一种用于三维mcm的隔板及其制作方法_2

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-MCM的单边隔板时,长度与宽度方向的两种隔板长度差尽量最小。
[0028]实施例1:
对于正方形3D-MCM,隔板最好选择图2所示均衡型拼接方式,包括两个长边隔板和两个短边隔板,长边隔板的长度为3D-MCM长度与短边隔板宽度之差,长边隔板的宽度为3D-MCM宽度与短边隔板长度之差。
[0029]隔板1采用多层LTCC生瓷带,通过打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切和烧结等工序制作而成。隔板1生切时,边缘必须平齐。由于拼接后材料厚度的影响,制作每个单边隔板1时比理论值缩短0.1mm。隔板1内有电互连金属化通孔3,金属化通孔3表面覆盖有焊盘2,可用于焊接与制作焊料凸点。焊盘2既起电互连也起机械互连的作用。当电互连点较少时,也可使用不连通孔的焊盘2。图1为隔板1截面示意图。
[0030]拼接隔板时选择磷酸锌(Ζη0-Ρ205)玻璃材料作为拼接材料。将Ζη0_Ρ205研磨成粉状,加入20 wt%松节油,混匀研磨调成浆料形式使用。制作整体隔板1时,先将单块隔板1按设计方位放置在一平面垫板上,在单块隔板1的拼接处4用小毛笔或小软刷将拼接用Ζη0-Ρ205玻璃浆料涂覆到拼接处4隔板1表面和端头,浆料涂覆厚度为0.1mm。四边均涂好后,将单边隔板1两两拼接,并施加一定压力,将多余挤出浆料小心去掉,避免污染隔板1上焊盘2。将拼接的隔板1初步固定,然后,以垫板为载体将拼接的隔板放在130°C环境下烘干8min后,即可放入烧结炉中烧结,烧结温度为550°C。固化后的拼接材料与隔板结合牢固,具有一定的机械强度,拿动时单边隔板不会相互分开和变形,四条单块隔板即组成一个整体隔板。
[0031]
实施例2:
对于1 <长边/宽边< 1.2的3D-MCM,隔板最好选择图3所示全长型拼接方式,包括两个长边隔板和两个短边隔板,长边隔板的长度为三维MCM的长度,长边隔板的宽度为三维MCM宽度与短边隔板长度之差的一半。
[0032]隔板1采用多层LTCC生瓷带,通过整版隔板打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、烧结和熟切等工序制作而成。隔板1熟切时,边缘必须平齐。由于拼接后材料厚度的影响,制作短边隔板时比理论值缩短0.2mm。隔板1内有电互连金属化通孔3,金属化通孔3表面覆盖有焊盘2,可用于焊接与制作焊料凸点。焊盘2既起电互连也起机械互连的作用。当电互连点较少时,也可使用不连通孔的焊盘2。图1为隔板1截面示意图。
[0033]拼接隔板时选择介质材料作为拼接材料。将硼磷酸锌玻璃材料(Ζη0-Β203-Ρ205)和A1203的混合物研磨成粉状,A1 203添加的作用是调节介质材料的烧结温度和粘度,使烧结后隔板拼接处光滑、结合良好,然后加入25 wt%松油醇与聚乙烯醇的混合物,混匀研磨调成浆料形式使用。制作整体隔板1时,先将单块隔板1按设计方位放置在一平面垫板上,在单块隔板1的拼接处4用小毛笔或小软刷将拼接用介质浆料涂覆到拼接处4隔板1表面和端头,浆料涂覆厚度为0.2mm。四边均涂好后,将单边隔板1两两拼接,并施加一定压力,将多余挤出浆料小心去掉,避免污染隔板1上焊盘2。将拼接的隔板1初步固定,然后,以垫板为载体将拼接的隔板放在140°C环境下烘干9min后,即可放入烧结炉中烧结。烧结温度为800°C。固化后的拼接材料与隔板结合牢固,具有一定的机械强度,拿动时单边隔板不会相互分开和变形,四条单块隔板即组成一个整体隔板。
[0034]
实施例3:
对于非正方形和非1 <长边/宽边< 1.2的3D-MCM,隔板最好选择图4所示全宽型拼接方式,包括两个长边隔板和两个短边隔板,短边隔板的长度为三维MCM的宽度,短边隔板的宽度为三维MCM长度与长边隔板长度之差的一半。
