液滴排出方法以及有机EL装置的制造方法与流程

本发明涉及液滴排出方法、实现液滴排出方法的程序、使用了液滴排出方法的有机EL装置的制造方法以及使用了液滴排出方法的滤色器的形成方法。

背景技术：

公知有使用能够将液体作为液滴排出的喷墨头，形成例如包括配置于有机电致发光(EL)装置的像素的发光层的功能层、以及用于液晶显示装置的滤色器的着色层的液滴排出法(或者也称为喷墨法)。

在用于这种功能层、着色层的形成的液滴排出法中，追求利用隔壁包围形成涂覆膜的区域，并将从喷墨头排出的液滴可靠地收纳于隔壁所围起的区域，由此形成具有所希望的膜厚的涂覆膜。

例如，在专利文献1中，公开了以使液滴的中心着落于从显示用点区域的中心至最近的该显示用点区域的边缘为止的距离的大致30％以内的范围内的方式，使液滴从喷墨头的喷嘴排出的滤色器基板的制造方法。

若使用这种滤色器基板的制造方法，则着落后的液滴难以越过堤岸(隔壁)向相邻的区域侵入，从而防止在不同颜色的过滤要素(着色层)间产生混色。

另外，例如，在专利文献2中，公开了包含液滴着落区域设定工序的图案膜形成部件的制造方法，在该液滴着落区域设定工序中，相对于由划分部划分出的图案膜形成区域中的液滴的着落允许区域，设定液滴排出头的移动方向侧的第1着落禁止区域、以及液滴排出头的移动方向的相反的一侧的第2着落禁止区域，并且将第1着落禁止区域设定得比第2着落禁止区域宽。

若使用这种图案膜形成部件的制造方法，则在从液滴排出头的喷嘴排出液滴时，即便追随着液滴的主滴的拖尾部、跟随液滴(微小液滴)等延迟着落，也能够将液滴收容于欲着落的图案膜形成区域。换句话说，涂覆于相邻的图案膜形成区域的功能液彼此不接触，能够减少混色不佳。

专利文献1：日本特开2004－361491号公报

专利文献2：日本特开2011－189267号公报

然而，若有机EL装置、液晶显示装置中的像素变得高精细，则由堤岸(划分部)围起的膜形成区域变窄而难以高精度地使液滴着落。另外，若在液滴排出头的移动方向上，划分相邻的膜形成区域的堤岸(划分部)的宽度变窄，则即便如上述专利文献1、上述专利文献2那样设定液滴的着落区域或者着落禁止区域，也会在液滴着落于着落区域时，因其惯性力而液滴形状增大，因此存在越过堤岸(划分部)向相邻的膜形成区域侵入，引发图案膜的膜厚不均、颜色不均的担忧。

技术实现要素：

本发明是为了决定上述的课题的至少一部分而产生的，并能够作为以下方式或者应用例而实现。

[应用例]本应用例的液滴排出方法的特征在于，在基体上具有在第1方向上经由隔壁相邻的第1开口部和第2开口部、以及在第1方向上经由隔壁与上述第2开口部相邻的第3开口部，该液滴排出方法包括：区域设定步骤，其中，在上述第1方向上，以从上述第3开口部的上述第2开口部侧的端部向上述第2开口部侧隔开规定的距离L的方式设定上述第2开口部的着落区域的一方的端部，并以从上述第1开口部的上述第2开口部侧的端部向上述第2开口部侧隔开上述规定的距离L的方式设定上述第2开口部的上述着落区域的另一方的端部；以及排出步骤，其中，使上述基体与排出头对置并相对地进行扫描，并使至少一滴液滴从上述排出头的喷嘴向上述着落区域着落。

根据本应用例，若考虑液滴的着落后的着落直径的大小设定规定的距离L，则能够以使在排出步骤中着落于第2开口部的着落区域的液滴不向在第1方向上相邻的第1开口部、第3开口部泄漏的方式向第2开口部涂覆液滴。规定的距离L包括第1方向上的开口部间的隔壁的宽度，因此能够与隔壁的宽度无关地设定第2开口部的着落区域。即，能够设定出即便第1方向上的隔壁的宽度较窄着落后的液滴也不向相邻的开口部泄漏的着落区域。

在上述应用例所记载的液滴排出方法中，其特征在于，在将上述第1方向上的上述第1开口部的宽度设为W1、将上述第1方向上的上述第2开口部的宽度设为W2、将上述第1方向上的上述第3开口部的宽度设为W3、将上述第1方向上的上述第1开口部与上述第2开口部之间的上述隔壁的宽度设为L1、将上述第1方向上的上述第2开口部与上述第3开口部之间的上述隔壁的宽度设为L2时，满足W1＜W2≤W3且L1＞L2。

根据该方法，能够提供即便将第2开口部与第3开口部之间的隔壁的宽度L2设定得比第1开口部与第2开口部之间的隔壁的宽度L1窄，着落于第2开口部的着落区域的液滴也难以向相对于第2开口部的宽度W2而言宽度W3相同或者更宽的第3开口部泄漏，并且难以向宽度W1比第2开口部的宽度W2窄的第1开口部泄漏的液滴排出方法。

在上述应用例所记载的液滴排出方法中，其特征在于，上述排出头具有多个喷嘴，在上述排出步骤中，相对于被配置为上述第1开口部、上述第2开口部以及上述第3开口部的长边方向沿着与上述第1方向正交的第2方向的上述基体，使上述排出头沿上述第2方向相对地进行扫描，并使多个液滴从上述多个喷嘴中的至少一个喷嘴向上述着落区域着落。

在伴随着使多个喷嘴沿第2方向相对移动的扫描，使多个液滴从至少一个喷嘴向着落区域着落的所谓的纵向描绘中，虽也受第2方向的排出间隔影响，但在多个液滴连续地着落的情况下，与一滴液滴的着落直径相比由多个液滴构成的着落直径容易变大。

根据该方法，能够提供通过考虑纵向描绘中的液滴的着落直径，设定规定的距离L，从而在纵向描绘中着落后的液滴难以向相邻的开口部泄漏的液滴排出方法。

在上述应用例所记载的液滴排出方法中，其特征在于，上述排出头具有多个喷嘴，在上述排出步骤中，相对于被配置为上述第1开口部、上述第2开口部以及上述第3开口部的长边方向沿着与上述第1方向正交的第2方向的上述基体，使上述排出头沿上述第1方向相对地进行扫描，并使至少一滴液滴从上述多个喷嘴中的两个以上的喷嘴分别向上述着落区域着落。

