货盘搬运装置及基板检查装置的制作方法

专利名称：货盘搬运装置及基板检查装置的制作方法
技术领域：
本发明是关于一种使支持基板的货盘进行移动的货盘搬运装置，以及 设置有该货盘搬运装置的基板检查装置，基板检查装置可适用于在液晶显 示器或有机电致发光(EL)显示器等所用的液晶基板的检查中使用的液晶基 板检查装置。
背景技术：
液晶基板或薄膜晶体管阵列基板(TFT阵列基板)包括TFT阵列和信号 电极，薄膜晶体管是由来自扫描信号电极终端和图像信号电极终端的信号 进行驱动，其中，TFT阵列是在玻璃基板等的基板上呈矩阵状配置的薄膜晶 体管(TFT)所形成，信号电极是对该薄膜晶体管供给驱动信号。
作为对在基板上所形成的TFT阵列或液晶基板进行检查的装置，已知 有TFT阵列检查装置或液晶基板检查装置等的基板检查装置。基板检查装 置包括与扫描信号电极终端、图像信号电极终端进行电气连接的检查用探 测器(probe)和检查电路。检查电路对检查用探测器施加规定的电压，并侦 测由于施加所流过的电流，且调查栅极-源极间的短^各、断点、断线等。
在液晶基板上所形成的TFT阵列有各种各样的尺寸或规格，且彼此布局 (layout)不同，在液晶基板上所形成的驱动用电极也是每一布局都不同。因 此，在检查液晶基板的基板检查装置中，也M据TFT阵列的布局而预先准 备对检查用探测器电极的电极位置进行设定的构件，并依据所检查的液晶 基板而进行更换、检查。
在对液晶基板进行纟企查时，是从液晶基板的上方或下方重合探测器 框，并使探测器框上所设置的探测器销(pin)与液晶基板的电极相接触，且 利用该探测器销和电极的接触而进行液晶基板和探测器之间的电气连接。
不限于上述的液晶基板，半导体基板的检查也可在检查室内进行。为了 在该检查室内对基板进行检查，须将基板载置在货盘上，并将该货盘从装 载锁定室搬入到检查室内，且将检查完成的基板与货盘一起搬出。
<在检查室和装载锁定室之间所进行的货盘的搬运，可利用在检查室及 装载锁定室所分别设置的搬运辊而进行。藉由在该各个室内设置搬运辊，除 了使货盘在各室内移动以外，还可在检查室和装载锁定室之间交接货盘。
在基板搬运中，为了提高检查处理的效率，可采用这样的构成，亦即，藉 由在装载锁定室中上下配置多个货盘，并使该货盘上下动作，而与搬运辊之间进行货盘的置换。
当与搬运辊之间进行货盘的置换时，如使货盘沿着上下方向移动，则在 从静止状态变化到驱动状态之际，或从驱动状态变化到静止状态之际，会在 货盘上施加加速度。另一方面，当在货盘上载置有基板时，因为基板只不 过是单纯地置放在货盘上，所以根据货盘的移动状态，会由于基板的惯性 而在货盘的动作和基板的动作之间产生偏差，对基板施加冲击。
在这种构成中，如为了加快基板的搬运处理以提高基板的处理节奏 (tact)，而提高货盘的上下动作的速度，则货盘的速度变化更大，所以对基 氺反施加的沖击增大，有可能因该冲击而在基^1上产生损伤。

发明内容
因此，本发明的目的是解决前述习知的问题，提供一种货盘搬运装置 及具有货盘搬运装置的基板检查装置，在利用货盘来搬运基板时，减少因 货盘驱动所产生的冲击而使基板受到损伤的问题。
本发明的货盘搬运装置除了使支持基板的货盘进行移动的机构以 夕卜，还包括使货盘沿着上下方向进行移动的升P争机构。该升降机构具有冲击 緩和机构，用于緩和在升降动作中对货盘上所支持的基板所施加的沖击。
如前面所说明的，当利用升降机构使货盘沿着上下方向移动时，有时 会因基板的惯性而在货盘的动作和基板的动作之间产生偏差，并由此而对 基板施加冲击。
例如，在利用升降机构使载置基板的货盘上升的情况下，当停止上升 动作时使货盘的速度减速，但此时货盘上所载置的基板因惯性而要维持速 度。因此，基板是沿着要从货盘离开的方向而动作，然后因重力而再次载 置在货盘上。此时，基板会受到来自货盘的沖击。
而且，在利用升降机构而使载置基板的货盘下降的情况下，从停止位 置使货盘的速度朝着下方加速，但此时在货盘上所载置的基板因惯性而要 停止。因此，基板沿着从货盘暂时离开的方向而动作，然后因重力而再次 载置于货盘上。此时，基板会受到来自货盘的冲击。
