硅片清洗机的漂洗槽的制作方法

文档序号:1520611阅读:141来源:国知局
专利名称:硅片清洗机的漂洗槽的制作方法
技术领域
本实用新型涉及一种硅片清洗机的漂洗槽,尤其涉及一种节水型溢流式的硅片清洗机漂洗槽。
背景技术
目前使用的硅片清洗机漂洗槽分为两部分,前半部分包括依次布置的五个漂洗槽,后半部分包括依次布置的两个漂洗槽,前半部分与后半部分之间依次布置两浸润槽,每两个漂洗槽为一个独立工作单元,七个漂洗槽共有四个进水口与出水口,使得硅片清洗机用水量较大,造成了水资源的浪费。

实用新型内容本实用新型的目的在于解决上述问题,提供一种硅片清洗机的漂洗槽,其采用溢流式结构,只需一个进水口与出水口,具有结构简单、节约用水量的优点。本实用新型的目的是通过以下技术方案来实现一种硅片清洗机的漂洗槽,包括前后两部分,前半部分依次布置五个漂洗槽,后半部分依次布置两个漂洗槽,所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连,且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构,所述漂洗槽V与漂洗槽VI通过一个溢流管道相连通,所述漂洗槽VII上开设有排污口,所述溢流管道上安装有蓄水槽,所述蓄水槽中安装有水位控制器,水位控制器连接有管道泵。所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。所述漂洗槽中均安装有物料感应器。本实用新型的有益效果为漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构,使得漂洗槽之间为溢流模式,无需增加管道;通过将漂洗槽V与漂洗槽VI用一个溢流管道相连通,即实现前半部分与后半部分的连通,使得只需要一个进水口与出水口 ;通过设置水位控制器,当蓄水槽中的水位达到设定的高水位时,高水位控制器控制管道泵进行排水,反之,低水位控制器控制管道泵停止排水,具有自动化程度高的优点,对比现有技术,该漂洗槽具有结构简单、节约用水量的优点。

下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。图1为本实用新型所述的硅片清洗机的漂洗槽的结构示意图。图中1、漂洗槽I ;2、漂洗槽V ;3、漂洗槽VI ;4、漂洗槽VII ;5、溢流管道;6、蓄水槽;7、管道泵;8、进水口 ;9、排污口。
具体实施方式
如图1所示,于本实施例中,本实用新型所述的硅片清洗机的漂洗槽,包括前后两部分,前半部分依次布置五个漂洗槽,后半部分依次布置两个漂洗槽,前半部分最外侧的漂洗槽Il与进水口 8相连,且漂洗槽Il与前半部分最内侧的漂洗槽V2之间、后半部分内侧漂洗槽VI3与外侧漂洗槽VII4之间均采用由高到低的阶梯式结构,漂洗槽V2与漂洗槽VI3通过一个溢流管道5相连通,漂洗槽VII4上开设有排污口 9,溢流管道5上安装有蓄水槽6,蓄水槽6中安装有水位控制器,水位控制器连接有管道泵7,水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。漂洗槽Il与前半部分最内侧的漂洗槽V2之间、后半部分内侧漂洗槽VI3与外侧漂洗槽VII4之间均采用由高到低的阶梯式结构,使得漂洗槽之间为溢流模式,无需增加管道;通过将漂洗槽V2与漂洗槽VI3用一个溢流管道5相连通,即实现前半部分与后半部分的连通,使得只需要一个进水口 8与排污口 9 ;通过设置水位控制器,当蓄水槽6中的水位达到设定的高水位时,高水位控制器控制管道泵7进行排水,反之,低水位控制器控制管道泵7停止排水,具有自动化程度高、结构简单、节约用水量的优点每个漂洗槽中均安装有物料感应器,当有硅片篮筐进入漂洗槽时,物料感应器将信号传送至控制系统,控制清洗机进入工作状态,当硅片篮筐离开漂洗槽时,物料感应器将信号传送至控制系统,控制清洗机进入待机状态,进一步节约了用水、用电量。
权利要求1.一种硅片清洗机的漂洗槽,包括前后两部分,前半部分依次布置五个漂洗槽,后半部分依次布置两个漂洗槽,其特征在于所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连,且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构,所述漂洗槽V与漂洗槽VI通过一个溢流管道相连通,所述漂洗槽VII上开设有排污口,所述溢流管道上安装有蓄水槽,所述蓄水槽中安装有水位控制器,水位控制器连接有管道泵。
2.根据权利要求1所述的硅片清洗机的漂洗槽,其特征在于所述水位控制器包括高水位控制器和低水位控制器。
3.根据权利要求1所述的硅片清洗机的漂洗槽,其特征在于所述漂洗槽中均安装有物料感应器。
专利摘要本实用新型公开一种硅片清洗机的漂洗槽,包括前后两部分,前半部分依次布置五个漂洗槽,后半部分依次布置两个漂洗槽,所述前半部分最外侧的漂洗槽I与进水口相连,且漂洗槽I与前半部分最内侧的漂洗槽V之间、后半部分内侧漂洗槽VI与外侧漂洗槽VII之间均采用由高到低的阶梯式结构,所述漂洗槽V与漂洗槽VI通过一个溢流管道相连通,所述漂洗槽VII上开设有排污口,所述溢流管道上安装有蓄水槽,所述蓄水槽中安装有水位控制器,水位控制器连接有管道泵。该漂洗槽采用阶梯溢流式结构,只需一个进水口与出水口,具有结构简单、节约用水量的优点。
文档编号B08B3/04GK202316398SQ20112040429
公开日2012年7月11日 申请日期2011年10月20日 优先权日2011年10月20日
发明者刘伟, 杨乐, 王欣 申请人:高佳太阳能股份有限公司
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