根据该方法，能够提供即便在伴随着使多个喷嘴沿第1方向相对移动的扫描，使至少一滴液滴从两个以上的喷嘴分别向着落区域着落的所谓的横向描绘中，着落后的液滴也难以向相邻的开口部泄漏的液滴排出方法。

在上述应用例所记载的液滴排出方法中，优选对于在使上述基体与上述排出头对置并相对地进行扫描的一次扫描中着落于上述着落区域的液滴的最大直径的一半的值加上液滴的着落位置误差，将上述规定的距离L设定得大于上述相加后所得的值。

根据该方法，能够将从排出头的喷嘴排出的液滴可靠地收容于开口部。

在上述应用例所记载的液滴排出方法中，也可以对于将数目与在使上述基体与上述排出头对置并相对地进行扫描的一次扫描中着落于上述着落区域的液滴的个数相同的液滴向上述隔壁上排出而着落后的液滴的最大直径的一半的值加上液滴的着落位置误差，将上述规定的距离L设定得大于上述相加后所得的值。

有时着落于着落区域且着落直径增大的液滴跃上隔壁。在跃上了隔壁的状态下难以准确地测量着落直径。根据该方法，基于着落于隔壁上时的液滴的最大直径设定规定的距离L，因此能够容易地求出最大直径而设定规定的距离L。

在上述应用例所记载的液滴排出方法中，优选在上述一次扫描中，使虚拟液滴着落于上述隔壁上，并将上述虚拟液滴的中心作为基准求出上述最大直径。

若着落于着落区域的多个液滴相互接触而合体，则难以准确地确定着落位置。

根据该方法，将虚拟液滴的中心作为基准求出着落于着落区域之后的最大直径，因此能够容易地求出最大直径。

在上述应用例所记载的液滴排出方法中，其特征在于，设定上述着落区域，使之包含在上述排出步骤中着落的液滴的中心位于上述着落区域的上述一方的端部以及上述另一方的端部的液滴。

根据该方法，即便多个液滴以液滴的中心位于该开口部的第1方向上的着落区域的一方的端部以及另一方的端部的方式着落，液滴也不向与该开口部相邻的开口部泄漏，因此即便该开口部的宽度、开口部间的隔壁的宽度较窄也能够确保着落区域。

[应用例]本应用例的程序的特征在于，使计算机执行上述应用例所记载的液滴排出方法。

根据本应用例，能够提供可由计算机设定该开口部中的着落区域的程序，以避免着落于开口部的着落区域的液滴容易向在第1方向上与该开口部相邻的开口部泄漏。

[应用例]本应用例的有机EL装置的制造方法的特征在于，具有排出工序，其中，使用上述应用例所记载的液滴排出方法，将用于形成包括发光层的功能层中的至少一层的液状体作为液滴向经由隔壁相邻的多个开口部排出。

根据本应用例，着落于开口部的液滴难以向在第1方向上与该开口部相邻的开口部泄漏，因此能够在抑制因液滴的泄漏而产生的膜厚不均、发光不均的同时，在该开口部形成功能层中的至少一层。

[应用例]本应用例的滤色器的制造方法的特征在于，具有排出工序，其中，使用上述应用例所记载的液滴排出方法，将用于形成着色层的液状体作为液滴向经由隔壁相邻的多个开口部排出。

根据本应用例，着落于开口部的液滴难以向在第1方向上与该开口部相邻的开口部泄漏，因此能够在抑制因液滴的泄漏而产生的膜厚不均、颜色不均的同时，在该开口部形成滤色器的着色层。

附图说明

图1是表示液滴排出装置的结构的简要立体图。

图2是表示喷墨头的结构的简要立体图。

图3是表示喷墨头的喷嘴面中的多个喷嘴的配置状态的俯视图。

图4是表示头单元中的喷墨头的配置的简要俯视图。

图5是表示液滴排出装置的机电结构的框图。

图6是表示滤色器基板的结构的简要俯视图。

图7是表示滤色器基板的结构的简要剖视图。

图8是表示隔壁中的开口部以及着落区域的配置例的简要俯视图。

图9是表示液滴排出方法中的液滴的着落状态的例子的简要俯视图。

图10是表示液滴排出方法中的液滴的着落状态的其他例子的简要俯视图。

图11是表示液滴排出方法中的液滴的着落状态的简要剖视图。

图12是表示有机EL装置的结构例的简要俯视图。

图13是表示有机EL元件的结构例的简要剖视图。

图14是表示与有机EL装置的子像素对应的开口部以及着落区域的配置例的简要俯视图。

附图标记说明：

10…液滴排出装置；50…作为排出头的喷墨头；52…喷嘴；101…基板；105…隔壁；105a…开口部；105e…着落区域；110…滤色器；110R、110G、110B…着色层；201…作为基体的元件基板；205…隔壁；205a、205Ra、205Ga、205Ba…开口部；205Re、205Ge、205Be…着落区域；Da…虚拟液滴。

具体实施方式

以下，根据附图对将本发明具体化的实施方式进行说明。此外，以能够识别所说明的部分的状态的方式适当地放大或者缩小显示所使用的附图。

(第1实施方式)

＜液滴排出装置＞

首先，参照图1～图5对能够应用本实施方式的液滴排出方法的液滴排出装置的一个例子进行说明。图1是表示液滴排出装置的结构的简要立体图。图1所示的液滴排出装置10是对于工件从排出头的喷嘴将包含功能层形成材料的液状体作为液滴排出的装置。通过干燥·烧制而固化所排出的液状体，由此在工件的规定的区域形成功能层。这种功能层的形成方法被称为液相工序中的液滴排出法。作为使用液滴排出法形成的功能层的一个例子，列举有后述的滤色器的着色层、以及具有有机EL元件的发光功能的功能层。本实施方式的液滴排出方法能够适当地用于使用液滴排出装置10形成这种功能层的情况。此外，在液滴排出装置10中，作为排出头具备喷墨头，使用了喷墨头的液滴排出法也被称为喷墨法。