如上述所说明的，当基板受到来自货盘的冲击而动作时，本发明的冲 击緩和机构藉由控制升降机构的升降动作，而缓和对货盘上所支持的基板 所施加的冲击。
本发明的冲击缓和机构为切换升降机构的驱动速度的机构，在升降机 构的动作开始后或动作结束前，将货盘的驱动速度切换为低速，在除了低 速期间以外的驱动期间，将货盘的驱动速度切换为高速。因此，将货盘的 驱动速度切换为低速的时期，为驱动动作的起动时或停止时发生速度变化 的时期，也是在货盘和基板之间发生速度偏差的时期。在该时期，藉由使货盘的驱动速度为低速，而减小速度变化的程度，且减少货盘和基板的位置 偏离，以减轻对基板施加的冲击。
例如，在升降机构的上升动作时，以高速的驱动速度开始上升动作，并 在上升动作结束前将驱动速度切换为低速。利用该驱动速度的切换控制，而 在升降机构的上升动作中，于停止上升动作之前使货盘的驱动速度为低 速，并从低速状态进行停止动作，从而可减轻在货盘停止时对基板所施加的 沖击。另外，在上升动作的动作开始时，基板被施加以从货盘朝着上方向 的力，所以在基板和货盘之间速度偏差少，使因货盘和基板的位置偏离而 对基板施加的沖击减少。
另一方面，在升降才几构的下降动作时，是以低速的驱动速度开始下降动 作，然后，在从下降动作开始经过规定期间后，将驱动速度切换为高速。利 用该驱动速度的切换控制，而在升降机构的下降动作中，使下降动作的开 始时的货盘驱动速度为低速，从而可减轻在货盘下降时对基板所施加的冲 击。
另外，在下降动作的停止时，基板是被加以从货盘朝着上方向的力，所 以在基板和货盘之间速度偏差少，使因货盘和基板的位置偏离而对基板所 施力口的冲击减少。
作为本发明的升降机构的 一构成，可利用藉由气压来进行驱动的气缸
机构。该沖击緩和机构具有高速压空管路和低速压空管路这2系统的压空 管路，以对气缸机构供给不同流量的气体。
在该2系统的压空管路内，低速压空管路向气缸机构所供给的气体流 量，较高速压空管路向气缸机构所供给的气体流量设定成较小。
在利用低速压空管路来对气缸机构供给气体的情况下，因为供给到气 缸机构的每单位时间的气体供给量少，所以气缸机构的驱动速度成为低 速，由该气缸机构所驱动的货盘的移动速度成为低速。另一方面，在利用高 速压空管路来对气缸机构供给气体的情况下，因为供给到气缸机构的每单 位时间的气体供给量与低速压空管路相比之下较多，所以气缸机构的驱动 速度成为高速，由该气釭机构所驱动的货盘的移动速度成为高速。
升降机构并不限定于上述的气缸机构，也可为装置附属的利用电动机 驱动的机构。电动机驱动机构可藉由例如调整驱动电流而控制货盘的移动 速度。
而且，藉由将货盘的驱动速度以高速和低速来进行切换，可缓和对基 板的冲击，且藉由向高速驱动进行切换，可缩短货盘的搬运时间并缩短基 板的搬运时间。
本发明的升降机构可应用于将支持基板的多台货盘进行移动的货盘搬 运装置。在该形态中，设置有前述的升降机构和使多台货盘中的一台货盘沿着水平方向移动的搬运机构，而且，升降机构藉由使多台货盘沿着上下 方向而个别地自如移动，且与搬运机构之间自如地进行货盘的转移替换，并 在与搬运机构之间沿着上下方向进行移动，从而进行货盘的转移替换。
另外，本发明的货盘搬运装置可应用于基板检查装置。本发明的基板 检查装置的形态是具有检查室和负载锁定室的基板检查装置，其中，检查室 进行基板检查，负载锁定室是与检查室之间进行基板的搬入搬出，而且，负
载锁定室具有本发明的货盘搬运装置。搬运机构包括第1搬运辊和第2搬 运辊，其中，第1搬运辊是设置在进行基板检查的检查室内，第2搬运辊 是设置在与检查室之间进行基板的搬出搬入的负载锁定室内，而且，在负 载锁定室内，升降机构所保持的多台货盘共用第2搬运辊，并在与第l搬 运辊之间进行搬出搬入。 发明的效果
如利用本发明，则在货盘搬运装置及具有货盘搬运装置的基板;险查装 置中，当利用货盘来搬运基板时，可减少因货盘驱动所产生的冲击而使基 板受到损伤的问题。


图1为用于说明本发明的货盘搬运装置及具有货盘搬运装置的基板检 查装置的概略图。
图2为用于说明本发明的升降机构的构成例的图示。
图3为用于说明本发明的升降机构的动作停止时的低速切换动作的流 程图。； .....、 a 、、、— 、
速切换动作的动作图。
