专利名称：离线高透低辐射镀膜玻璃的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种玻璃，特别是一种离线高透低辐射镀膜玻璃。
背景技术：
现有的普通透明玻璃应用很广泛，其透射范围正好与太阳辐射光谱区域重合，因此，在透过可见光的同时，阳光中的红外线热能也能大量透过玻璃，而3 5um中红外波段的热能又被大量的吸收，对暖气发出的波长5um以上的热辐射，普通玻璃不能直接透过而是近乎完全吸收，并通过传导、辐射及与空气对流的方式将能热传递到室外，使室内的温度降低，另外，普通玻璃不能阻挡紫外线，易使室内的家俱和织物褪色，目前还有一种离线髙透低辐射镀膜玻璃，是由锡Sn、银Ag、镍铬NiCr和硅Si或锌Zn通过双端离线高真空磁控溅射技术生成的不同厚度金属化合物层和金属层组成的。该膜层对2.5-25 um波长范围的红外线辐射具有较高反射能力，但是，此种膜系对自然光的透过率最高只能达到78%，不能发挥自然光的高透过率和隔热节能的双重功效。发明内容
本实用新型的目的是为了克服以上的不足，提供一种够很强的阻隔红外线，具有很好的隔热功效，同时也能实现自然光的高透过率82.5-83%的离线高透低辐射镀膜玻璃。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现 一种离线高透低辐射镀膜玻璃，包括玻璃层，玻璃层上设有依次设有氧化钛TiOx层、第一氧化锌ZnOx层、金属镍铬NiCr层、金属银Ag层、氧化镍铬NiCrOx层、第二 化锌ZnOx层、氮化硅SiNx层。
本实用新型与现有技术相比具有以下优点在实现膜层的低辐射率和低传
热性能的基础上，能够同时实现膜层对自然光的高透过率82.5-83%。
图1为本实用新型的结构示意图中标号1-玻璃层、2-氧化钛TiOx层、3-第一氧化锌ZnOx层、4-金属镍铬NiCr层、5-金属银Ag层、6-氧化镍铬NiCrOx层、7_第二氧化锌ZnOx层、8-氮化硅SiNx层。
具体实施方式
为了加深对本实用新型的理解，下面将结合实施例和附图对本实用新型作进一步详述，该实施例仅用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型保护范围的限定。
如图1示出了本实用新型离线高透低辐射镀膜玻璃的一种实施方式，包括玻璃层1，玻璃层1上设有依次设有氧化钛TiOx层2、第一氧化锌ZnOx层3、金属镍铬NiCr层4、金属银Ag层5、氧化镍铬NiCrOx层6、第二氧化锌ZnOx层7、氮化硅SiNx层8。就是在双端离线高真空磁控溅射镀膜设备中，在玻璃层l上溅射底层为氧化钛TiOx层2，第二层为第一氧化锌ZnOx层3，第三层为金属镍络NiCr层4，第四层为金属银Ag层5，第五层为氧化镍铬NiCrOx层6，第六层为第二氧化锌ZnOx层7，第七层为氮化硅SiNx层8。本实用新型具有在实现膜层的低辐射率和低传热性能的基础上，能够同时实现膜层对自
然光的高透过率82.5-83%的优点。
在双端离线高真空磁控溅射镀膜设备中，使其基础真空达到l(FPa时，在6mm玻璃层1上溅射底层为30nm的氧化钛TiOx层2，第二层为20nm的第一氧化锌ZnOx层3，第三层为8nm的金属镍铬NiCr层4，第四层为15nm的金属银Ag层5,第五层为12nm的氧化镍铬NiCrOx层6，第六层为20nm的第二氧化锌ZnOx层7，第七层为55nm的氮化硅SiNx层8，且在高真空磁控溅射镀膜设备的线速度为2米/分钟的情况下，第一层氧化钛TiOx的功率为30KW,第二层第一氧化锌ZnOx的功率为23KW,第三层金属镍铬NiCr的功率为2.5KW，第四层金属银Ag的功率为5KW,第五层金属镍铬NiCr的功率为4KW,第六层二氧化锌ZnOx的功率为12KW ，第七层氮化硅SiNx的功率为73KW。
权利要求1、一种离线高透低辐射镀膜玻璃，包括玻璃层(1)，其特征在于所述玻璃层(1)上依次设有氧化钛TiOx层(2)、第一氧化锌ZnOx层(3)、金属镍铬NiCr层(4)、金属银Ag层(5)、氧化镍铬NiCrOx层(6)、第二氧化锌ZnOx层(7)、氮化硅SiNx层(8)。
2、 根据权利要求1所述离线高透低辐射镀膜玻璃，其特征在于所述玻璃层(1)的厚度为6mm，所述氧化钛TiOx层(2)的厚度为30nm，所述第一氧化锌ZnOx层(3)的厚度为20nm，所述金属镍铬NiCr层(4)的厚度为8nm，所述金属银Ag层(5)的厚度为15nm，所述氧化镍铬NiCrOx层(6)的厚度为12nm，所述第二氧化锌ZnOx层(7)的厚度为20nm，所述氮化硅SiNx层(8)的厚度为55nm。
专利摘要本实用新型涉及一种离线高透低辐射镀膜玻璃，包括玻璃层，玻璃层上设有依次设有氧化钛TiOx层、氧化锌ZnOx层、金属镍铬NiCr层、金属银Ag层、氧化镍铬NiCrOx层、氧化锌ZnOx层、氮化硅SiNx层。本实用新型具有在实现膜层的低辐射率和低传热性能的基础上，能够同时实现膜层对自然光的高透过率82.5-83％的优点。
文档编号C03C17/36GK201427929SQ20092004384
公开日2010年3月24日 申请日期2009年5月26日 优先权日2009年5月26日
发明者俞立民, 王贤荣, 陈咏宁, 黄林冲 申请人:江苏蓝星玻璃有限公司