化学机械抛光控制系统的远程访问客户端的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库，方便工艺人员浏览其权限内全部晶圆加工信息记录。其中，晶圆加工信息数据库由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器上，客户端用于向服务器发送对晶圆加工信息数据库的访问请求，以通过服务器获取访问晶圆加工信息数据库的权限，从而读取本权限内的信息。本发明的实施例可实现工艺人员远程登录远端的晶圆加工信息数据库，并根据其权限对数据库中的晶圆加工信息数据进行相应的操作，另外，该客户端安全、可靠、高效且操作方便。
【专利说明】化学机械抛光控制系统的远程访问客户端
【技术领域】
[0001]本发明涉及化学机械抛光【技术领域】，特别涉及一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端。
【背景技术】
[0002]化学机械抛光技术(ChemicalMechanical Planarization,简称CMP)是当前ULSI时代最广泛使用的全局平坦化技术，也是目前唯一能够对亚微米级器件提供全局平坦化的技术。CMP技术综合了化学抛光和机械抛光的优势，可有效兼顾晶圆表面的局部和全局平坦度，满足了制造特征尺寸更小、金属互连层数更多的芯片的要求。
[0003]CMP系统针对铜CMP工艺而设计，用于去除晶圆表面多余的铜。在工艺实践中，工艺人员需及时掌握每一片晶圆的工艺信息，包括晶圆编号、工艺时间及其抛光时使用的工艺配方等，用于科学地管理晶圆加工流程。因此，为满足大量信息的记录、保存与查阅，可选择MySQL (—种成熟的开源关系型数据库管理系统)建立并管理一个完善的晶圆加工信息数据库。但是如何保证工艺人员高效可靠方便的远程访问晶圆加工信息数据库是需要解决的一个重要问题。
【发明内容】
[0004]本发明旨在至少解决上述技术问题之一。
[0005]为此，本发明的目的在于提出一种安全、可靠且操作方便的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，该客户端可实现工艺人员远程访问化学机械抛光控制系统的的晶圆加工信息数据库，方便工艺人员浏览其权限内全部的晶圆加工信息记录，并根据其权限对数据库中的晶圆加工信息数据进行相应的操作，以满足工艺人员的需求。
[0006]为了实现上述目的，本发明的实施例提供了一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库，其中，所述晶圆加工信息数据库由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器上，所述客户端负责与所述服务器远程通讯，用于根据工艺人员输入的信息向所述服务器发送对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，以通过所述服务器获取访问所述晶圆加工信息数据库的权限；所述服务器用于接收所述客户端发出的对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，并根据所述访问请求向所述客户端提供相应的服务；所述晶圆加工信息数据库用于记录和保存晶圆的加工信息数据，其管理系统根据所述客户端发送的访问请求对所述晶圆的加工信息数据进行访问控制。
[0007]根据本发明实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，晶圆加工信息数据库运行在服务器上，该客户端根据工艺人员输入的信息，与服务器的远程通讯向服务器发送相应的访问请求，服务器根据该访问请求向客户端提供相应的服务，以使客户端与远端的数据库建立连接，使工艺人员通过客户端可远程访问远端的数据库，并根据其权限查询数据库中有关晶圆加工信息的数据，并可对晶圆加工信息数据进行相关操作，例如修改和删除信息等。该客户端使用方便，开发难度低，且具有安全、可靠以及高效的优点。
[0008]另外，根据本发明上述实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端还可以具有如下附加的技术特征:
[0009]在一些示例中，所述客户端具有独立的操作界面，具体包括:基本登录界面、参数设置界面和信息浏览窗口。
[0010]在一些示例中，所述晶圆加工信息数据包括:晶圆编号、工艺时间、晶圆状态及晶圆的工艺配方。
[0011]在一些示例中，所述客户端用于通过工艺人员在其操作界面输入的信息向所述服务器发送连接指令以建立连接，连接成功后，所述服务器验证所述工艺人员的身份信息，在所述服务器验证所述工艺人员身份正确后，进入所述晶圆加工信息数据库，并进行所述工艺人员权限下的相关操作。
