一种合金炉的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及热处理设备领域，特别涉及一种合金炉。
【背景技术】
[0002]发光二极管(Light Emitting D1de，简称LED)外延片包括衬底和在衬底上依次生长的N型层、有源层、P型层、电流阻挡层、以及电流扩散层。其中，电流扩散层一般采用氧化铟锡(ITO)薄膜制成。为提高光电特性，在生长ITO薄膜之后，需对ITO薄膜进行退火处理。
[0003]常用作退火处理的设备包括合金炉。现有合金炉包括恒温炉体、预热管和氮气输出设备。恒温炉体内设有恒温管和电阻丝，电阻丝绕制在恒温管外壁上。预热管设在恒温炉体外部且与恒温管连通。氮气输入设备的出气口与恒温管连通。
[0004]在实现本实用新型的过程中，发明人发现现有技术至少存在以下问题:虽然合金炉的成本低廉，但研发人员发现，经现有合金炉退火处理的LED的工作电压较大、发光效率车父低，光电特性有待提尚。
【实用新型内容】
[0005]为了解决LED的工作电压较大、发光效率较低的问题，本实用新型实施例提供了一种合金炉。所述技术方案如下:
[0006]本实用新型实施例提供了一种合金炉，适用于对发光二极管外延片进行退火处理，所述合金炉包括恒温炉体、预热管和保护气体输出设备，所述恒温炉体内设有恒温管和电阻丝，所述电阻丝绕制在所述恒温管的外壁上，所述恒温管的两端分别与所述保护气体输入设备的出气口和所述预热管的第一端连通，
[0007]所述合金炉还包括密封门、连接管、以及真空泵，所述密封门通过密封连接组件与所述连接管的第一端可拆卸地密封连接，所述连接管的第二端与所述预热管的第二端密封连通，所述连接管上设有所述真空泵的抽气口。
[0008]在第一实施方式中，所述密封门通过密封连接组件与所述连接管的第一端可拆卸地密封连接，所述密封连接组件包括铰接件和卡接结构，所述密封门的第一侧通过所述铰接件与所述连接管的第一端铰接，所述密封门的第二侧通过所述卡接结构与所述连接管的第一端可拆卸连接，所述密封门的第一侧与所述密封门的第二侧相对。
[0009]在第二实施方式中，所述卡接结构包括卡槽、螺栓和螺母，所述卡槽设置在所述密封门的第二侧的侧壁上，所述螺栓的第一端铰接在所述连接管的侧壁上，所述螺栓的第二端与所述螺母螺纹连接，且所述螺栓与所述卡槽的槽口相对设置，所述卡槽与所述螺栓相配合，使得所述密封门的第二侧与所述连接管的第一端连接在一起。
[0010]在第三实施方式中，所述密封门上设有窗户结构，所述窗户结构包括相匹配的窗口和窗扇，所述窗口开设在所述密封门上，所述窗扇的一端铰接在所述密封门上且靠近所述窗口的一侧，所述窗扇的另一端可拆卸地连接在所述密封门上且靠近所述窗口的另一侧。
[0011]在第四实施方式中，所述密封门与所述连接管之间设有第一密封圈。
[0012]在第五实施方式中，所述密封门的内部设有第一冷却循环管路，所述第一冷却循环管路与所述第一密封圈接触，所述密封门上设有所述第一冷却循环管路的进水口和出水
□ O
[0013]在第六实施方式中，所述密封门的形状为圆柱状。
[0014]在第七实施方式中，所述连接管套设在所述预热管上，所述连接管与所述预热管之间设有第二密封圈。
[0015]在第八实施方式中，所述连接管上设有第二冷却循环管路，所述第二冷却循环管路与所述第二密封圈接触，所述连接管上设有所述第二冷却循环管路的进水口和出水口。
[0016]在第九实施方式中，所述合金炉还包括喷头，所述喷头设置在所述保护气体输出设备的出气口与所述恒温管之间。
[0017]本实用新型实施例提供的技术方案带来的有益效果是:
