变形例的此种构成，可避免行选择用配线QAx'QAm或QBx'QBm妨碍朝各像素Ρι,ι?Pm,ν的光的入射，而提高朝各像素Ρι,ι?Pm,ν的光入射效率。另外，使行选择用配线QAi?QAm及QBi?QBm远离各像素Ρι,ι?Pm, ν的光电二极管23，而可将因行选择用配线QAi?QAm及QBx'QBm的电压变动引起的光电二极管23内的电荷量的变动抑制为较小。
[0105]另，行选择用配线QAx'QAm及行选择用配线QBx'QBm也可在层叠方向互相排列配设。例如，包含行选择用配线QBx'QBm的配线层也可追加于包含行选择用配线QM'QAmwK线层之上。由此，行选择用配线QBx'QBm与基准电位线之间隔扩大，而可减小行选择用配线QBi?QBm与基准电位线发生短路的概率。
[0106]本发明的固体摄像装置并非限于上述的实施方式，可进行其它各种变化。例如，上述实施方式所示的受光部也可具备于玻璃基板上将多晶硅或非晶硅成膜的构成。在此情形时，晶体管21、22可由薄膜晶体管较好地实现。或，受光部也可制作于单晶硅基板上。
[0107]另外，在上述实施方式中对同一行的2条行选择用配线QAm、QBm以同一时序输入行选择信号VSAm、VSBm，在第1变形例及第3变形例中，可对同一行的2条行选择用配线QAm、QBm以同一时序输入行选择信号VSAm、VSBm的至少一部分，也可以互相不同的时序输入。
[0108]此处，包含上述实施方式、第1?第3变形例全部的固体摄像装置具有包含如下部件的构成:
[0109]受光部，其具有二维排列成Μ行N列(M、N为大于等于2的整数)的MXN个像素，这些像素各自包含一个光电二极管、及各个的一端连接于该一个光电二极管的第1及第2开关电路；
[0110]N条读取用配线，其配设于每列，且连接于对应的列的上述像素所包含的上述第1及第2开关电路的各个另一端；
[0111]Μ条第1行选择用配线，其配设于每行，且连接于对应的行的上述像素所包含的上述第1开关电路的控制端子；
[0112]Μ条第2行选择用配线，其配设于每行，且连接于对应的行的上述像素所包含的上述第2开关电路的控制端子；
[0113]移位寄存器部，其产生用于在每行控制第1及第2开关电路的开闭状态的行选择信号，且对上述第1及第2行选择用配线提供上述行选择信号。
[0114]另外，包含上述的第1及第3变形例的固体摄像装置具有以下的构成:进一步具备:
[0115]Μ个第1缓冲器，其各输出端连接于上述Μ条第1行选择用配线各个；
[0116]Μ个第2缓冲器，其各输出端连接于上述Μ条第2行选择用配线各个；
[0117]上述移位寄存器部具有为输出上述行选择信号而以2个为单位设置于每行的(2ΧΜ)个信号输出端，且在各行中，2个上述信号输出端中的一者的上述信号输出端连接于上述第1缓冲器的输入端，另一者的上述信号输出端连接于上述第2缓冲器的输入端。
[0118]另外，包含上述的第2变形例的固体摄像装置具有以下的构成:
[0119]进一步具备:Μ个缓冲器，其各输出端连接于上述Μ条第1行选择用配线的各个、及上述Μ条第2行选择用配线的各个；
[0120]上述移位寄存器部具有为输出上述行选择信号而在每行各设置1个的Μ个信号输出端，各信号输出端连接于对应的行的上述缓冲器的输入端。
[0121 ]在上述实施方式的固体摄像装置中具备:受光部，其具有二维排列成Μ行Ν列(Μ、Ν为大于等于2的整数)的MXN个像素，这些像素各自包含一个光电二极管、及各个的一端连接于该一个光电二极管的第1及第2开关电路;N条读取用配线，其配设于每列，且连接于对应的列的像素所包含的第1及第2开关电路的各另一端;Μ条第1行选择用配线，其配设于每行，且连接于对应的行的像素所包含的第1开关电路的控制端子;Μ个第1缓冲器，其各输出端连接于Μ条第1行选择用配线各个;Μ条第2行选择用配线，其配设于每行，且连接于对应的行的像素所包含的第2开关电路的控制端子;Μ个第2缓冲器，其各输出端连接于Μ条第2行选择用配线的各个;及移位寄存器部，其产生用于在每行控制第1及第2开关电路的开闭状态的行选择信号，且对第1及第2缓冲器的输入端提供共通的行选择信号;移位寄存器部采用如下构成:具有为输出行选择信号而在每行各设置1个的Μ个信号输出端，各信号输出端连接于对应的行的第1及第2缓冲器的输入端。
[0122]另外，固体摄像装置也可设为将第1及第2行选择用配线配设于像素间的区域的构成。由此，可避免行选择用配线妨碍朝各像素的光的入射，而提高朝各像素的光入射效率。另外，可使行选择用配线距各像素的光电二极管较远，而将因行选择用配线的电压变动引起的光电二极管内的电荷量的变动抑制为较小。