[0012]在一些示例中，所述工艺人员输入的信息包括:所述服务器的IP地址、所述服务器监听的端口号、所述晶圆加工信息数据库的名称、用户名及密码，其中，所述服务器的IP地址和所述服务器监听的端口号用于所述客户端与所述服务器建立连接，所述晶圆加工信息数据库的名称用于指明工艺人员要求访问的数据库，所述工艺人员的用户名及密码用于所述服务器验证所述工艺人员的身份。
[0013]在一些示例中，所述工艺人员权限下的相关操作的内容包括:查询、修改和删除信
肩、O
[0014]在一些示例中，所述客户端的工作流程包括:(1)登录所述晶圆加工信息数据库，
(2)数据操作，(3)退出所述晶圆加工信息数据库，其中，退出所述晶圆加工信息数据库后，所述客户端还用于关闭其操作界面并断开与所述服务器的连接，释放所述客户端进程。
[0015]在一些示例中，所述客户端还用于在获取到需要的数据后，对所述数据进行信息的显示和组合，以方便工艺人员的后续操作。
[0016]在一些示例中，所述化学机械抛光控制系统的远程访问客户端内部利用Qt提供的数据库访问接口，开发时，需要编译所述晶圆加工信息数据库的MySQL数据库驱动，并以插件的形式应用，在创建数据库连接时应完成以下3个操作:激活驱动程序，设置连接信息，打开连接；在数据库连接成功后，所述客户端使用标准的结构化查询语言对数据库进行查询、删除和添加等常规操作。
[0017]本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
【专利附图】
【附图说明】
[0018]本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中:
[0019]图1为根据本发明一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端和服务器的通讯示意图；
[0020]图2为根据本发明一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端连接晶圆加工信息数据库的步骤示意图；以及
[0021]图3为根据本发明一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端访问流程示意图。
【具体实施方式】
[0022]下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
[0023]在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0025]以下结合附图描述根据本发明实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端。
[0026]图1为根据本发明一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端和服务器的通讯示意图。如图1所示，根据本发明一个实施例的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端110，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库130，方便工艺人员浏览其权限内全部晶圆加工信息记录，其中，在一个具体示例中，晶圆加工信息数据库130由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器120上。
[0027]具体而言，客户端110与服务器120远程通讯，客户端110用于根据工艺人员输入的信息向服务器120发送对晶圆加工信息数据库130的访问请求，以通过服务器120获取访问晶圆加工信息数据库130的权限。服务器120用于接收客户端110发出的对晶圆加工信息数据库130的访问请求，并根据该访问请求向客户端110提供相应的服务。晶圆加工信息数据库130用于记录和保存晶圆的加工信息数据，其管理系统根据客户端110发送的访问请求对晶圆的加工信息数据进行访问控制。
[0028]作为一个具体不例，例如可通过将Qt OpenSource集成到Visual Studio 2008环境中实现上述客户端110的开发。其中，Qt是一款用于开发跨平台图形界面程序的C++工具包，提供给开发者建立艺术级图形用户界面所需的所有功能。Qt使用源代码级“一次编写，随处编译”的方式构建多平台图形用户界面程序，且良好的封装机制使得Qt的模块化程度非常高，可重用性好，对于用户开发来说非常方便。Qt还提供了一种称为Signal/Slots(信号/槽)的安全机制来替代Callback (回调)，使得各个控件之间的协同工作变得十分简单。另外，Qt采用C++语言，执行速度很快，适合实时性要求较高的场合，编写的程序在速度上可完全满足远程访问数据库的实时性要求。因此，本发明的实施例将Qt OpenSource(具体版本可根据自身需要选择)集成到Visual Studio 2008环境中，用以实现客户端110的开发。