图5(a) ~ (d)为用于说明本发明的升降机构的下降时的动作始动的低 速切换动作的动作图。
图6(a) ~ (c)为说明只是高速管路的驱动的图示。
图7(a) ~ (e)为用于说明本发明的搬运机构及升降机构的动作例的立 体图。
图8(a) ~ (c)为用于说明本发明的搬运机构及升降机构的动作例的剖 面图。
面图。； 、 、、- a 、— 、
图10为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的流程图。 图11为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的流程图。 图12(a) ~ (d)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
图13(a) ~ (d)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
图14(a) ~ (d)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
图15(a) ~ (d)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
图16(a) ~ (d)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
图17(a) ~ (c)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
图18(a) ~ (c)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
图19(a) ~ (c)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
图20(a) ~ (c)为用于说明本发明的货盘搬运装置的动作例的动作说明图。
符号的说明
1:货盘搬运装置2:负载锁定室
3:检查室4:闸门阀
10.搬运装置11搬运辊
20升降机构21支架(mount)
22货盘支持部23气缸
24冲击缓和装置24a:高速用压空控制电路
24b:低速用压空控制电路25a'25b:电；兹阀
26a、 26b:流量调整器31搬运辊
40控制部41搬运辊控制部
42升降机构控制部43检查装置控制部
44阀门控制部50货盘
50u:上层货盘50d:下层货盘
60基板100:基板4企查装置
具体实施例方式
以下对本发明的实施形态，参照图示详细地进行i兌明。 图1为用于说明本发明的货盘搬运装置及具有货盘搬运装置的基板检 查装置的概略图。另外，这里所示为基板检查装置所具有的构成的一部分。基板检查装置100包括:检查室3，其检查所导入的基板(未图示)；负 载锁定室2，其对该检查室3将基板搬出搬入；以及闸门阀4，其将检查室 3和负载锁定室2之间密闭自如地进行打开和关闭。
检查室(MC) 3为对液晶基板等的半导体基板进行检查的小室，基板是 在载置于货盘上的状态下，通过闸门阀4而搬运到检查室3内的搬运辊31 上。所搬入的基板在检查室3内进行检查，检查结束后，在载置于货盘上 的状态下，利用搬运辊31以通过闸门阀4而拍i出。
以下，利用检查室3来对液晶基板进行的基板4全查例进行说明。另 夕卜，以下所说明的构成未在图1中表示。
液晶基板检查装置包括带电粒子源、侦测器和载台(stage)等各部 分，并根据侦测器所得到的扫描图像而进行基板检查，其中，带电粒子源对 作为检查对象的液晶基板照射带电粒子束，侦测器侦测由于该带电粒子的 照射而从液晶基板所射出的二次电子，载台用于支持检查对象的液晶基板 且进行二维扫描。
液晶基板是在例如玻璃基板上形成TFT阵列。在该液晶基板上所形成 的TFT阵列的布局、电极、配线图案等是依据液晶面板的尺寸或规格而进 行各种各样的设定。在液晶基板上的TFT阵列中，呈矩阵状而形成有薄膜 晶体管，并形成有驱动各薄膜晶体管的信号电极终端(例如扫描信号电极 终端、图像信号电极终端)。而且，在液晶基板的阵列的外侧，形成有用于 与液晶基板的外部进行电气连接的电极。