如图1所示，液滴排出装置10具备：使作为工件的例如平板状的基板W沿主扫描方向移动的工件移动机构20、以及使搭载有喷墨头的头单元9沿与主扫描方向正交的副扫描方向移动的头移动机构30。另外，在图1中包括未图示的机构(结构)，并具备对这些机构(结构)统一进行控制的控制部40。在后文中，也有时将主扫描方向称为Y轴方向，并将副扫描方向称为X轴方向进行说明。

工件移动机构20具备：一对导轨21、沿一对导轨21移动的移动台22、以及经由旋转机构6配设于移动台22上并载置有基板W的工作台5。

工作台5能够吸附固定基板W，并且能够利用旋转机构6使基板W内的基准轴准确地与主扫描方向(Y轴方向)、副扫描方向(X轴方向)一致。

另外，还能够与基板W上的排出液状体(墨水)的膜形成区域的配置对应地使基板W例如旋转90度。

头移动机构30具备：一对导轨31、以及沿一对导轨31移动的移动台32。在移动台32设置有经由旋转机构7吊设的托架8。

在托架8安装有头单元9，在该头单元9中，作为排出头的喷墨头50(参照图2)搭载于头板9a。

移动台32使托架8沿副扫描方向(X轴方向)移动并将头单元9相对于基板W对置配置。

液滴排出装置10除了上述结构之外还配设有用于向搭载于头单元9的多个喷墨头50供给液状体(墨水)的墨水供给机构、用于维护喷墨头50的维护机构等。

图2是表示喷墨头的结构的简要立体图，图3是表示喷墨头的喷嘴面中的多个喷嘴的配置状态的俯视图。

如图2所示，作为排出头的喷墨头50为所谓两连喷墨头，并具备：具有两连连接针54的液状体(墨水)的导入部53、被层叠于导入部53的头基板55、以及配置于头基板55上并在内部形成有液状体(墨水)的头内流路的头主体56。连接针54经由配管与前述的墨水供给机构(省略图示)连接，并将液状体(墨水)供给至头内流路。在头基板55设置有经由柔性扁平电缆(省略图示)与作为头驱动部的头驱动器63(参照图5)连接的两连连接器58。

头主体56具有：加压部57，其由作为驱动单元(致动器)的压电元件构成并具有空腔；以及喷嘴板51，其在喷嘴面51a相互平行地形成有两条喷嘴列52a、52b。

如图3所示，两条喷嘴列52a、52b分别以间距P1的大致相等间隔排列有多个(例如180个)喷嘴52，并以相互错开间距P1的一半的间距P2的状态配设于喷嘴面51a。在本实施方式中，间距P1例如大致为141μm。因此，在从与由两条喷嘴列52a、52b构成的喷嘴列52c正交的方向观察时成为360个喷嘴52以大致70.5μm的喷嘴间距排列的状态。另外，喷嘴52的直径大致为27μm。

喷墨头50在将作为电信号的驱动信号从头驱动器63施加于压电元件后使加压部57的空腔产生体积变动，通过由此产生的抽吸作用对填充于空腔的液状体(墨水)加压，从而能够将液状体(墨水)作为液滴从喷嘴52排出。

喷墨头50中的针对每个喷嘴52设置的驱动机构(致动器)并不局限于压电元件。致动器可以为通过静电吸附使振动板位移的机电转换元件、或者加热液状体(墨水)并使之作为液滴从喷嘴52排出的热电转换元件。

图4是表示头单元中的喷墨头的配置的简要俯视图。详细而言，图4是从与基板W对置的一侧观察的图。

如图4所示，头单元9具备配设有多个喷墨头50的头板9a。在头板9a搭载有由三个喷墨头50构成的头群50A、以及同样由三个喷墨头50构成的头群50B的共计六个喷墨头50。在本实施方式中，头群50A的头R1(喷墨头50)与头群50B的头R2(喷墨头50)排出同种液状体(墨水)。在其他的头G1与头G2、头B1与头B2中也同样。即，构成为能够排出三种不同液状体(墨水)。

将能够利用一个喷墨头50描绘的描绘宽度设为L₀，将该L₀设为喷嘴列52c的有效长。喷嘴列52c由360个喷嘴52构成。

头R1与头R2以在从主扫描方向(Y轴方向)观察时相邻的喷嘴列52c沿与主扫描方向正交的副扫描方向(X轴方向)隔开一个喷嘴间距连续的方式沿主扫描方向并列配设。因此，排出同种液状体(墨水)的头R1与头R2的有效的描绘宽度Ld形成为描绘宽度L₀的两倍。在头G1与头G2、头B1与头B2中也同样沿主扫描方向(Y轴方向)并列配置。

此外，设置于喷墨头50的喷嘴列52c并不局限于两连，也可以为一连。另外，头单元9中的喷墨头50的配置并不局限于此。

接下来，参照图5对液滴排出装置10的机电结构及其功能进行说明。图5是表示液滴排出装置的机电结构的框图。

如图5所示，液滴排出装置10具备：驱动部60，其具有对头移动机构30、工件移动机构20、喷墨头50以及维护机构70等进行驱动的各种驱动器；以及控制部40，其对包括驱动部60在内的液滴排出装置10统一进行控制。

驱动部60具备：驱动控制头移动机构30的线性马达的头移动用驱动器61、同样驱动控制工件移动机构20的线性马达的工件移动用驱动器62、驱动控制喷墨头50的作为头驱动部的头驱动器63、以及驱动控制维护机构70的维护用驱动器64。

此外，虽在图5中省略了图示，但液滴排出装置10具备：能够对工件移动机构20中的移动台22的沿主扫描方向(Y轴方向)的位置进行检测的线性标尺和标尺头、以及与该标尺头对应的编码器。头移动机构30也具备：能够对移动台32的沿副扫描方向(X轴方向)的位置进行检测的线性标尺和标尺头、以及与该标尺头对应的编码器。构成为利用从这些编码器周期性地产生的编码器脉冲进行移动台22、移动台32彼此的移动控制。

维护机构70构成为包括：接受从喷墨头50的喷嘴52试验性地排出的液滴并测量重量的例如电子天秤等重量测定机构71；密封喷墨头50的喷嘴面51a(参照图2)，从喷嘴52吸引液状体(墨水)，使产生了堵塞的喷嘴52等恢复的盖机构72；以及利用擦拭部件擦去附着于喷嘴面51a的异物而将其清洁化的擦拭机构73。维护用驱动器64构成为包括分别驱动用于维护喷墨头50的这些机构的驱动器。此外，维护机构70的结构并不局限于此，也可以具备拍摄机构等，其利用薄膜等被排出物接受从喷墨头50的喷嘴52排出的液滴，拍摄液滴的着落状态，由此检测液滴的着落位置精度、堵塞等。