[0035]隔板1采用多层LTCC生瓷带,通过整版隔板打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、烧结和熟切等工序制作而成。隔板1熟切时,边缘必须平齐。由于拼接后材料厚度的影响,制作长边隔板时比理论值缩短0.2 mm。隔板1内有电互连金属化通孔3,金属化通孔3表面覆盖有焊盘2,可用于焊接与制作焊料凸点。焊盘2既起电互连也起机械互连的作用。当电互连点较少时,也可使用不连通孔的焊盘2。图1为隔板1截面示意图。
[0036]拼接隔板时选择商品化FHG系列(如FHG502)玻璃浆料作为拼接材料。制作整体隔板1时,先将单块隔板1按设计方位放置在一平面垫板上,在单块隔板1的拼接处4用小毛笔或小软刷将拼接用FHG502玻璃浆料涂覆到拼接处4隔板1表面和端头,浆料涂覆厚度为0.3mm。四边均涂好后,将单边隔板1两两拼接,并施加一定压力,将多余挤出浆料小心去掉,避免污染隔板1上焊盘2。将拼接的隔板1初步固定,然后,以垫板为载体将拼接的隔板放在150°C环境下烘干lOmin后,即可放入烧结炉中烧结,烧结温度为500°C。固化后的拼接材料与隔板结合牢固,具有一定的机械强度,拿动时单边隔板不会相互分开和变形,四条单块隔板即组成一个整体隔板。
[0037]
实施例4:
对于1 <长边/宽边< 1.2的3D-MCM,隔板最好选择图3所示全长型拼接方式,包括两个长边隔板和两个短边隔板,所述长边隔板的长度为三维MCM的长度,长边隔板的宽度为三维MCM宽度与短边隔板长度之差的一半。
[0038]隔板1采用多层LTCC生瓷带,通过打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、生切和烧结等工序制作而成。隔板1生切时,边缘必须平齐。由于拼接后材料厚度的影响,制作短边隔板时比理论值缩短0.15mm。隔板1内有电互连金属化通孔3,金属化通孔3表面覆盖有焊盘2,可用于焊接与制作焊料凸点。焊盘2既起电互连也起机械互连的作用。当电互连点较少时,也可使用不连通孔的焊盘2。图1为隔板1截面示意图。
[0039]拼接隔板时选择具有粘接作用的有机材料作为拼接材料。将具有粘接作用的有机材料混匀调成浆料形式使用。制作整体隔板1时,先将单块隔板1按设计方位放置在一平面垫板上,在单块隔板1的拼接处4用小毛笔或小软刷将拼接用有机浆料涂覆到拼接处4隔板1表面和端头,浆料涂覆厚度为0.25mm。四边均涂好后,将单边隔板1两两拼接,并施加一定压力,将多余挤出浆料小心去掉,避免污染隔板1上焊盘2。将拼接的隔板1初步固定,然后,以垫板为载体将拼接的隔板放在150°C环境下烘干lOmin固化。固化后的拼接材料与隔板结合牢固,具有一定的机械强度,拿动时单边隔板不会相互分开和变形,四条单块隔板即组成一个整体隔板。
[0040]
实施例5:
对于正方形3D-MCM,隔板最好选择图2所示均衡型拼接方式,包括两个长边隔板和两个短边隔板,长边隔板的长度为三维MCM长度与短边隔板宽度之差,长边隔板的宽度为三维MCM宽度与长边隔板宽度之差。
[0041]隔板1采用多层LTCC生瓷带,通过整版隔板打孔、金属填孔、印制焊盘、叠层、热压、烧结和熟切等工序制作而成。隔板1熟切时,边缘必须平齐。由于拼接后材料厚度的影响,制作单边隔板时比理论值缩短0.1mm。隔板1内有电互连金属化通孔3,金属化通孔3表面覆盖有焊盘2,可用于焊接与制作焊料凸点。焊盘2既起电互连也起机械互连的作用。当电互连点较少时,也可使用不连通孔的焊盘2。图1为隔板1截面示意图。
[0042]拼接隔板时选择介质材料作为拼接材料。将硼磷酸锌玻璃材料(Ζη0-Β203-Ρ205)和皿1102的混合物研磨成粉状,MnO 2添加的作用是调节介质材料的烧结温度和粘度,使烧结后隔板拼接处光滑、结合良好,然后加入35 wt%丁基卡必醇醋酸酯与硝酸纤维素的混合物,混匀研磨调成浆料形式使用。制作整体隔板1时,先将单块隔板1按设计方位放置在一平面垫板上,在单块隔板1的拼接处4用小毛笔或小软刷将拼接用介质浆料涂覆到拼接处4隔板1表面和端头,浆料涂覆厚度为0.15mm。四边均涂好后,将单边隔板1两两拼接,并施加一定压力,将多余挤出浆料小心去掉,避免污染隔板1上焊盘2。将拼接的隔板1初步固定,然后,以垫板为载体将拼接的隔板放在145°C环境下烘干9 m
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