过导电层212上形成的窗(W)到达基础部件211的露出部分。到达的玻璃纤维蚀刻液(GE)去除基础部件211露出部分的玻璃纤维211b。玻璃纤维蚀刻液(GE)主要通过化学作用去除玻璃纤维211b，但直接接触玻璃纤维211b时作用的物理冲撞能量也有助于清除产生玻璃纤维211b和副产物的污泥，因此从喷嘴部141a喷射的玻璃纤维蚀刻液(GE)的喷射压力优选大于lkgf/cm2。
[0077]另一方面，第二树脂清除部150是将移送的基板210浸渍在第二树脂溶液(RE2)中的状态下，利用第二流动装置152将第二树脂蚀刻液(RE2)通过窗(W)喷射到所述露出的基础部件211部分，从而清除树脂材料的装置。
[0078]第二树脂清除部150包括第二树脂蚀刻液收容部151和第二流动装置152。
[0079]第二树脂蚀刻液收容部151具有容器形状，并且收容着第二树脂蚀刻液(RE2)。
[0080]收容于第二树脂蚀刻液收容部151的第二树脂蚀刻液(RE2)是用于清除树脂材料211a的蚀刻液。
[0081 ] 本实施例中，收容于第二树脂蚀刻液收容部151的第二树脂蚀刻液(RE2)使用与收容于第一树脂蚀刻液收容部131的第一树脂蚀刻液(REl)同一种类的树脂蚀刻液。SP，如图1所示，第一树脂蚀刻液收容部131和第二树脂蚀刻液收容部151通过连接管路(C)和阀(BL)连接，从而可相互循环地组成。
[0082]本实施例中，收容于第二树脂蚀刻液收容部151的第二树脂蚀刻液(RE2)使用与收容于第一树脂蚀刻液收容部131的第一树脂蚀刻液(REl)同一种类的树脂蚀刻液，但本发明并不限于此。即，根据本发明的收容于第二树脂蚀刻液收容部151的第二树脂蚀刻液(RE2)可以使用与收容于第一树脂蚀刻液收容部131的第一树脂蚀刻液(REl)不同成分以及/或不同种类的树脂蚀刻液。例如，可以将高浓度硫酸80%作为第二树脂蚀刻液(RE2)。
[0083]另外，如图9所示，第二流动装置152包括喷射部152a、连接部152b、栗部152c、流入部152d。
[0084]喷射部152a配置于第二树脂蚀刻液收容部151内部，且运转时可浸渍于第二树脂蚀刻液(RE2)地配置，并且从栗部152c经过连接部152b接受既定压力的第二树脂蚀刻液(RE2)后喷射到基板210的装置。
[0085]连接部152c是连接喷射部152a和栗部152c的管路，在栗部152b被压缩的第二树脂蚀刻液(RE2)通过连接部152b到达喷射部152a。
[0086]栗部152c是给第二树脂蚀刻液(RE2)赋予机械能以使第二树脂蚀刻液(RE2)具有既定压力的装置。
[0087]流入部152d是使收容于第二树脂蚀刻液收容部151的第二树脂蚀刻液(RE2)流入到栗部152c的部分。
[0088]观察第二流动装置152的运转的话，收容于第二树脂蚀刻液收容部151的第二树脂蚀刻液(RE2)是流入到流入部152d以后在栗部152c被加压，接着经过连接部152b移动至喷射部152a。然后，喷射部152a将第二树脂蚀刻液(RE2)以既定压力喷射到基板210。
[0089]根据本实施例的第二流动装置152的组成包括喷射部152a、连接部152b、栗部152c、流入部152d，但本发明并不限于此。S卩，根据本发明的第二流动装置只执行以既定压力将第二树脂蚀刻液(RE2)喷射到基板210的功能即可，其它结构上没有特别限制。例如，根据本发明的第二流动装置152可以适用公知的洪坝装置(flood bar device)。
[0090]从第二流动装置152的喷射部152a喷射的第二树脂蚀刻液(RE2)通过导电层212上形成的窗(W)到达基础部件211的露出部分。即，第二树脂蚀刻液(RE2)渗人到在第一树脂清除部130第一次清除树脂材料211a而形成的槽(G)内侧部分而清除树脂材料211a。第二树脂蚀刻液(RE2)到达基础部件211时的压力越大，第二树脂蚀刻液(RE2)越容易渗入基础部件211的露出部分，因此与第一树脂清除部130同样地，第二流动装置152的喷射部152a的喷射孔152a_l与基础部件211的距离(d2)优选小于20mm地配置。