[0029]另外，例如可通过MySQL数据库管理系统构建上述的晶圆加工信息数据库130。具体而言，数据库技术发展至今已经有很多成熟的商品化的数据库管理系统。在众多的数据库管理系统中，MySQL是比较出色的。MySQL是瑞典MySQL AB公司开发的开源数据库管理系统，是一个真正的多用户、多平台及多线程的SQL数据库服务器。作为一种关联数据库管理系统，MySQL将数据间的关系以数据库表的形式加以表达，并将数据存储在表格中，以便于查询。MySQL的主要优点是快速、稳定和易用。相比其他任何在硬件平台上提供数据库的厂家，它能更快地处理同一个数量级的大型数据库。因此，在本发明实施例的化学机械抛光控制系统中，可利用MySQL构建了晶圆加工信息数据库130。
[0030]在本发明的一个实施例中，上述的客户端110具有独立的操作界面，具体包括:基本登录界面、参数设置界面和信息浏览窗口。其中，作为一个具体的例子，该操作界面的设计由Qt Designer完成。
[0031]进一步地，客户端110还用于通过工艺人员在其操作界面上输入的信息向服务器120发送连接指令以建立连接。连接成功后，服务器120开始验证工艺人员的身份信息。在服务器120验证工艺人员身份正确后，客户端110进入晶圆加工信息数据库130，并进行工艺人员权限下的相关操作。其中，上述工艺人员输入的信息例如包括:服务器120的IP地址、服务器120监听的端口号、晶圆加工信息数据库130的名称、工艺人员的用户名及对应的密码。上述工艺人员权限下的相关操作的内容具体包括:查询、修改和删除信息。其中，服务器120的IP地址和监听的端口号用于客户端110与服务器120建立连接，晶圆加工信息数据库130的名称用于指明工艺人员要求访问的数据库，工艺人员的用户名及密码用于服务器120验证该工艺人员的身份。
[0032]换言之，即工艺人员在客户端110的操作界面上输入服务器120的IP地址，服务器120监听的端口号，数据库130的名称，用户名及密码等登录信息，待确认信息无误后，SP可开始本次登录过程。客户端程序首先向服务器120发起连接，如果连接建立成功，则服务器120会开始验证工艺人员的身份信息，待验证成功后，工艺人员即可登录本晶圆加工信息数据库130。进一步地，在工艺人员进入数据库后，即可进行本权限下的操作，例如在数据库中进行查询、修改和删除信息等操作。
[0033]在本发明的另一个实施例中，上述的晶圆加工信息数据包括:晶圆编号、工艺时间、晶圆状态及晶圆的工艺配方。
[0034]换言之，作为一个具体的示例，结合图1所示，基于本发明实施例的化学机械抛光控制系统的整体设计要求，晶圆加工信息数据库系统采用C/S (客户端/服务器)模式。月艮务器120用来响应客户的请求和提供特定的服务；客户端110用来向服务器120提出请求和要求某种服务。更为具体地，在这种模式下，客户端110的程序运行在上位机IPC中，不会对CMP监控主程序的运行造成影响。进一步地，客户端110负责访问远端数据库130，并具有自己独立的操作界面(操作界面的设计利用Qt Designer完成)，主要包括基本登录界面、参数设置界面以及信息浏览窗口，可完全满足工艺人员的功能需求。工艺人员通过客户端110登录数据库130，访问本权限下的各项信息并进行相关操作(不同级别的工艺人员享有不同的权限)。基于MySQL构建的晶圆加工信息数据库130运行在服务器120上，用于记录和保存被提交的数据，其管理系统负责数据的访问控制。对于服务器120，服务器资源管理器需连接到MySQL数据库。在数据库中，详细记录了每一片晶圆的各项关键信息，例如包括晶圆编号、晶圆状态(例如已完成加工或未完成加工)及选择的工艺配方等主要字段，并据此建立了一系列完整的数据表格。另外，如果工艺人员访问成功，即可获取本权限内的全部信息，并进行相应操作。如果访问失败，则返回失败提示信息。
[0035]进一步地，在本发明的一个实施例中，客户端110的工作流程包括:(I)登录晶圆加工信息数据库；(2)数据操作；(3)退出晶圆加工信息数据库。其中，退出晶圆加工信息数据库后，客户端110还用于关闭其操作界面，并断开与服务器120的连接，释放客户端进程。换言之，即工艺人员关闭操作界面，退出访问连接，释放客户端进程。
[0036]另外，客户端110还用于在获取到需要的数据后，对该数据进行信息的显示和组合，以方便工艺人员的后续操作。进一步地，如果不需太多后续处理，只为更加快捷地显示记录，即对于简单的数据显示，客户端Iio还可以使用Qt提供的QSQlTableModel和QTableView处理已经收到的各项数据。
[0037]在另一个具体示例中，本发明实施例的系统的客户端的主要操作过程可概括如下:
