薄膜剥离装置及其方法
【专利说明】薄膜剥离装置及其方法
[0001]本申请是为分案申请，原申请的申请日为:2013年11月12日；申请号为:201310559591.1 ;发明名称为:薄膜剥离装置及其方法。
技术领域
[0002]本发明涉及一种处理薄膜的装置及其方法，尤其涉及一种薄膜剥离装置以及应用于此装置的薄膜剥离方法。
【背景技术】
[0003]软性或薄化的元件从载板上取下的方法有机械剥离、化学处理、激光或紫外光处理等，针对高温基板的取下技术，以机械剥离与激光处理(Laser lift off, LL0)为主，机械剥离相较于激光处理较不伤基板表面、设备成本低、速度快，但剥离时对被取下元件施加应力，若取下控制不佳，将导致元件受应力破坏，尤其针对结构或材料较脆弱的元件，如主动矩阵有机发光二极管(Active-matrix organic light-emitting d1de, AMOLED)更是如此。
【发明内容】
[0004]本发明实施例提出一种可挠薄膜的剥离装置以及应用此装置以剥离可挠薄膜的方法。以分散力的方式将薄膜剥离基板，如此可以降低控制剥离装置的复杂度，同时可以大幅提高将薄膜剥离基板的成功率。
[0005]依据本发明一实施例的一种可挠薄膜的剥离装置，适于表面具有可挠薄膜的基板，此装置包含吸附组件，此吸附组件包含支撑元件、吸附板以及连通器。前述吸附板相对于支撑元件并与支撑元件间定义一个可变动容积，并且，前述吸附板用以附着可挠薄膜或基板。连通器用以将前述可变动容积与外部连通。
[0006]依据本发明一实施例的一种可挠薄膜的剥离方法，适于表面具有可挠薄膜的基板，此方法包含贴附一个吸附组件于前述可挠薄膜或基板的一个表面。前述吸附组件包含支撑元件与吸附板，并且支撑元件与吸附板间定义一个可变动容积。并且，缩小前述可变动容积的容量，致使缩小支撑元件与至少部分吸附板间的距离。
[0007]藉由本发明实施例的剥离装置以及方法，由于将薄膜剥离基板的力量并非集中于特定的区块，而是分散于薄膜上，因此不易对薄膜或基板造成损伤，而得以更完整更安全的将薄膜剥离基板。应用本发明的装置及方法可以用较简单的控制剥离装置，同时具有较高的成功率。
[0008]以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述，但不作为对本发明的限定。
【附图说明】
[0009]图1A至图1F，依据本发明一实施例的一薄膜剥离装置的示意图；
[0010]图2A至图2D，依据本发明一实施例的一薄膜剥离方法各步骤的示意图；
[0011]图3，依据本发明另一实施例的剥离装置示意图；
[0012]图4A，依据本发明再一实施例的剥离装置示意图；
[0013]图4B，依据本发明另一实施例的剥离装置示意图；
[0014]图5A至图5G，依据本发明一实施例的一薄膜剥离方法各步骤的示意图；
[0015]图6A至图6F，用以俯视图的方式说明依据本发明实施例的剥离装置的吸附组件的次容积的配置示意图；
[0016]图7，依据本发明一实施例的一剥离方法示意图；
[0017]图8，依据本发明一实施例的一种薄膜剥离装置示意图；
[0018]图9，为图8的剥离装置的操作示意图；
[0019]图10，其依据本发明一实施例的剥离装置示意图；
[0020]图11，依据本发明一实施例的剥离装置示意图；
[0021]图12及图13，为图11的剥离装置的操作示意图；
[0022]图14，依据本发明一实施例的剥离装置示意图；
[0023]图15及图16，为图14的剥离装置的操作示意图；
[0024]图17，依据本发明一实施例的剥离装置示意图；
[0025]图18及图19，为图17的剥离装置的操作示意图；
[0026]图20，依据本发明一实施例的剥离装置俯视示意图；
[0027]图21，相对于图20的侧视暨操作示意图；
[0028]图22依据本发明一实施例的剥离装置示意图；
[0029]图23，依据本发明一实施例的剥离装置示意图；
[0030]图24，依据本发明一实施例的剥离装置示意图。