控制部40具备CPU41、ROM42、RAM43、以及P－CON(程序控制器)44，这些部件相互经由总线45连接。在P－CON44连接有上位计算机11。ROM42具有：对由CPU41处理的控制程序等进行存储的控制程序区域、以及对用于进行描绘动作、使喷墨头50的功能恢复的维护处理等的控制数据等进行存储的控制数据区域。

RAM43具有存储表示相对于基板W排出液滴后液滴怎样配置的排出位置数据的排出位置数据存储部、以及存储基板W以及喷墨头50(实际上为喷嘴列52c)的位置数据的位置数据存储部等各种存储部，并被使用作为用于控制处理的各种作业区域。在P－CON44连接有驱动部60的各种驱动器等，构成并安装用于补充CPU41的功能并且处理与周边电路的接口信号的逻辑电路。因此，P－CON44将来自上位计算机11的各种指令等保持原样不变或者加工之后获取至总线45，并且与CPU41联动地将从CPU41等被输出至总线45的数据、控制信号保持原样或者加工之后输出至驱动部60。

而且，CPU41根据ROM42内的控制程序经由P－CON44输入各种检测信号、各种指令、各种数据等，并在处理了RAM43内的各种数据等之后，经由P－CON44向驱动部60等输出各种控制信号，由此控制液滴排出装置10整体。例如，CPU41对喷墨头50、工件移动机构20以及头移动机构30进行控制，并使头单元9与基板W对置配置。而且，CPU41向头驱动器63送出控制信号，以便同头单元9与基板W(工作台5)的相对移动同步地从搭载于头单元9的各喷墨头50的多个喷嘴52将液状体(墨水)作为液滴向基板W排出。在本实施方式中，将与基板W沿Y轴方向的移动同步地排出液状体(墨水)的情况称为主扫描，将使头单元9相对于主扫描沿X轴方向移动的情况称为副扫描。本实施方式的液滴排出装置10能够通过组合并多次反复主扫描与副扫描而将液状体(墨水)向基板W排出。主扫描并不局限于基板W相对于喷墨头50向一个方向的移动，还能够使基板W进行往复移动。

设置于工件移动机构20的编码器伴随着主扫描而生成编码器脉冲。在主扫描中，使移动台22以规定的移动速度移动，因此周期性地产生编码器脉冲。

例如，若将主扫描中的移动台22的移动速度设为200mm/sec、将驱动喷墨头50的驱动频率(换言之，连续排出液滴的情况下的排出正时)设为20kHz，则主扫描方向上的液滴的排出分辨率可通过移动速度除以驱动频率来获得，为10μm。即，能够以10μm的间距将液滴配置于基板W上。若移动台22的移动速度形成为20mm/sec，则能够以1μm的间距将液滴配置于基板W上。实际的液滴的排出正时基于计数周期性地产生的编码器脉冲而生成的排出控制数据。将这种主扫描中的基板W上的液滴的最小配置间距称为排出分辨率。

上位计算机11将控制程序、控制数据等控制信息向液滴排出装置10送出。并且，上位计算机11具有生成将液状体(墨水)作为液滴配置于基板W上的作为排出控制数据的配置信息的配置信息生成部的功能。配置信息将表示基板W中的液滴的配置位置的排出位置数据、表示液滴的配置数的排出数据(换言之，针对每个喷嘴52的排出数)、主扫描中的多个喷嘴52的开启/关闭即喷嘴52的选择/非选择等的信息例如表示为位图。上位计算机11不仅能够生成上述配置信息，而且还能够对暂时储存于RAM43的上述配置信息进行修正。

表示基板W中的液滴的配置位置的排出位置数据表示主扫描中的基板W与喷嘴52的相对位置。如前述那样，基板W载置于工作台5，并利用移动台22沿主扫描方向(Y轴方向)移动。通过对在主扫描中从工件移动机构20的编码器周期性地输出的编码器脉冲进行计数来控制基板W的主扫描方向上的位置、即工作台5的主扫描方向的位置。通过对从头移动机构30的编码器周期性地输出的编码器脉冲进行计数来控制喷墨头50即喷嘴52相对于基板W的副扫描方向(X轴方向)的位置。由此，基于排出位置数据，相对配置排出液滴的喷嘴52与基板W，并将液滴从喷嘴52朝向基板W排出。

＜液滴排出方法＞

接下来，列举适用于滤色器的形成方法的例子并参照图6～图11对本实施方式的液滴排出方法进行说明。图6是表示滤色器基板的结构的简要俯视图，图7是表示滤色器基板的结构的简要剖视图。图8是表示隔壁中的开口部以及着落区域的配置例的简要俯视图，图9是表示液滴排出方法中的液滴的着落状态的例子的简要俯视图，图10是表示液滴排出方法中的液滴的着落状态的其他例子的简要俯视图，图11是表示液滴排出方法中的液滴的着落状态的简要剖视图。

如图6以及图7所示，滤色器基板100具有透光性的基板101、以及形成于基板101上的滤色器110。滤色器110构成为包括：红(R)的着色层110R、绿(G)的着色层110G、蓝(B)的着色层110B、以及遮光性的隔壁105。如图6所示，着色层110R、110G、110B分别在俯视视角下为大致长方形，并分别形成于隔壁105所围起的区域。相同颜色的着色层在附图上沿列方向(或者着色层的长边方向)排列，不同颜色的着色层110R、110G、110B在附图上沿行方向(或者着色层的短边方向)排列。这种着色层110R、110G、110B的排列方式被称为条纹方式。在使用了这种滤色器基板100的例如液晶显示装置等显示装置中，三种颜色的着色层110R、110G、110B被用作一个显示像素单位。此外，条纹方式的显示像素单位中的不同颜色的着色层的排列并不局限于R、G、B的顺序，例如可以是B、G、R的顺序，也可以是G、B、R的顺序。

