路电压，能够提尚广品良率。
[0040]此外，本发明的PERC太阳能电池的制备方法中，工艺流程简单，可基于常规的工艺设备，且没有任何需要高温氧化的过程，避免了高温对PERC太阳能电池表面的破坏，得到的广品良率尚，有利于应用。
[0041 ]本发明还提供一种PERC太阳能电池，根据上述的PERC太阳能电池的制备方法制备而成。由于在上述制备方法中，在硅片制绒之前先进行双面抛光，便于后续制绒；同时，在背面沉积钝化层以及保护层之前对去杂质玻璃之后的硅片进行氧化，起到钝化作用。均能降低结区复合，提高开路电压。因此，通过上述PERC太阳能电池的制备方法制备得到的PERC太阳能电池的广品良率尚。
[0042]下面结合具体实施例对本发明进行进一步的说明。
[0043]实施例1
[0044]在氢氧化钠溶液中对P型多晶硅片进行双面抛光，处理5min，此时抛光之后的单面抛光减薄量为ΙΟμπι;
[0045]采用等离子刻蚀对上述抛光后的Ρ型多晶硅片进行制绒；
[0046]采用旋涂法对上述制绒后的Ρ型多晶硅片进行扩散，扩散方阻为SOohm/sq;
[0047]对上述扩散后的P型多晶硅片进行Rena去背极；
[0048]将上述去背极后的P型多晶硅片放入体积分数为70%的高锰酸溶液中，在75°C时，维持15min，得到氧化后的P型多晶硅片；
[0049]在氧化后的P型多晶硅片的背面依次沉积氧化铝层、氮化硅薄膜，在正面沉积氮化硅减反射薄膜，其中，氧化铝层的厚度为25nm;
[0050]之后利用激光进行背面局部开口、采用丝网印刷正背面金属浆料并烧结。
[0051]对比例1
[0052]采用等离子刻蚀绒面对P型多晶硅片进行制绒；
[0053]采用旋涂法对上述制绒后的Ρ型多晶硅片进行扩散，扩散方阻为SOohm/sq;
[0054]在氢氧化钠溶液中对P型多晶硅片进行抛光，处理5min;
[0055]对上述扩散后的P型多晶硅片进行Rena去背极；
[0056]在氧化后的P型多晶硅片的背面依次沉积氧化铝层、氮化硅薄膜，在正面沉积氮化硅减反射薄膜；
[0057]之后利用激光进行背面局部开口、采用丝网印刷正背面金属浆料并烧结。
[0058]分别随机选择200个实施例1与对比例1制备得到的PERC太阳能电池，进行良品率对比，得到图1。从图1中可以看出，实施例1与对比例1制备得到的PERC太阳能电池的数目均随电池效率的变化呈正态分布。首先，当PERC太阳能电池的效率小于19 %时，随着PERC太阳能电池的效率由低到高，两种方法制备的PERC太阳能电池的数目也由少到多。当PERC太阳能电池的效率达到19 %时，两种方法制备的PERC太阳能电池的数目均最多。当PERC太阳能电池的效率大于19 %之后，两种方法制备的PERC太阳能电池的数目均随之减少。
[0059 ]当PERC太阳能电池的效率等于19 %时，实施例1与对比例1制备得到的PERC太阳能电池的数目最多。此时，实施例1制备得到的200个PERC太阳能电池中合格的数目为120。而对比例1制备得到的200个PERC太阳能电池中合格的数目仅为100，比实施例1制备得到的PERC太阳能电池的数目少了 20。
[0060]而当PERC太阳能电池的效率大于19%时，如图中19.1%和19.2%，实施例1的PERC太阳能电池的制备方法得到的PERC太阳能电池的数目均大于对比例1的PERC太阳能电池的制备方法得到的PERC太阳能电池的数目。
[0061 ]因此，测试结果表明，当PERC太阳能电池的效率等于或大于19%时，实施例1的PERC太阳能电池的制备方法得到的PERC太阳能电池的良品率高于对比例1的PERC太阳能电池的制备方法得到的PERC太阳能电池的良品率。
[0062]以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
[0063]以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【主权项】
1.一种PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤: 对硅片依次进行双面抛光、制绒、扩散、刻蚀和去杂质玻璃、高锰酸氧化； 背面沉积钝化层以及保护层； 正面沉积减反射层； 背面局部开口、印刷正背面金属浆料以及烧结，得到PERC太阳能电池。2.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述高锰酸氧化步骤中，氧化的时间为5min?30min，氧化的温度为50°C?80°C。3.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述高锰酸氧化步骤中，高锰酸的体积分数为50%?80%。4.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述双面抛光步骤中，采用无机碱溶液进行双面抛光，单面抛光减薄量为5μπι?15μπι。5.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述制绒步骤中，采用等离子刻蚀绒面。6.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述扩散步骤中，采用旋涂法进行扩散，扩散方阻为70ohm/sq?1 OOohm/sq。7.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述钝化层为氧化铝层或氧化硅层，所述保护层为氮化硅薄膜，所述减反射层为氮化硅减反射薄膜。8.根据权利要求7所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述钝化层的厚度为5nm?40nmo9.根据权利要求1所述的PERC太阳能电池的制备方法，其特征在于，所述硅片为P型多晶娃。10.一种PERC太阳能电池，其特征在于，所述PERC太阳能电池根据权利要求1?9中任一项所述的PERC太阳能电池的制备方法制备而成。
【专利摘要】本发明涉及一种PERC太阳能电池及其制备方法。上述PERC太阳能电池的制备方法，包括如下步骤：对硅片依次进行双面抛光、制绒、扩散、刻蚀和去杂质玻璃、高锰酸氧化；背面沉积钝化层以及保护层；正面沉积减反射层；背面局部开口、印刷正背面金属浆料以及烧结，得到PERC太阳能电池。与传统的PERC太阳能电池的制备方法相比，本发明的PERC太阳能电池的制备方法，在硅片制绒之前先进行双面抛光，便于后续制绒；同时，在背面沉积钝化层以及保护层之前对去杂质玻璃之后的硅片进行氧化，起到钝化作用。均能降低结区复合，提高开路电压，能够提高产品良率。同时，本发明基于常规工艺，产品良率高。此外，上述PERC太阳能电池根据上述PERC太阳能电池的制备方法制备而成。
【IPC分类】H01L31/18, H01L31/0216
【公开号】CN105489709
【申请号】CN201610038035
【发明人】张为国, 刘超, 刘成法, 张松, 陈寒, 夏世伟, 季海晨
【申请人】上海大族新能源科技有限公司
【公开日】2016年4月13日
【申请日】2016年1月20日