专利名称：浆料供给系统的制作方法
浆料供给系统
技术领域：
本发明涉及工艺控制，特别是涉及一种浆料供给系统。背景技术：
在一些生产工艺中，涉及浆料的供给。浆料由浆料供给管路输送到分配模块，经过分配后由各个支路输出。传统的浆料供给系统一般最多提供两条浆料供给管路以及相应的分配模块，如图1所示，是AMAT公司的mirra3400浆料供给系统结构示意图。该系统包括两个工作平台平台A和平台B，平台A与平台B的结构完全相同。以平台A为例，该平台包括浆料供给管路Al以及分配模块A2。浆料供给管路Al通过电磁信号控制气动阀将浆料输送到分配模块A2，分配模块A2将浆料分配到各个支路，各个支路的浆料泵通过转速调节挤压软管，可输出不同流量的浆料，以完成同一浆料在不同工序中的供给任务。传统的浆料供给系统通过浆料供给管路最多只能同时提供种类与工作平台数量相同的浆料，而传统的浆料供给系统包括的工作平台的数量一般不超过两个，因此难以实现浆料供给的多元化，给工艺实验带来繁琐的程序，影响了浆料的质量检测(qualify slurry)进程。
发明内容基于此，有必要针对传统的浆料供给系统不能提供浆料多元化供给的问题，提供一种可实现浆料多元化供给的浆料供给系统。一种浆料供给系统，包括至少两路浆料供给管路、分配模块以及通过浆料泵与分配模块接连的至少两条支路管道，所述分配模块被分隔为连通浆料供给管路的至少两个相互独立的子模块，每个子模块连接至少一条支路管道，其中，所述浆料供给管路将相同或不同的浆料通过分配模块经由浆料泵输送给各个支路管道。优选地，所述浆料供给管路、子模块和支路管道的数量均为三个，并且每个浆料供给管路、子模块和支路管道一一对应连接。优选地，所述浆料供给管路、子模块的数量均为两个，所述支路管道的数量为三条，一个子模块连接其中两条支路管道，另一个子模块连接剩余的一条支路管道。优选地，所述每条支路管道与浆料泵之间设有空气阀。优选地，所述空气阀为三通阀，所述三通阀的一个入口和一个出口分别与浆料泵、 支路管道连接，剩余的一个出口连接回流回收管道。优选地，所述每个子模块与连接的浆料泵之间还设有空气阀。优选地，所述空气阀为三通阀，所述三通阀的一个入口和一个出口分别与子模块、 浆料泵连接，剩余的一个入口连接去离子水管道。在不增加工作平台的前提下，将分配模块分为多个子模块，并配以相同数量的浆料供给管路，在浆料供给管路输入不同的浆料到子模块，可以达到多元化的浆料供给的目的。
图1为传统的浆料供给系统的结构示意图；图2为一实施例的浆料供给系统的结构示意图；图3为另一实施例的浆料供给系统的结构示意图；图4为使用一个子模块配合两条支路管道的工作原理示意图。
具体实施方式以下结合附图进行进一步的说明。如图2所示，为一实施例的浆料供给系统示意图。该浆料供给系统包括浆料供给管路、分配模块以及通过浆料泵与分配模块接连的三条支路管道。其中，浆料供给管路为102、104、106三条，分配模块被分隔为三个相互独立的子模块202、204、206，支路管道为 402、404、406三条，三条支路管道402、404、406分别通过浆料泵302、304、306连接至子模块 202、204、206。并且浆料供给管路102、104、106分别与子模块202、204、206对应连接。浆料分别由浆料供给管路102、104、106输送至子模块202、204、206，并通过浆料泵302、304、 306输送给支路管道402、404、406。每个浆料供给管路可以输送相同或不同种类的浆料。如图3所示，为另一实施例的浆料供给系统示意图。该浆料供给系统包括浆料供给管路、分配模块以及通过浆料泵与分配模块接连的三条支路管道。其中，浆料供给管路为108、110两条，分配模块被分隔为两个相互独立的子模块208、210，支路管道为408、410、 412三条，其中支路管道408、410分别通过浆料泵308、310连接至子模块208，支路管道412 通过浆料泵312连接至子模块210。并且浆料供给管路108、110分别与子模块208、210对应连接。