如图7所示，基板101上的着色层110R、110G、110B的膜厚例如为1.0μm～2.0μm。与此相对，基板101上的隔壁105的高度(膜厚)大于着色层110R、110G、110B的膜厚。作为这种隔壁105的形成方法，例如可举出采用偏移法等印刷法来使包含遮光性的材料的树脂形成为规定的图案形状以此形成隔壁的方法；以及通过旋涂法、辊涂法涂覆包含遮光性的颜料的感光性树脂来形成涂覆膜，并通过曝光·显影该涂覆膜来形成所希望的图案形状的光刻法等。

另一方面，对于着色层110R、110G、110B的形成方法而言，使用前述的液滴排出装置10将包含色材的液状体从喷墨头50的喷嘴52向隔壁105所围起的区域涂覆，并使涂覆后的液状体干燥并固化而形成。通过对向隔壁105所围起的区域涂覆的液状体的量进行调整，可以使着色层110R、110G、110B彼此的膜厚大致相同，也可以使一个着色层的膜厚与其他着色层的膜厚不同。通过对着色层110R、110G、110B彼此的膜厚进行调整，能够调整滤色器110中的光的透过率、颜色再现性、颜色平衡性等光学特性。与通过光刻法形成着色层110R、110G、110B的情况相比，液滴排出法能够比较容易地调整着色层110R、110G、110B彼此的膜厚即光学特性，较为优选。

接下来，参照图8对使用液滴排出法排出包含色材的液状体的隔壁105的开口部以及着落区域的配置例进行说明。

如图8所示，在遮光性的隔壁105形成有在俯视视角下为大致长方形的开口部105a。向开口部105a涂覆包含色材的液状体而形成着色层。以使涂覆后的液状体向开口部105a均匀地蔓延的方式将开口部105a的角部形成为圆弧状。此外，开口部105a的平面形状并不局限于此，短边侧也可以为圆弧状。

为了便于说明，在图8中，将从左侧向右侧排列的开口部105a设为第1开口部、第2开口部以及第3开口部(此外，图9、图10也同样)。将第1开口部的宽度设为W1、将第2开口部的宽度设为W2、将第3开口部的宽度设为W3。将第1开口部与第2开口部之间的隔壁105的宽度设为L1、将第2开口部与第3开口部之间的隔壁105的宽度设为L2。在图8所示的开口部105a的配置例中，W1＝W2＝W3且L1＝L2。换句话说，短边方向的宽度恒定的开口部105a沿短边方向以等间隔配置。

在多个开口部105a各开口部中，使液状体的液滴着落的着落区域105e为虚线所示的长方形。若着眼于图8中位于中央的第2开口部，则以从与第2开口部的右侧相邻的第3开口部的第2开口部侧的端部隔开规定的距离L的方式设定着落区域105e的短边方向上的一方的端部。另外，以从与第2开口部的左侧相邻的第1开口部的第2开口部侧的端部隔开规定的距离L的方式设定着落区域105e的短边方向上的另一方的端部(区域设定步骤)。换句话说，在本实施方式中相同大小的开口部105a沿短边方向排列，因此各开口部105a中的着落区域105e的短边方向上的位置相同，着落区域105e位于各开口部105a的短边方向上的中央部。此外，各开口部105a的长边方向上的着落区域105e的位置也与短边方向同样，也可以以从在长边方向上与该开口部105a相邻的开口部105a的端部隔开规定的距离的方式设定。由于在沿长边方向相邻的开口部105a形成有相同颜色的着色层，因此该开口部105a中的着落区域105e的长边方向上的位置无需相比短边方向的位置严密地进行设定。

本实施方式的液滴排出方法是使用前述的液滴排出装置10进行的方法，针对具体的液滴的着落方式，首先对图9所示的例子进行说明。

如图9所示，本例在沿短边方向排列的开口部105a中的左侧的第1开口部形成着色层110R。以使喷嘴列52的多个喷嘴52的排列方向沿着开口部105a的短边方向的方式，相对于液滴排出装置10中的喷墨头50配置形成有隔壁105的基板101。换句话说，以使开口部105a的长边方向沿着Y轴方向(主扫描方向)的方式配置基板101。将进行如此沿副扫描方向(X轴方向)配置喷嘴列52c并从所选择的喷嘴52向被配置为长边方向与主扫描方向(Y轴方向)一致的开口部105a排出液滴的主扫描的情况(排出步骤)、即进行将液滴涂覆于规定的范围的描绘的情况称为纵向描绘。此外，纵向描绘中的喷嘴列52c的配置并不局限于沿着副扫描方向(X轴方向)的方向，也可以为相对于主扫描方向(Y轴方向)倾斜地交叉的方向。通过将喷嘴列52c相对于主扫描方向倾斜地倾倒，能够减小从主扫描方向观察时的实际的喷嘴52的配置间隔。换言之，能够减小能够在主扫描中沿副扫描方向(X轴方向)配置液滴D的间隔。

在前述的排出位置数据中作为位图包括形成有着色层110R的第1开口部的着落区域105e，从喷嘴52将包含红(R)的色材的液状体作为液滴D排出并着落于以从形成有着色层110G的相邻的第2开口部的端部隔开规定的距离L的方式设定的着落区域105e。在喷墨头50与基板101沿主扫描方向(图9中箭头所示的方向)相对移动的期间，将预先决定的个数的液滴D从该喷嘴52以基于排出分辨率的间隔着落于着落区域105e。如前述那样排出分辨率为μm(微米)单位，因此如图9所示，若使多个液滴D沿Y轴方向连续地着落，则液滴D的着落间隔(时间以及距离)较短，因此液滴D彼此容易合体成为更大的液滴Ds。

在图9中示出了在一次主扫描中从对应于着落区域105e的一个喷嘴52排出四滴液滴D的例子，但液滴D的排出数并不局限于此。被涂覆于第1开口部的液状体的量由第1开口部的面积以及着色层110R的膜厚、以及液状体中所含的包含色材的固态含量的浓度决定。另外，根据该液状体的量，决定在一次主扫描中着落于着落区域105e的液滴D的排出数。在为纵向描绘的情况下，虽受到从主扫描方向观察时的喷嘴52的间隔以及开口部105a的宽度的影响，不过在一次主扫描中对应于开口部105a的喷嘴52的个数如图9所示为一个或者两个。在一次主扫描中，由于喷嘴52并不一定以恰当的位置对应于基板101上的形成红(R)的着色层110R的全部开口部105a，所以进行使喷嘴52的位置相对于基板101相对偏移的副扫描之后再次进行主扫描。

