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基板涂层的制作方法
文档序号:15259883
发布日期:2018-08-24 21:24
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来源:国知局
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基板涂层的制作方法
技术特征:
技术总结
本发明提供一种基板涂层。在示例性实施方式中,基板涂层系统包括抗蚀剂打印装置,以将抗蚀剂流体打印到基板表面的所选区域上。该系统包括模拟涂布装置,以将涂层流体施加到整个基板表面上,其中抗蚀剂流体阻止涂层流体施加在基板表面的所选区域上。
技术研发人员:
杰森·斯韦;科林·伊根;吉耶尔莫·马丁内兹·阿里萨;尤拜·比;约恩·A·克拉布特里;斯蒂芬·W·鲍尔
受保护的技术使用者:
惠普赛天使公司
技术研发日:
2018.02.08
技术公布日:
2018.08.24
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