而且，液晶基板检查装置包括对液晶基板供给检查信号的探测器(未图 示)。探测器为了与液晶基板的电极电气连接并进行检查而设置有探测器框 (未图示)，并具有与液晶基板的电极进行电气连接的探测器销(未图示)。
为了进行液晶基板的检查，而在货盘所载置的液晶基板上配置探测器 框。在液晶基板和探测器框之间，藉由使电极和探测器销接触而进行电气 连接，并通过探测器销和电极的连接而对TFT阵列供给;险查信号。而且,探 测器框和货盘或载台之间的连接，是利用探测器框及货盘上所设置的连接 器(未图示)而进行。
另外，货盘藉由载置于载台(未图示)上而可自如地移动。货盘和载 台之间的电气连接，可利用货盘侧所设置的货盘侧连接器和载台侧所设置 的载台侧连接器而进行。
在检查室3内所设置的检查装置及搬运辊31，是利用控制部40所控制 的才企查装置控制部43而进行控制。
负载锁定室2是一种进行基板从外部的导入、在货盘上所载置的基板 向检查室3的搬入、检查完成的基板在载置于货盘上的状态下从检查室3 的搬出、基板向外部的导出等动作的小室，为了效率良好地与检查室3之间进行基板的搬出搬入，采用使多个货盘可沿着上下方向而配置的构成。
在负载锁定室2内，设置有可将多个货盘沿着^f黄方向及上下方向而移
动的货盘搬运装置1。该货盘搬运装置1包括搬运机构10，其具有搬运 辊ll,搬运辊ll是使货盘沿着横方向进行移动，并与检查室3之间进行货 盘的搬出搬入；以及升降机构20,其将货盘沿着上下方向而移动，并与搬 运辊11之间进行货盘的转移替换。
搬运机构10的搬运辊11是一种在负载锁定室2中使货盘沿着横方向 而移动的机构，且进行在负载锁定室2和外部之间的基板的导出导入动 作、与检查室3之间的基板的搬出搬入动作。该搬运机构IO是利用控制部 4所控制的搬运辊控制部41来进行控制。
升降机构20沿着上下方向而设置有支持各货盘的多个货盘支持部 22A、 22B,并利用空气压力来操作的气缸机构(图1中未图示)而进行驱 动。该升降机构20的气缸机构是利用冲击緩和机构24而进行升降速度的 切换。利用该冲击缓和机构24而进行的升降速度的切换，是藉由切换供给 到气缸的气体流量而进行。该升降机构20的控制可藉由控制部4所控制的 升降机构控制部42来对冲击緩和机构24实施控制而进行。
而且，进行负载锁定室2和检查室3间的开关的闸门阀4，是利用控制 部4所控制的阀门控制部44而进行控制。
利用图2来对升P争机构20的构成例进行说明。另外，在图2中，表示 有升降机构20所具有的多个货盘支持部内的一个货盘支持部22。
升降机构20包括多个货盘支持部22,其对货盘50进行支持；以及 支架(mount)21,其为了将该货盘支持部22上下驱动而进行保持。支架21 利用气缸23而沿着上下方向自如地移动。
该气缸23通过冲击緩和机构24而从气体供给源(未图示)接收气体 的供给并进行驱动。冲击緩和机构24包括高速用压空控制电路24a，其构 成高速管路；以及低速用压空控制电路24b,其构成低速管路；而且，藉由 进行切换高速管路和低速管路的控制，而控制支架21及货盘支持部22的 升降速度。
高速用压空控制电路24a是由电磁阀25a和流量调整器26a的串联连 接而构成，另一方面，低速用压空控制电路24b是由电磁阀25b和流量调 整器26b的串联连接而构成。
藉由与电磁阀25a及电磁阀25b进行排他性的切换，而使高速管路与 低速管路的某个与气缸23相连接。流量调整器26a及流量调整器26b对供 给到气缸23的气体的流量进行调整。高速用压空控制电路24a的流量调整 器26a可进行流量调整，以较低速用压空控制电路24b的流量调整器26b 供给较多的气体。气缸23可以与流量调整器26a或流量调整器26b所设定的流量相称的速度来进行驱动。
另外，图2所示的升降机构20的构成是表示，气缸23是利用高速管 路或低速管路所供给的压空而主要成朝着上方的驱动。
另一方面，气缸23朝着下方向的驱动，可藉由减轻气缸23内的压力 而进行，且藉由调整气缸23内的吸引气体的流量，可控制下降速度。吸引 气体的流量的调整是与例如冲击緩和机构24同样地，可藉由通过电磁阀和 流量调整器的串联连接以与吸引泵相连接而进行。在这种情况下，藉由设 置利用流量调整器的调整而使流量设定成不同的高速管路和低速管路，且 排他地选择该高速管路和低速管路，也可切换气缸23向下方的驱动速度。
