专利名称：一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法
技术领域：
本发明涉及一种陶瓷零部件的清洗方法，尤其涉及一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法。
背景技术：
在半导体和太阳能高科技行业中，当设备做完例行性保养后，会卸下一定数量的陶瓷材质零部件，该零部件上附着了许多聚合物及污染物需要清洗才可再次使用。在一般情况下，这些卸下的陶瓷零部件只需使用酸液就可以清洗干净的目的；但仍有些陶瓷零部件因制程特殊，使用药液清洗后，其表面仍会留有少许黄斑或暗斑，这些痕迹如果不清除的话，上机后会发生异常，容易造成机台稳定度不佳，甚至会损伤产品这最不良的结果产生。因此，如何去除这 些残留痕迹本领域技术人员致力于解决的难题之一。
发明内容
本发明的目的，就是针对上述问题而提供一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法，该清洗方法能够有效的去除陶瓷零部件表面难以去除的聚合物及污染物。使产品变得更加洁白艳质。本发明为达目的所采用的技术方案是:本发明的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法，包括以下步骤:先将陶瓷零部件放入化学液中浸泡，待将主要附着物去除后，取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中，在300-900°C的温度条件下，高温焙烧I至12小时，完成高温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。上述的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法，其中，所述化学液为酸液、碱液或有机溶液。上述的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法，其中，所述酸液为氟氢酸，所述碱液为氢氧化钾，所述有机溶液为异丙醇。本发明清洗方法具有以下优点:1.能够有效的去除陶瓷零部件表面难以去除的聚合物及污染物，使产品变得更加洁白艳质；2.是利用热对陶瓷零部件进行清洗，过程中没有施加任何外力，所以完全不会损伤零部件。可有效的延长零部件的使用寿命；3.大量减少高浓度化学药液的使用，对原料使用成本降低有明显帮助；4.由于化学药液使用量降低，相对也降低化学废液的产生，对于降低污水的处理成本与其他环保成本的支出，具有既有效又正面的帮助。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明作进一步描述:实施例1先将待清洗陶瓷零部件放入酸液(氟氢酸)中浸泡，待将主要附着物去除后，取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中，在600°C的温度条件下，高温焙烧8小时，完成高温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。实施例2先将待清洗陶瓷零部件放入碱液(氢氧化钾)中浸泡，待将主要附着物去除后，取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中，在700°C的温度条件下，高温焙烧7小时，完成高温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。实施例3先将待清洗陶瓷零部件放入有机溶液(异丙醇)中浸泡，待将主要附着物去除后，取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中，在800°C的温度条件下，高温焙烧6小时，完成高温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。实施例4先将待清洗陶瓷零部件放入碱液(氢氧化钾)中浸泡，待将主要附着物去除后，取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中，在500°C的温度条件下，高温焙烧10小时，完成高温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。实施例5先将待清洗陶瓷零部件放入有机溶液(异丙醇)中浸泡，待将主要附着物去除后，取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中，在500°C的温度条件下，高温焙烧11小时，完成高温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。以上实施例仅供说明本发明之用，而非对本发明的限制，有关技术领域的技术人员，在不脱离本发明的精神和范围的情况下，还可以作出各种变换或变型，因此所有等同的技术方案也应该属于本发明的范畴，应由各权利要 求所限定。
权利要求
1.一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法，其特征在于，包括以下步骤: 先将陶瓷零部件放入化学液中浸泡，待将主要附着物去除后，取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中，在300-900°C的温度条件下，高温焙烧I至12小时，完成高温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。
2.按权利要求1所 述的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法，其特征在于，所述化学液为酸液、碱液或有机溶液。
3.按权利要求2所述的一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法，其特征在于，所述酸液为氟氢酸，所述碱液为氢氧化钾，所述有机溶液为异丙醇。
全文摘要
本发明涉及一种用于陶瓷零部件的高温焙烧清洗方法，包括以下步骤先将陶瓷零部件放入化学液中浸泡，待将主要附着物去除后，取出陶瓷零部件并置于高温烘箱装置中，在300-900℃的温度条件下，高温焙烧1至12小时，完成高温焙烧的陶瓷零部件再经由酸液清洗将高温焙烧出的细部附着物去除。本发明方法能够有效的去除陶瓷零部件表面难以去除的聚合物及污染物，使产品变得更加洁白艳质；利用热对陶瓷零部件进行清洗，过程中没有施加任何外力，所以完全不会损伤零部件。可有效的延长零部件的使用寿命；大量减少高浓度化学药液的使用，对原料使用成本降低有明显帮助；对于降低污水的处理成本与其他环保成本的支出，具有既有效又正面的帮助。
文档编号C04B41/91GK103086723SQ20111034002
公开日2013年5月8日 申请日期2011年11月1日 优先权日2011年11月1日
发明者吴志君 申请人:上海科秉电子科技有限公司, 科治新技股份有限公司