[0091]另外，基板回收辊160是卷起回收形成有孔⑶的基板210的装置。其中，基础回收辊160以圆筒状形成，而形成有孔(H)的基板210卷绕于基板回收辊160而被回收。
[0092]下面结合图1至图11说明利用以上说明的基板孔形成装置100的形成基板孔的方法。
[0093]图11是图示根据本发明的一个实施例的基板孔形成方法的步骤的概略流程图。
[0094]首先，制造者准备卷绕有基板210的基板供应辊110，如图1所示，将基板供应辊110设置在基板孔形成装置100 (SI步骤)。
[0095]基板供应辊110和基板窗形成部120之间的一点I处的基板210剖视图图示于图2。
[0096]然后，随着基板供应辊110旋转被一起松开的基板210被移送到基板窗形成部120。
[0097]在基板窗形成部120种，通过清除导电层212的部分中将形成孔⑶的部分而形成窗(W)，从而露出基础部件211的一部分(S2步骤)。
[0098]S卩，移送到基板窗形成部120的基板210依次穿过基板210上涂覆感光性物质的装置121、以包括曝光和显像工艺的影印工艺形成抗蚀图案(ERP)的装置122、利用所述形成的抗蚀图案(ERP)实施蚀刻导电层212的蚀刻工艺(见图3)的装置123，因此导电层121的一部分被清除而形成窗(W)。图4中图示基板窗形成部120与第一树脂清除部130之间一点II处的基板210的剖视图，一点II处的基板210的导电层212上形成有窗(W)。
[0099]然后，经过基板窗形成部120的窗(W)形成工艺的基板210被移送到第一树脂清除部130。在第一树脂清除部中130进行第一次树脂清除步骤，基板210被浸渍于收容于第一树脂蚀刻液收容部131的第一树脂蚀刻液(REl)中，并且在基板210浸渍于第一树脂蚀刻液(REl)的状态下，利用第一流动装置132将第一树脂蚀刻液(REl)通过窗(W)喷射到露出的基础部件211部分，从而清除树脂材料211a(S3步骤)。
[0100]S卩，如图5所示，在第一清除树脂部130中，从第一流动装置132的喷射部132a喷射的第一树脂蚀刻液(REl)通过导电层212上形成的窗(W)到达基础部件211的露出部分，并且到达的第一树脂蚀刻液(REl)渗入基础部件211的露出部分并通过发生化学反应而清除树脂材料211a。并且，此时，第一树脂蚀刻液(REl)以既定流动压力冲撞基础部件211的露出部分，使基础部件211的露出部件受到物理打击而有助于清除树脂材料211a。通过以上所述的工艺清除基础部件211露出部分的树脂材料211a的一部分，从而形成槽(G)。图6中图示第一树脂清除部130和玻璃纤维清除部140之间一处III的基板210剖视图。一处III的基板210虽然在基础部件211的露出部分形成有槽(G)，但玻璃纤维211b依然存在。
[0101]然后，在第一树脂清除部130经过第一次树脂清除工艺的基板210被移送到玻璃纤维清除部140。在玻璃纤维清除部140中进行清除玻璃纤维步骤，利用喷射装置141喷射玻璃纤维蚀刻液(GE)，从而清除基础部件211的露出部分(槽(G))上存在的玻璃纤维(S4
步骤)。
[0102]S卩，如图7所示，从喷射装置141的喷嘴部141a喷射的玻璃纤维蚀刻液(GE)以既定压力通过导电层212上形成的窗(W)到达基础部件211的露出部分(槽(G))。到达的玻璃纤维蚀刻液(GE)利用化学反应作用和物理冲击作用清除基础部件211的玻璃纤维211b。图8中图示玻璃纤维清除部140和第二树脂清除部150之间一点IV处的基板210剖视图。一处IV中基础部件211的露出部分(槽(G))中存在的玻璃纤维211b已被清除。
[0103]然后，在清除玻璃纤维部14