[0038](I)连接数据库。
[0039]在客户端操作界面中，首先输入服务器的IP地址、服务器端监听的端口号、数据库名称、用户名及密码等登录信息。工艺人员确认信息无误后，即可开始本次登录过程。客户端程序首先向服务器端发起连接，如果连接建立成功。服务器端会开始验证工艺人员的身份信息。待验证成功，工艺人员即可进入本晶圆加工信息数据库。其中，对于服务器的IP地址，服务器端监听的端口号和数据库名称等基本默认参数，客户端可自动以.dat文件格式进行保存，工艺人员下次运行客户端程序时，系统首先自动读取该参数文件，将各项参数值一一显示在对应的输入框内，工艺人员仅需输入自己的用户名及密码，即可开始登录过程。如果基本默认参数发生变动，工艺人员也仅需重新输入一次，确认保存后，客户端程序将自动更新对应的参数文件。
[0040](2)数据操作。
[0041]待工艺人员进入数据库后，即可进行本权限下的操作。客户端程序负责将各种操作的信息包含在传给服务器的请求信息中，在本发明的实施例中，客户端可传给服务器的操作内容主要包括查询、修改和删除信息等。其中查询操作是根据当前工艺人员的权限，反馈给工艺人员本权限内的所有晶圆记录，而且用户可进一步设置查询条件，查看自己目前最关心的信息；修改操作用于工艺人员对当前某项记录进行修改，如果服务器端验证并通过了客户端提交的修改信息，即可更新数据库中的相应记录；删除操作可使工艺人员删除所有无效记录，当服务器端获取用户的操作指令后，即可将结果发送到客户端，显示在界面上，方便工艺人员查阅。
[0042](3)退出客户端。
[0043]即工艺人员通过客户端关闭浏览窗口，中断连接，释放客户端进程。
[0044]另外，数据库本身是一个能代替人管理大量数据的程序。需要指出的是，在利用可视化开发工具做数据库开发时，通常应用程序不能和数据源直接打交道，而要通过一些中介，因此，需要合理选择数据库访问方式。
[0045]在应用程序开发访问数据库方面,主流的软件公司如Microsoft、Borland、Sun以及一些其他公司或者机构都提供了各自独立的或联系的关于数据库访问的解决方案。如早期的DAO、ODBC、RDO以及后来的OLE DB、ADD、AD0.Net等主要是Microsoft提供的数据库访问技术。
[0046]一般地，访问MySQL数据库有3种方法:I)使用MySQL的C API接口 ；2)使用开放数据库互连接口 MySQL ODBC ;3)使用基于标准C++的MySQL数据库访问引擎MySQL++。上述前两种访问方法是MySQL早期提供的访问MySQL数据库方法，而MySQL++是MySQL最新推出的基于标准C++的源代码级MySQL数据库访问引擎，具有功能强大、访问性能高和跨平台等优点。但是，由于Qt提供了无关平台的数据库编程接口，可更好地扩展新的不同的数据库，且利用Qt的模型/视图结构可将数据库与客户端界面良好地结合在一起，更方便信息的浏览与显示。因此，客户端110使用Qt的数据库访问接口。
[0047]进一步地，在本发明的一个实施例中，客户端110内部利用Qt的数据库访问接口，在开发时，需要编译所述晶圆加工信息数据库的MySQL数据库驱动，并以插件的形式应用，在创建数据库连接时应完成以下操作(如图2所示):激活该驱动程序，设置与晶圆加工信息数据库130的连接信息，最后根据该连接信息打开与晶圆加工信息数据库130的连接。
[0048]换言之，在一个示例中，虽然MySQL自身提供了方便快捷的应用程序编程接口，但是考虑到CMP控制系统主程序采用Qt设计，且Qt提供了无关平台的数据库编程接口，可更好地扩展新的不同的数据库。此外，利用Qt的模型/视图结构可将数据库与客户端的图形用户界面良好地结合在一起，更方便信息的浏览与显示。因此，在保证良好一致性的同时，本发明的实施例使用Qt数据库访问接口。
[0049]在Qt中，如果要访问其他某一特定的数据库，需要给Qt提供相应的驱动程序。由于Qt自身没有带MySQL数据库的驱动，只有源代码文件，所以需要自行编译MySQL数据库驱动，使其以插件的形式应用。整个编译过程分为如下3步:
[0050]I)下载MySQL的安装程序。在安装时选择定制安装，选中Libs和Include文件。假设安装位置是C:\MySQL。
[0051]2)进行编译。并按照实际情况输入如下指令:
[0052]a.cd%QTDIR%\src\plugins\sqldrivers\mysql
[0053]b.qmake " INCLUDEPATH+=C:\MySQL\include " " LIBS+=C:\MYSQL\MySQLServer<version>\lib\opt\libmysql.lib" mysql.pro
[0054]c.nmake
[0055]3)最后将C:\MySQL\bin目录下的libmySQL.dll文件复制到Qt Creator安装目录下的qt\bin目录中即可。
