技术总结
本实用新型涉及一种刻蚀机的防静电结构，包括离子风机和送风管道，所述离子风机的出风口与送风管道的入口连接，所述送风管道的出口设有一喷淋头，喷淋头的喷淋口朝向硅片的传输平面布置。本实用新型有效中和了硅片表面的静电，避免了PN结被破坏，同时减少硅片对尘埃的吸附。
技术研发人员：周军;党继东;李栋;刘东续
受保护的技术使用者：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司
文档号码：201720250378
技术研发日：2017.03.15
技术公布日：2017.10.03