专利名称：曝光掩模板装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种液晶显示器件生产的技术领域，尤其涉及一种曝光掩模板装置。
背景技术：
在液晶显示器件生产过程中，有一个曝光工序，它是用一张由菲林制成的曝光掩模板覆在已涂满感光胶的ITO玻璃上，通过紫外光照射，使部分感光胶受光。对于曝光掩模板的固定，一般液晶显示器件生产厂家多是采用胶带1将曝光掩模板2粘贴在玻璃板3上的方式进行，如图1所示。该方法存在的问题是由于曝光掩模板自身重量或当其工作时间较长而变热时，曝光掩模板会变形下垂，如图2所示，造成曝光出来的图形变形，最终影响产品的质量。
发明内容
本实用新型是提供一种可避免曝光掩模板变形下垂，提高产品合格率的曝光掩模板装置。
本实用新型的技术方案是这样的一种曝光掩模板装置，包括胶带，掩模板，玻璃板，掩模板四周通过胶带与玻璃板连接，其特点是，玻璃板的边缘开有小孔，小孔内安放管子，管子的另一端与真空装置连接。玻璃板与管子之间密封连接。
本实用新型有益效果采用管子一端与玻璃板密封连接，另一端与抽真空装置相连，在生产过程中，始终保持抽真空状态，即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域，即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形，曝光掩模板也不会下垂，有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。
图1是现有技术的结构示意图；图2是现有技术的曝光图形的变形示意图；图3是本实用新型结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图与实施例对本实用新型作进一步的说明。
图3所示一种曝光掩模板装置，包括胶带1，掩模板2，玻璃板3，掩模板2四周通过胶带1与玻璃板3连接，其特点是，玻璃板3的边缘开有小孔，小孔内安放管子4，管子4的另一端与真空装置连接。玻璃板3与管子4之间密封连接。
在玻璃板3的边缘处打一个小孔，在小孔中装一根管子4，并将管子和玻璃板的连接处密封以免漏气。管子的另一端与抽真空装置相连。在生产过程中，始终保持抽真空状态。这样，由于玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域，即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形，掩模板也不会下垂，即可避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。
权利要求1.一种曝光掩模板装置，包括胶带(1)，掩模板(2)，玻璃板(3)，掩模板(2)四周通过胶带(1)与玻璃板(3)连接，其特征在于，所述玻璃板(3)的边缘开有小孔，小孔内安放管子(4)，所述管子(4)的另一端与真空装置连接。
2.根据权利要求1所述的曝光掩模板，其特征在于，所述的玻璃板(3)与管子(4)之间密封连接。
专利摘要本实用新型涉及一种曝光掩模板装置。包括胶带，掩模板，玻璃板，掩模板四周通过胶带与玻璃板连接，其特点是，玻璃板的边缘开有小孔，小孔内安放管子，管子的另一端与真空装置连接。玻璃板与管子之间密封连接。采用管子一端与玻璃板密封连接，另一端与抽真空装置相连，在生产过程中，始终保持抽真空状态，即玻璃板和曝光掩模板之间为一个真空区域，即使由于曝光掩模板粘贴不平或发热变形，曝光掩模板也不会下垂，有效避免曝光图形变形而造成对产品质量的影响。
文档编号G03F7/00GK2836056SQ20052004462
公开日2006年11月8日 申请日期2005年8月30日 优先权日2005年8月30日
发明者孙明 申请人:上海海晶电子有限公司