[0018]通过密封门和连接管将预热管和恒温炉体进行密封。这样，真空泵可以将预热管和恒温炉体内的空气吸出，使得LED外延片的预热和退火环境为真空环境，从而使得制得的LED比现有合金工艺下制得的LED电压更低，亮度更高，提高了光电性能；同时，密封门、连接管和真空泵的价格较低，使得合金炉的整体成本较低，节省了生产成本。
【附图说明】
[0019]为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是本实用新型实施例提供的一种合金炉的示意图；
[0021]图2是本实用新型实施例提供的密封门与连接管的结构示意图；
[0022]图3是图2去除密封门之后的左视图；
[0023]图4是图2的俯视图；
[0024]图5是喷头的结构示意图。
【具体实施方式】
[0025]为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型实施方式作进一步地详细描述。
[0026]实施例
[0027]本实用新型实施例提供了一种合金炉，适用于对发光二极管(Light EmittingD1de，简称LED)外延片进行退火处理。参见图1，该合金炉包括恒温炉体1、预热管3和保护气体输出设备(图未示出)。恒温炉体I内设有恒温管2和电阻丝(图未示出)，电阻丝绕制在恒温管2的外壁上。恒温管2的第一端与保护气体输出设备的出气口连通，恒温管2的第二端与预热管3的第一端连通。
[0028]该合金炉还包括密封门5、连接管4、以及真空泵6。密封门5通过密封连接组件7与连接管4的第一端可拆卸地密封连接。连接管4的第二端与预热管3的第二端密封连通。连接管4上设有真空泵6的抽气口 A。
[0029]其中，电阻丝用于加热恒温管2。恒温管2用于放置LED外延片和储存热量，并对LED外延片进行退火处理。预热管3用于放置LED外延片和储存恒温管2流动出的热量，并在LED外延片进行退火处理之前，对LED外延片进行预热。保护气体输出设备用于为LED外延片的预热和退火过程提供保护气体环境，图1中箭头方向指示出了保护气体的输出方向。该保护气体可以是氮气或氧气。
[0030]其中，密封门5和连接管4用于将预热管3和恒温炉体I进行密封。这样，真空泵6可以将预热管3和恒温炉体I内的空气吸出，使得LED外延片的预热和退火环境为真空环境，从而使得制得的LED比现有合金工艺下制得的LED电压更低，亮度更高，提高了光电性會K。
[0031]参见图2?图4，密封连接组件7包括铰接件71和卡接结构72。密封门5的第一侧通过铰接件71与连接管4的第一端铰接，密封门5的第二侧通过卡接结构72与连接管4的第一端可拆卸连接。密封门5的第一侧与第二侧相对。
[0032]在本实施例中，密封门5用于密封连接管4。当密封门5闭合时，连接管4为密封状态；当密封门5开启时，连接管4为未密封状态。密封连接组件7用于在合金炉中放入或取出LED外延片时，开启或闭合密封门5 ;并且，在密封门5闭合时，对密封门5与连接管4进行密封。
[0033]作为可选的实施方式，卡接结构72包括卡槽72a、螺栓72b和螺母72c。卡槽72a设置在密封门5的第二侧的侧壁上，螺栓72b的第一端铰接在连接管4的侧壁上，螺栓72b的第二端与螺母72c螺纹连接。且螺栓72b与卡槽72a的槽口相对设置，卡槽72a与螺栓72b相匹配，使得密封门5的第二侧与连接管4的第一端连接在一起。
[0034]当需要闭合密封门5时，首先，通过铰接件71拉动密封门5，将密封门5贴合至连接管4的端口。然后，拉动螺栓72b，将螺栓72b卡在卡槽72a上。最后，转动螺母72c，直到将密封门5压紧到连接管4上。
[0035]作为可选的实施方式，密封门5上设有窗户结构51，该窗户结构51包括相匹配的窗口 51a和窗扇51b。窗口 51a开设在密封门5上，窗扇51b的一端较接在密