浆料分别由浆料供给管路108、110输送至子模块208、210，然后子模块208中的浆料通过浆料泵308、310输送给支路管道408、410，子模块210中的浆料通过浆料泵312输送给支路管道412。浆料供给管路108、110提供相同或不同的浆料。以上实施例的浆料供给系统均可集成在一个工作平台上，该工作平台均可扩充至两个，分配模块的子模块数量、支路管道也可以扩充至更多，每个子模块连接支路管道的数量可为一个、两个或更多。另外，还可在每条支路管道上设手动控制的空气阀，用来控制浆料的输出。如图4 所示，为使用一个子模块配合两条支路管道的工作原理示意图。如第二个实施例中的子模块208通过两个浆料泵308、310将浆料输送给支路管道408、410。在浆料泵308和支路管道408之间设有空气阀508，该空气阀508是一个三通阀，浆料泵308从该空气阀508的一个入口进入，然后从另外两个出口输出，分别进入支路管道408以及回流回收管道。设于浆料泵310和支路管道410之间的空气阀510工作原理同上。空气阀508、510从信号入口获得阀门通断的信号，控制阀门的通断，从而根据浆料的需求情况进行控制。此外，子模块208还可在其浆料输出口设置空气阀500，该空气阀500也是一个三通阀，浆料从空气阀500的一个入口进入，防止浆料结晶的去离子水则从另一入口进入，然后一起从另一个出口输出并分别进入浆料泵308、310。空气阀500从信号入口获得阀门通断的信号，控制阀门的通断。在不增加工作平台的前提下，将分配模块分为多个子模块，并配以相同数量的浆料供给管路，在浆料供给管路输入不同的浆料到子模块，可以达到多元化的浆料供给的目的。 以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
权利要求
1.一种浆料供给系统，其特征在于，包括至少两路浆料供给管路、分配模块以及通过浆料泵与分配模块接连的至少两条支路管道，所述分配模块被分隔为连通浆料供给管路的至少两个相互独立的子模块，每个子模块连接至少一条支路管道，其中，所述浆料供给管路将相同或不同的浆料通过分配模块经由浆料泵输送给各个支路管道。
2.如权利要求1所述的浆料供给系统，其特征在于，所述浆料供给管路、子模块和支路管道的数量均为三个，并且每个浆料供给管路、子模块和支路管道一一对应连接。
3.如权利要求1所述的浆料供给系统，其特征在于，所述浆料供给管路、子模块的数量均为两个，所述支路管道的数量为三条，一个子模块连接其中两条支路管道，另一个子模块连接剩余的一条支路管道。
4.如权利要求1-3任意一项所述的浆料供给系统，其特征在于，每条支路管道与浆料泵之间设有空气阀。
5.如权利要求4所述的浆料供给系统，其特征在于，所述空气阀为三通阀，所述三通阀的一个入口和一个出口分别与浆料泵、支路管道连接，剩余的一个出口连接回流回收管道。
6.如权利要求1所述的浆料供给系统，其特征在于，所述每个子模块与连接的浆料泵之间还设有空气阀。
7.如权利要求6所述的浆料供给系统，其特征在于，所述空气阀为三通阀，所述三通阀的一个入口和一个出口分别与子模块、浆料泵连接，剩余的一个入口连接去离子水管道。
全文摘要
本发明涉及一种浆料供给系统，包括至少两路浆料供给管路、分配模块以及通过浆料泵与分配模块接连的至少两条支路管道，所述分配模块被分隔为连通浆料供给管路的至少两个相互独立的子模块，每个子模块连接至少一条支路管道，其中，所述浆料供给管路将相同或不同的浆料通过分配模块经由浆料泵输送给各个支路管道。本发明的浆料供给系统在不增加工作平台的前提下，将分配模块分为多个子模块，并配以相同数量的浆料供给管路，在浆料供给管路输入不同的浆料到子模块，可以达到多元化的浆料供给的目的。
文档编号D06B23/20GK102465413SQ20101053102
公开日2012年5月23日 申请日期2010年11月3日 优先权日2010年11月3日
发明者陆铭 申请人:无锡华润上华半导体有限公司, 无锡华润上华科技有限公司