本实施方式中的着落区域105e的设定是在包含从喷嘴52排出的液滴D的中心着落于X轴方向上的着落区域105e的端部的液滴D的技术思想的基础上设定的。因此，如图9所示，在一次主扫描中多个液滴D着落于着落区域105e的X轴方向上的一方的端部上的情况下，存在多个液滴D合体而着落直径增大的液滴Ds跃上第1开口部与第2开口部之间的隔壁105并向第2开口部泄漏的担忧。液滴Ds的最大直径能够定义作为所排出的多个液滴D的着落直径。在如前述的专利文献1、专利文献2那样将排出液滴D的开口部105a的X轴方向上的端部作为基准决定着落区域105e的位置的方法中，难以防止这种液滴Ds的泄漏。之所以如此是由于未充分考虑着落后的多个液滴D的着落直径。

在本实施方式的液滴排出方法中，虽然也向着落区域105e的一方的端部着落多个液滴D，但以从与第1开口部的右侧相邻的第2开口部的第1开口部侧的端部隔开规定的距离L的方式设定着落区域105e的短边方向上的一方的端部，以避免多个液滴D合体而形成的液滴Ds向与第1开口部相邻的第2开口部泄漏。

因此，规定的距离L优选大于通过一次主扫描而着落的多个液滴D合体而形成的液滴Ds的最大直径的一半(液滴Ds的半径)的值加上液滴排出装置10中的着落位置误差的值而得的值。此外，关于第1开口部的着落区域105e的X轴方向上的另一方的端部的设定，与上述一方的端部相同也是使用上述规定的距离L来设定的(区域设定步骤)。

以使液滴D在主扫描中着落于位图(排出位置数据)中设定的目标着落位置的方式，在规定的排出正时从喷嘴52排出液滴D。作为实际的着落位置相对于目标着落位置的位置偏移量获得着落位置误差。着落位置误差(着落位置偏移量)优选通过使用了维护机构70的检查排出等预先取得。着落位置误差也可以基于喷墨头50所具备的多个喷嘴52中的一个喷嘴52中的着落位置偏移量、或者根据该喷嘴52中的多次检查排出结果获得的着落位置偏移量的平均值、最大值、最小值、或者标准偏差来评价。另外，也可以基于多个喷嘴52的着落位置偏移量的平均值、最大值、最小值、或者标准偏差来评价。或者也可以基于根据多个喷嘴52中的多次检查排出结果获得的着落位置偏移量的平均值、最大值、最小值、或者标准偏差来评价。

在决定规定的距离L时，在一部分跃上了隔壁105的状态下，难以高精度地测量液滴Ds的最大直径。为此，在本实施方式中，向隔壁105上排出虚拟液滴Da，并测量虚拟液滴Da的位置，由此能够准确地推断着落于着落区域105e的液滴D的中心位置。另外，将数目与向着落区域105e着落的液滴D的个数相同的液滴D向隔壁105上排出而形成虚拟液滴Da，若测量其最大直径，则能够容易且高精度地推断液滴Ds的最大直径。

此外，在上述液滴排出方法的例子中，副扫描方向(X轴方向)相当于本发明的第1方向，主扫描方向(Y轴方向)相当于本发明的第2方向。另外，基板101为本发明中的基体的一个例子。

接下来，参照图10对本实施方式的液滴排出方法中的其他液滴的着落方式进行说明。

如图10所示，本例中，以使喷嘴列52的多个喷嘴52的排列方向沿着开口部105a的长边方向的方式，相对于液滴排出装置10中的喷墨头50配置形成有隔壁105的基板101。换句话说，以使开口部105a的短边方向沿着Y轴方向(主扫描方向)的方式配置有基板101。相对于之前的纵向描绘，将进行如此沿副扫描方向(X轴方向)配置喷嘴列52c而从所选择的喷嘴52向被配置为副扫描方向(X轴方向)与长边方向一致的开口部105a，从至少两个以上的喷嘴52排出液滴D的主扫描的情况(排出步骤)称为横向描绘。此外，横向描绘中的喷嘴列52c的配置并不局限于沿着副扫描方向(X轴方向)的方向，也可以与纵向描绘相同为相对于主扫描方向(Y轴方向)倾斜地交叉的方向。

在图10中，在一次主扫描中从对应于第1开口部的着落区域105e的四个喷嘴52分别一次一滴地排出液滴D。另外，改变相邻的喷嘴52中的排出正时排出液滴D。由此，在着落区域105e中沿副扫描方向(X轴方向)相邻着落的液滴D在主扫描方向(Y轴方向)上的位置偏移。即，液滴D彼此的着落间隔变得比纵向描绘长，因此液滴D变得难以合体。若合体的液滴D的个数减少，则存在合体而形成的液滴Ds的着落直径也相比纵向描绘变小的趋势。因此，与纵向描绘相比横向描绘能够减小规定的距离L。换言之，即便与纵向描绘相比减小第1开口部与第2开口部之间的隔壁105的宽度，向第1开口部排出且着落直径增大的液滴Ds也不易向第2开口部泄漏。

此外，在横向描绘中向着落区域105e排出液滴D的喷嘴52的个数并不局限于四个而如前述那样至少为两个。从主扫描方向(Y轴方向)观察时的两个喷嘴52的间隔成为副扫描方向(X轴方向)上的液滴D的着落间隔，横向描绘与纵向描绘相比副扫描方向(X轴方向)上的着落间隔增大。因此，相邻的喷嘴52中的排出正时也可以不必改变。

根据上述液滴排出方法以及使计算机执行上述液滴排出方法的程序，液滴D所着落的该开口部105a的着落区域105e的端部将与该开口部105a相邻的开口部105a的端部作为基准，并考虑着落后的液滴Ds的着落直径、以及液滴排出装置10中的着落位置误差，被设定于隔开了规定的距离L的位置(区域设定步骤)。因此，如图11所示，从喷墨头50的至少一个喷嘴52排出多个液滴D，着落于第1开口部且着落直径增大的液滴Ds即便跃上第1开口部与第2开口部之间的隔壁105也不向第2开口部侧泄漏。以使遮光性的隔壁105的表面相对于液状体显示疏液性的方式预先实施预先表面处理、或者使用疏液性的材料形成隔壁105本身，由此能够将跃上隔壁105的液滴Ds收容于开口部105a内。