[0056]Qt的SQL类为Qt应用程序提供了无缝的数据库集成，该类通过插件的形式在运行期动态地装载新的驱动程序。一旦该插件被建立，Qt就可以自动地装载它，之后为QSqlDatabase所用。因此,在本发明的实施例中，创建一个数据库连接需要3步:激活驱动程序；设置连接信息；以及打开连接。在数据库连接成功后，就可以使用标准的SQL(Structured Query Language,结构化查询语言)来对数据库进行查询、删除和添加等常规操作(见图3)。
[0057]作为一个具体的例子，为了执行SQL查询，首先必须建立与数据库的连接。通常情况下，在程序中用一个单独的函数实现与数据库的连接。
【权利要求】
1.一种化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，用于工艺人员访问化学机械抛光控制系统的晶圆加工信息数据库，其中，所述晶圆加工信息数据库由MySQL数据库管理系统构建，运行在独立的服务器上，其特征在于， 所述客户端与所述服务器远程通讯，用于根据工艺人员输入的信息向所述服务器发送对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，以通过所述服务器获取访问所述晶圆加工信息数据库的权限； 所述服务器用于接收所述客户端发出的对所述晶圆加工信息数据库的访问请求，并根据所述访问请求向所述客户端提供相应的服务； 所述晶圆加工信息数据库用于记录和保存晶圆的加工信息数据。
2.根据权利要求1所述的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，其特征在于，所述客户端具有独立的操作界面，具体包括:基本登录界面、参数设置界面和信息浏览窗口。
3.根据权利要求1所述的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，其特征在于，所述晶圆加工信息数据包括:晶圆编号、工艺时间、晶圆状态及晶圆的工艺配方。
4.根据权利要求2所述的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，其特征在于，所述客户端用于通过工艺人员在其操作界面输入的信息向所述服务器发送连接指令以建立连接，连接成功后，所述服务器验证所述工艺人员的身份信息，在所述服务器验证所述工艺人员身份正确后，进入所述晶圆加工信息数据库，并进行所述工艺人员权限下的相关操作。
5.根据权利要求4所述的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，其特征在于，所述工艺人员输入的信息包括:所述服务器的IP地址、所述服务器监听的端口号、所述晶圆加工信息数据库的名称、所述工艺人员的用户名及密码，其中，所述服务器的IP地址和所述服务器监听的端口号用于所述客户端与所述服务器建立连接，所述晶圆加工信息数据库的名称用于指明工艺人员要求访问的数据库，所述工艺人员的用户名及密码用于所述服务器验证所述工艺人员的身份。
6.根据权利要求4所述的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，其特征在于，所述工艺人员权限下的相关操作内容包括:查询、修改和删除信息。
7.根据权利要求4所述的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，其特征在于，所述客户端的工作流程包括:(I)登录所述晶圆加工信息数据库，(2)数据操作，(3)退出所述晶圆加工信息数据库，其中，退出所述晶圆加工信息数据库后，所述客户端还用于关闭其操作界面，并断开与所述服务器的连接，释放所述客户端进程。
8.根据权利要求4所述的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，其特征在于，所述客户端还用于在获取到需要的数据后，对所述数据进行信息的显示和组合，以方便工艺人员的后续操作。
9.根据权利要求1所述的化学机械抛光控制系统的远程访问客户端，其特征在于，所述化学机械抛光控制系统的远程访问客户端内部利用Qt数据库访问接口，开发时，需要编译所述晶圆加工信息数据库的MySQL数据库驱动，并以插件的形式应用，在创建数据库连接时应完成以下3个操作:激活驱动程序，设置连接信息，打开连接；在数据库连接成功后，所述客户端使用标准的结构化查询语言对数据库进行查询、删除和添加等常规操作。
【文档编号】H04L29/06GK103678974SQ201310684504
【公开日】2014年3月26日 申请日期:2013年12月13日 优先权日:2013年12月13日
【发明者】路新春, 李弘恺, 田芳馨, 王同庆, 赵乾, 何永勇 申请人:清华大学