[0031]其中，附图标记
[0032]la?lj剥离装置
[0033]10、20g、201、30、40、50、60、70、80、90 吸附组件
[0034]11平板
[0035]12吸附板
[0036]121侧壁
[0037]122吸附膜
[0038]13连通器
[0039]13a?13g连通元件
[0040]14可变动容积
[0041]143次容积
[0042]143a ?143g次容积
[0043]15支撑部
[0044]151固定基座
[0045]153悬臂
[0046]16、16a?16g抽气装置
[0047]17预剥元件
[0048]21基板
[0049]23可挠薄膜
[0050]24模具
[0051]25弹性膜
[0052]26第一挠曲板
[0053]27第二挠曲板
[0054]222、224吸附膜
[0055]223覆盖膜
[0056]31、63固定机台
[0057]32阻挡壁
[0058]33推进装置
[0059]34、41、51滚动装置
[0060]61、71滚动装置
[0061]42支撑装置
[0062]421倾斜部
[0063]422平坦部
[0064]52固定装置
[0065]53挠曲轨道
[0066]62密封装置
[0067]91基座
[0068]92弹簧
[0069]F10弱附着区
[0070]F11进气装置
[0071]F12剥离空腔
[0072]F13突起部
【具体实施方式】
[0073]以下在实施方式中详细叙述本发明的内容，其内容足以使任何熟习相关技艺者了解本发明的技术内容并据以实施，且根据本说明书所发明的内容、权利要求范围及附图，任何熟习相关技艺者可轻易地理解本发明。以下的实施例进一步详细说明本发明的观点，但非以任何观点限制本发明的范畴。
[0074]本发明的实施例提出一种薄膜剥离装置，用以将基板上的可挠薄膜剥离。请参考图1A，其依据本发明一实施例的一薄膜剥离装置的示意图。如图1A所示，薄膜剥离装置la包含了吸附组件10，而吸附组件10包含了平板11、吸附板12以及连通器13。吸附板12相对连接于平板11，并与平板11间定义一个可变动容积14。可变动容积14是指该容积的容量为可变动，可变动容积14内可以盛装有流体，流体可以是气体或液体。此外，可变动容积14内可以包含多孔性材料，例如海绵、泡绵或乳胶。
[0075]平板11大小是对应于所欲剥离的基板上的薄膜的大小。于一实施例中，平板11为一刚性材料，更明确的说，平板11的弯曲刚性大于吸附板12的弯曲刚性，弯曲刚性是由材料的杨氏系数E与其惯性矩I乘积所决定。藉此，当平板11与吸附板12之间的可变动容积14中的流体的量有变化时，则吸附板12先于平板11产生形变。更明确地说，可以藉由调整可变容积14中的流体的量来改变平板11与吸附板12的距离。于一实施例中，由于吸附板12的弯曲刚性较低，因此吸附板12相对平板11是较可挠的，而使得在改变可变动容积14中的流体的量时，吸附板12与平板11之间的距离会逐渐缩小。实际运作时，当可变动容积14中的流体的量减少时，吸附板12刚性较低的或是反向抵抗力较弱的部分与平板11间的距离会先缩小。进一步来说，若吸附板12下方附着有一薄膜时，且薄膜边缘的阻力(反向抵抗力)较小时，当流体被抽走致使可变动容积14的容量变小时，对应该边缘处的吸附板12即会先上移，也就是说对应该边缘处的吸附板12与平板间的距离会先缩小。
[0076]平板11的材质，举例来说，可以是玻璃、金属、ABS树脂(acrylonitrilebutadiene styrene)、聚酰胺(polyamide, PA)、聚碳酸酯(polycarbonate, PC)、聚甲基丙稀酸甲酯(polymethyl methacrylate, PMMA)或其他具有高杨氏系数的硬质材料，本发明不以此为限。
[0077]吸附板12连接于平板11，与平板间定义一个可变动容积14，并用以附着可挠薄膜或基板，本发明中的多个实施例均以附着于可挠薄膜举例，但并非表示本发明仅限于此。其中吸附板12可以更区分为侧壁121以及吸附膜