即，若使用液滴排出装置10，应用本实施方式的液滴排出方法，形成滤色器110，则能够减少因液滴Ds的泄漏而产生的混色，能够高成品率地形成滤色器110。

此外，在上述液滴排出方法的其他例子中，主扫描方向(Y轴方向)相当于本发明的第1方向，副扫描方向(X轴方向)相当于本发明的第2方向。

(第2实施方式)

接下来，列举适用于有机EL装置的制造方法的例子并参照图12～图14对第2实施方式的其他液滴排出方法进行说明。图12是表示有机EL装置的结构例的简要俯视图，图13是表示有机EL元件的结构例的简要剖视图，图14是表示与有机EL装置的子像素对应的开口部以及着落区域的配置例的简要俯视图。

＜有机EL装置＞

如图12所示，有机EL装置200具有配置有能够获得红(R)、绿(G)、蓝(B)的发光(发光颜色)的子像素210R、210G、210B的元件基板201。各子像素210R、210G、210B为大致长方形，并在元件基板201的显示区域E中配置为矩阵状。在后文中，有时将子像素210R、210G、210B通称为子像素210。相同发光颜色的子像素210在附图上沿垂直方向(列方向或者子像素210的长边方向)排列，不同发光颜色的子像素210在附图上沿水平方向(行方向或者子像素210的短边方向)按照R、G、B的顺序排列。即，不同发光颜色的子像素210R、210G、210B以所谓条纹方式配置。此外，子像素210R、210G、210B的平面形状以及配置并不局限于此。另外，大致长方形除了长方形之外，还包括角部变圆的四边形、对置的两边部形成为圆弧状的四边形。

在子像素210R设置有能够获得红(R)的发光的有机EL元件。同样，在子像素210G设置有能够获得绿(G)的发光的有机EL元件，在子像素210B设置有能够获得蓝(B)的发光的有机EL元件。

这种有机EL装置200将能够获得不同发光颜色的三个子像素210R、210G、210B作为一个显示像素单位，并对彼此的子像素210R、210G、210B进行电控。由此能够进行全彩显示。此外，在本实施方式中，能够获得红(R)的发光的子像素210R的面积小于其他子像素210G、210B。

在各子像素210R、210G、210B设置有图13所示的有机EL元件230。如图13所示，有机EL元件230具有：设置于元件基板201上的绝缘膜202、作为一对电极的像素电极203以及对置电极204、以及设置于像素电极203与对置电极204之间并包括发光层233的功能层236。

像素电极203作为阳极发挥功能，并针对每个子像素210R、210G、210B设置，该像素电极203使用例如ITO(氧化铟锡：Indium Tin Oxide)等的透明导电膜形成。

绝缘膜202使用例如氧化硅、氮化硅或者酸氮化硅等形成。

功能层236是从像素电极203侧依次层叠空穴注入层231、空穴输送层232、发光层233、电子输送层234以及电子注入层235而成的。特别是，发光层233根据发光颜色选择构成材料，但在此与发光颜色无关地通称为发光层233。此外，功能层236的结构并不局限于此，除了这些层以外，也可以具备对电荷(载体；空穴、电子)的移动进行控制的中间层等。

对置电极204作为阴极发挥功能，被设置作为子像素210R、210G、210B所共用的共用电极，例如使用Al(铝)、Ag(银)以及Mg(镁)的合金等形成。

从作为阳极的像素电极203侧向发光层233注入作为载体的空穴，从作为阴极的对置电极204侧向发光层233注入作为载体的电子。利用发光层233中被注入的空穴以及电子形成激子(Exciton；空穴以及电子因库仑力而被相互束缚的状态)，在激子(Exciton)消失时(空穴以及电子再结合时)能量的一部分成为荧光、磷光被放出。

在有机EL装置200中，若以具有光反射性的方式构成对置电极204，则可以形成将来自发光层233的发光从元件基板201侧发射出的底部发射型。另外，若在像素电极203与元件基板201之间设置反射层、或者以具有光反射性的方式构成像素电极203、以具有透光性的方式构成对置电极204，则也可以形成将来自发光层233的发光从对置电极204侧发射出的顶部发射型。在本实施方式中，有机EL装置200形成为底部发射型，并进行以下说明。此外，有机EL装置200为元件基板201具备能够分别独立地驱动针对每个子像素210R、210G、210B设置的有机EL元件230的像素电路的有源驱动型。像素电路能够采用公知的结构，因此在图13中省略了像素电路的图示。

有机EL装置200具有隔壁205，其与针对每个子像素210R、210G、210B设置的有机EL元件230中的像素电极203的外缘重叠，并且在像素电极203上构成开口部205a。

有机EL元件230通过液滴排出法形成有构成功能层236的空穴注入层231、空穴输送层232以及发光层233。将包含构成各层的成分以及溶剂的液状体(墨水)涂覆于隔壁205所围起的作为膜形成区域的开口部205a并进行干燥·烧制，由此形成各个层。为了以所希望的膜厚形成各个层，需要将规定量的液状体(墨水)无论是在量上还是在位置上均高精度地涂覆于开口部205a。

特别是，在本实施方式的有机EL装置200中，与能够获得红(R)的发光颜色的有机EL元件相比，能够获得绿(G)、蓝(B)的发光颜色的有机EL元件的发光寿命较短，因此通过使在单位面积中流动的电流量不同来抑制不同发光颜色的有机EL元件间的发光寿命产生差异的情况。换句话说，使能够获得红(R)的发光的子像素210R的面积小于其他子像素210G、210B。这种子像素210的面积的调整也适用于在不同发光颜色的有机EL元件间且在恒定的驱动条件下获得的发光亮度不同的情况。换句话说，有时以针对每个子像素210R、210G、210B获得规定的发光亮度以及发光寿命的方式调整面积。

