一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法
【专利摘要】本发明公开了一种使用Φ80μm电镀金刚石线切割硅片的方法，其包括如下步骤：(1)配制切削液；(2)粘棒；(3)上料；(4)切割预热；(5)切割；(6)下料。本发明的优点在于，在切割过程中能够明显减少刀口损失，提高单晶公斤出片数，降低加工成本；同时还可以降低切割后硅片表面粗糙度，保证产品合格率。
【专利说明】-种使用0 80um电镀金刚石线切割硅片的方法
【技术领域】：
[0001] 本发明涉及一种切割硅片的方法，特别是涉及一种使用0 80 电镀金刚石线切 割硅片的方法。
【背景技术】：
[0002] 太阳能级硅片在太阳能光伏电池的制造中占据着重要的地位，其加工成本的高低 影响着太阳能光伏电池生产企业的市场竞争力。目前，国内部分生产厂家采用了较为先进 的电镀金刚石线切割工艺，这种切割工艺的采用可以提高硅的利用率。但采用电镀金刚石 线切割工艺，在切割过程中刀口易损失，由于电镀金刚石线成本较高，因此若能降低切割过 程中刀口的损失，就可以在一定程度上降低切割成本，从而降低硅片加工成本，提升企业的 市场竞争力。
【发明内容】
：
[0003] 本发明的目的在于提供一种能够降低刀口损失、提高单晶公斤出片数、降低加工 成本、降低切割后硅片表面粗糙度的使用080iim电镀金刚石线切割硅片的方法。
[0004] 本发明由如下技术方案实施：一种使用①80iim电镀金刚石线切割娃片的方法， 其包括如下步骤：（1)配制切削液；（2)粘棒；（3)上料；（4)切割预热；（5)切割；(6)下料；
[0005] 所述步骤（1)配制切削液：切削液由工业用纯水和水溶性冷却液混合配制而成， 配制成的所述切削液的体积比浓度为〇. 15%?0. 2% ;
[0006] 所述步骤（5)切割：切割钢线采用OSOym的电镀金刚石线，所述电镀金刚石线 的颗粒粒径为8?16ym;硅片切割钢线张力设定为12?16N，单片用线量为0. 8?1. 2m/ pcs,主切割速度为0. 7?1.Omm/min，钢线运行速度为800?1200mm/min;设定娃片目标 厚度为130?160ym;多线切割机主辊布线槽槽距设定为230?270ym，槽深为200? 240ym，槽夹角为30°?45° ;整个切割过程中，保证所述切削液流量稳定在180?220L/ min〇
[0007] 所述水溶性冷却液为BLASER冷却液或庆宏高特冷却液。
[0008] 本发明的优点在于，在切割过程中能够明显减少刀口损失，提高单晶公斤出片数， 降低加工成本；同时还可以降低切割后硅片表面粗糙度，保证产品合格率。
【具体实施方式】：
[0009] 实施例1 :
[0010] 一种使用OSOym电镀金刚石线切割硅片的方法，其包括如下步骤：⑴配制切削 液；⑵粘棒；（3)上料；（4)切割预热；（5)切割；(6)下料；
[0011] 步骤（1)配制切削液：切削液由工业用纯水和水溶性冷却液混合配制而成，水溶 性冷却液为BLASER冷却液或庆宏冷却液，配制成的切削液的体积比浓度为0. 15% ;
[0012]步骤（5)切割：切割钢线采用OSOym的电镀金刚石线，电镀金刚石线的颗粒粒径 为8ym;硅片切割钢线张力设定为12N，单片用线量为0. 8m/pCS，主切割速度为0. 7mm/min， 钢线运行速度为800mm/min;设定硅片目标厚度为130ym;多线切割机主辊布线槽槽距设 定为230ym，槽深为200ym，槽夹角为30° ;整个切割过程中，保证所述切削液流量稳定在 180L/min〇
[0013] 采用实施例1进行硅片切害I]，电镀金刚石线的刀口损失为43. 5%，较使用 0120ym、0100ym电镀金刚石线进行硅片切割的切割刀口损失分别降低9. 2%、5. 5%， 切割过程刀口损失能够得到明显减少。同时使用080 电镀金刚石线切割，单晶公斤出 片数较①120iim、①100iim电镀金刚石线切割分别增加14片/公斤、8. 4片/公斤，单台 设备月盈利能够增加2-4万元。
[0014] 实施例1与使用OlOOiim电镀金刚石线进行硅片切割的参数对比，如 表1所示。
[0015] 表1实施例1与使用〇 120iim、0100iim电镀金刚石线进行硅片切割的参数对比
[0016]
【权利要求】
1. 一种使用①80 iim电镀金刚石线切割硅片的方法，其包括如下步骤：（1)配制切削 液；⑵粘棒；(3)上料；(4)切割预热；（5)切割；(6)下料；其特征在于， 所述步骤（1)配制切削液：切削液由工业用纯水和水溶性冷却液混合配制而成，配制 成的所述切削液的体积比浓度为〇. 15%?0. 2% ; 所述步骤（5)切割：切割钢线采用OSOym的电镀金刚石线，所述电镀金刚石线的颗 粒粒径为8?16 ii m ;娃片切割钢线张力设定为12?16N，单片用线量为0. 8?1. 2m/pcs， 主切割速度为〇. 7?1. Omm/min，钢线运行速度为800?1200mm/min ;设定娃片目标厚度为 130?160 ii m ;多线切割机主辊布线槽槽距设定为230?270 ii m，槽深为200?240 ii m，槽 夹角为30°?45° ;整个切割过程中，保证所述切削液流量稳定在180?220L/min。
2. 根据权利要求1所述的一种超薄硅片的切割方法，其特征在于，所述水溶性冷却液 为BLASER冷却液或庆宏高特冷却液。
【文档编号】B28D5/04GK104441283SQ201410615958
【公开日】2015年3月25日 申请日期:2014年10月30日 优先权日:2014年10月30日
【发明者】王景然, 危晨, 崔伟, 杜雪冬, 郭刚刚, 王龙, 赵越, 徐小龙, 王岩, 徐强 申请人:内蒙古中环光伏材料有限公司