[0123]另外，固体摄像装置也可设为将第1及第2行选择用配线中的一者的行选择用配线配设于像素间的区域，将另一者的行选择用配线配设于像素上的构成。由此，可将2条行选择用配线互相分离配设，而可提高制造固体摄像装置时的成品率。另外，在此情形时，由于可将因另一者的行选择用配线的电压变动引起的光电二极管内的电荷量的变动抑制为较小，故而优选为在另一者的行选择用配线与像素之间配设有基准电位配线。
[0124]产业上的可利用性
[0125]本发明可作为即使在行选择用配线故障的情形也可读取各像素的电荷的固体摄像装置利用。
[0126]符号说明
[0127]1A固体摄像装置
[0128]12硅基板
[0129]13闪烁器
[0130]15，19基准电位配线
[0131]18像素分离区域
[0132]20受光部
[0133]21晶体管(第1开关电路)
[0134]22晶体管(第2开关电路)
[0135]23光电二极管
[0136]40读取电路部
[0137]41，41A，41B移位寄存器阵列
[0138]42积分电路
[0139]43移位寄存器电路
[0140]44保持电路
[0141]45保持用配线
[0142]46复位用配线
[0143]48电压输出用配线
[0144]60A?60C垂直移位寄存器部
[0145]61水平移位寄存器部[OH6]62，63信号输出端
[0147]ΒΑι ?BAm，BBi ?BBm 缓冲器
[0148]Ρι,ι ?Pm,ν像素
[0149]QAi~QAm第1行选择用配线
[0150]QBi'QBM第2行选择用配线
[0151]Ri?RN读取用配线
[0152]VSi~VSm行选择信号
[0153]VSAi?VSAM第1行选择信号
[0154]VSBpVSBm第2行选择信号
【主权项】
1.一种固体摄像装置，其特征在于， 具备: 受光部，其具有二维排列成Μ行N列的Μ X Ν个的像素，这些像素各自包含一个光电二极管、及各个的一端连接于该一个光电二极管的第1及第2开关电路，其中，Μ、Ν为2以上的整数； Ν条读取用配线，其配设于每列，且连接于对应的列的所述像素所包含的所述第1及第2开关电路的各个的另一端； Μ条第1行选择用配线，其配设于每行，且连接于对应的行的所述像素所包含的所述第1开关电路的控制端子； Μ个第1缓冲器，其各个输出端连接于所述Μ条第1行选择用配线的各个； Μ条第2行选择用配线，其配设于每行，且连接于对应的行的所述像素所包含的所述第2开关电路的控制端子； Μ个第2缓冲器，其各个输出端连接于所述Μ条第2行选择用配线的各个;及移位寄存器部，其产生用于在每行控制所述第1及第2开关电路的开闭状态的行选择信号，且对所述第1及第2缓冲器的输入端提供共通的所述行选择信号， 所述移位寄存器部具有用于输出所述行选择信号而在每行各设置1个的Μ个信号输出端，且各信号输出端连接于对应的行的所述第1及第2缓冲器的输入端。2.如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述第1及第2行选择用配线配设于所述像素间的区域。3.如权利要求1所述的固体摄像装置，其特征在于， 所述第1及第2行选择用配线中一个行选择用配线配设于所述像素间的区域，另一个行选择用配线配设于所述像素上。4.如权利要求3所述的固体摄像装置，其特征在于， 进一步包含配设于所述另一个行选择用配线与所述像素之间的基准电位配线。
【专利摘要】固体摄像装置(1A)具备受光部(20)、垂直移位寄存器部(60A)、第1行选择用配线(QA1～QAM)、第2行选择用配线(QB1～QBM)。垂直移位寄存器部(60A)对第m行的行选择用配线(QAm及QBm)提供共通的行选择信号(VSAm)及(VSBm)。由此，实现即使在行选择用配线故障的情况下也可读取各像素的电荷的固体摄像装置。
【IPC分类】H01L27/146, A61B6/00, H04N5/376
【公开号】CN105474628
【申请号】CN201480032512
【发明人】藤田一树, 久嶋龙次, 泽田纯一, 森治通
【申请人】浜松光子学株式会社
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2014年5月28日
【公告号】EP3007435A1, US20160119565, WO2014196433A1