＜其他液滴排出方法＞

对于本实施方式中的其他液滴排出方法而言，如图14所示，在子像素210R、210G、210B中的面积最小的子像素210R中，以从与设置于隔壁205的开口部205Ra在X轴方向上相邻的开口部205Ga的端部向开口部205Ra侧隔开规定的距离L的方式设定着落区域205Re的一方的端部。另外，以从与开口部205Ra在X轴方向上相邻的开口部205Ba的端部向开口部205Ra侧隔开规定的距离L的方式设定着落区域205Re的另一方的端部。同样，以从与开口部205Ga在X轴方向上相邻的开口部205Ba的端部向开口部205Ga侧隔开规定的距离L的方式设定着落区域205Ge的一方的端部。另外，以从与开口部205Ga在X轴方向上相邻的开口部205Ra的端部向开口部205Ga侧隔开规定的距离L的方式设定着落区域205Ge的另一方的端部。另外，以从与开口部205Ba在X轴方向上相邻的开口部205Ra的端部向开口部205Ba侧隔开规定的距离L的方式设定着落区域205Be的一方的端部。另外，以从与开口部205Ba在X轴方向上相邻的开口部205Ga的端部向开口部205Ba侧隔开规定的距离L的方式设定着落区域205Be的另一方的端部。

在该情况下，若将X轴方向上的开口部205Ra的宽度设为W1、将X轴方向上的开口部205Ga的宽度设为W2、将X轴方向上的开口部205Ba的宽度设为W3，则满足W1＜W2≤W3的关系。另外，若将X轴方向上的开口部205Ra与开口部205Ga之间的隔壁205的宽度设为L1、将X轴方向上的开口部205Ga与开口部205Ba之间的隔壁205的宽度设为L2，则满足L1＞L2的关系。并且，考虑着落的多个液滴的着落直径，规定的距离L被设定得大于着落时的最大直径的一半的值加上液滴排出装置10中的着落位置误差而得的值。由此，面积最小的开口部205Ra的着落区域205Re在X轴方向上位于开口部205Ra的中央部。比开口部205Ra面积大的开口部205Ga的着落区域205Ge在X轴方向上不位于开口部205Ga的中央部而位于开口部205Ra侧。比开口部205Ra面积大的开口部205Ba的着落区域205Be在X轴方向上不位于开口部205Ba的中央部而位于开口部205Ra侧。此外，与前述的滤色器基板100同样，各开口部的长边方向上的着落区域的位置也与短边方向相同，也可以以从与该开口部在长边方向上相邻的开口部的端部隔开规定的距离的方式设定。在长边方向上相邻的开口部形成有能够获得相同颜色的发光的有机EL元件，因此该开口部中的着落区域的长边方向上的位置无需相比短边方向的位置严密地进行设定。以上相当于本发明的液滴排出方法中的区域设定步骤。

而且，例如图14所示，进行相对于以使由多个喷嘴52构成的喷嘴列52c沿着副扫描方向(X轴方向)的方式配置的喷墨头50，以使开口部205Ra、205Ga、205Ba的长边方向沿着主扫描方向(Y轴方向)的方式配置元件基板201并排出液滴的主扫描(纵向描绘)(排出步骤)。这样一来，即便在主扫描中从对应于面积最小的开口部205Ra的喷嘴52使多个液滴着落于着落区域205Re的一方的端部，着落于着落区域205Re且着落直径增大的液滴也不向相邻的开口部205Ga、开口部205Ba泄漏。同样，即便液滴着落于开口部205Ga的着落区域205Ge的另一方的端部，在开口部205Ga着落直径增大的液滴也不向比开口部205Ga面积小的开口部205Ra泄漏。即便液滴着落于开口部205Ba的着落区域205Be的一方的端部，在开口部205Ba着落直径增大的液滴也不向比开口部205Ba面积小的开口部205Ra泄漏。另外，即便液滴着落于开口部205Ba的着落区域205Be的另一方的端部，在开口部205Ba着落直径增大的液滴也不向与开口部205Ba的面积相同或者较小的面积的开口部205Ga泄漏。

根据本实施方式的液滴排出方法和使计算机执行该液滴排出方法的程序、以及应用了该液滴排出方法的有机EL装置200的制造方法，包含功能层形成材料的液状体作为液滴向与子像素210R、210G、210B对应的开口部205Ra、205Ga、205Ba彼此的着落区域排出，且不向相邻的开口部泄漏。因此，若对涂覆后的液状体进行干燥·烧制，则能够在开口部205Ra、205Ga、205Ba彼此中获得所希望的膜厚的功能层。由于在开口部205Ra、205Ga、205Ba中，包含能够获得不同发光颜色的发光层形成材料的液状体彼此不混合，因此能够从各子像素210R、210G、210B获得所希望的颜色的发光。换句话说，能够高成品率地制造有机EL装置200。

此外，排出液滴的主扫描的方式并不局限于纵向描绘，在横向描绘中也能够应用本实施方式的液滴排出方法。另外，在上述第2实施方式的液滴排出方法中，副扫描方向(X轴方向)相当于本发明的第1方向，主扫描方向(Y轴方向)相当于本发明的第2方向。另外，元件基板201为本发明中的基体的一个例子。

本发明并不局限于上述的实施方式，能够在不违反从权利要求书以及说明书整体领会的发明的主旨或者思想的范围内适当地进行变更，伴随着这种变更的液滴排出方法和程序、应用该液滴排出方法的电光学装置的制造方法也被包含于本发明的技术范围内。除上述实施方式以外也可以考虑各种变形例。以下，列举变形例进行说明。

(变形例1)应用上述第1实施方式的液滴排出方法的滤色器110并不局限于条纹状地配置有三种颜色的着色层110R、110G、110B的结构。例如也可以具备除红(R)、绿(G)、蓝(B)以外的黄(Y)的着色层。

(变形例2)也可以将上述第2实施方式的液滴排出方法应用于上述第1实施方式的滤色器110的形成方法。换句话说，也可以使着色层110R、110G、110B中的至少一个着色层的面积与其他着色层的面积不同。通过使着色层的面积不同，能够对滤色器110中的光的透过率、白平衡、颜色再现性等光学特性进行调整。

(变形例3)上述第2实施方式的液滴排出方法并不局限于应用于能够在子像素210R、210G、210B中分别获得不同发光颜色的有机EL元件230的功能层的形成。例如，也可以将能够在子像素210R、210G、210B中分别获得白色的发光颜色的有机EL元件形成于元件基板201，并将该元件基板201、与具有使着色层110R、110G、110B中的至少一个着色层的面积与其他着色层的面积不同的滤色器110的滤色器基板100对置配置来构成有机EL装置200。