二部分420交替排列的方式。当然，在实际应用中，使第二极板400仅包含一个第一部分410和一个第二部分420，