接着，利用图3-图6，对冲击緩和才几构的动作进行说明。
图3为使气缸的动作停止之际切换为低速的动作时的流程图，图4为 使气缸的动作停止之际切换为低速的动作例，其是可应用于使货盘上升之 际的冲击緩和的例子。以下，以使货盘上升之时的动作作为例子来进行说 明。
在升降开始时(Sl),支架21从处于下方位置的状态利用高速管路而 驱动气缸21(图4 (a)中的A)，使支架n高速上升(图4 (c)中的B)。利 用高速管路的驱动是在保持着关闭低速用压空控制电路24b的电磁阀25b 的状态下，打开高速用压空控制电路24a的电磁阀25a，来对气缸23供给 大流量的气体(例如空气)而进行(S2)。
在该支架21的上升开始时，在货盘上所施加的加速度增大(图4(d) 中的C)，但因为该加速度是在将货盘顶住货盘保持部的方向上进行动作，所 以货盘和货盘保持部的位置偏离不会发生。
在使气缸21停止之前(S3),从高速管路切换到低速管路并驱动气缸 21 (图4 (b)的D)，且将支架21切换为低速(图4 (c)中的E)。由低速 管路所形成的驱动是藉由关闭高速用压空控制电路24a的电磁阀25a且打 开低速用压空控制电路24b的电;兹阀25b，使供给到气缸23的气体(例如 空气)的流量下降而进行(S4)。
在使支架21停止的情况下，在货盘保持部上所载置的货盘因惯性而要 维持其速度，与此相对，货盘保持部速度低下，所以是朝着货盘和货盘保 持部的位置偏离的方向而动作，但藉由向该低速管路的切换，使货盘要从 货盘保持部浮起的作用力在与重力相比较下变小，从而不会发生货盘和货 盘保持部的位置偏离。
当达到升降的结束位置时(S5 ),关闭低速管路的电^f兹阀25b，停止供给 到气缸23的气体(S6)。
图5为在气缸的动作开始时切换为低速的动作例，其是可适用于在使
货盘下降之际的冲击緩和的例子。以下，以使货盘下降之际的动作来作为 ii例子进4于i兌明。
在使货盘下降之际，在支架21处于上方位置的状态下，利用低速管路来
驱动气缸21(图5 (a)中的G),使支架21低速下降(图5 (c)中的H)。利 用低速管路的驱动是藉由保持使高速用压空控制电路24a的电磁阀25b关 闭的状态，打开低速用压空控制电路24b的电磁阀25b,且限制供给到气缸 23的气体的流量而进行。
在该支架21的下降开始时，朝着货盘和货盘保持部的位置偏离的方向 而动作，但由于在货盘上所施加的加速度小(图5 (d)中的I),使货盘要 从货盘保持部浮起的作用力在与重力相比较下较小，所以不会发生货盘和 货盘保持部的位置偏离。
在气缸21的下降开始后，从低速管路切换到高速管路并驱动气缸21 (图 5 (a)的J)，将支架21切换为高速(图5 (c)中的K)。利用高速管路的 驱动是藉由关闭低速用压空控制电路24b的电磁阀25b且打开高速用压空 控制电路24a的电磁阀25a，使供给到气缸23的气体(例如空气)的流量 i曾力口而进4亍。
在使支架21停止的情况下(图5 (a)中的M)，在货盘保持部上所载 置的货盘因惯性而要维持其速度，与此相对，货盘保持部速度低下(图5 (c)中的N)，但因为该加速度是朝着将货盘顶住货盘保持部的方向而动作 (图5 (d)中的0)，所以不会发生货盘和货盘保持部的位置偏离。
图6所示为不利用冲击緩和机构来进行高速管路和低速管路的切换动 作，而只利用高速管路来进行驱动的情况。
在支架21位于下方位置的状态下，利用高速管路来驱动气缸21 (图6 (a)中的P)，使支架21高速驱动(图6 (b)中的Q)。在该支架21的驱动 开始时，在货盘上所施加的加速度增大(图6 (c)中的R)。而且，当使气 缸n停止时(图6 (a)中的S,图6 (b)中的T),在货盘上所施加的加 速度也增大(图6 (c)中的U)。
如上所述，在只利用高速管路进行驱动的情况下，当驱动开始时及驱 动停止时在货盘上产生大的加速度。如该加速度方向为与重力方向相反的 方向，则在货盘上所载置的基板因惯性而沿着从货盘离开的方向动作，有时 会在货盘和货盘保持部之间发生位置偏离。
与此相对，如图4、图5所示，藉由切换为低速管路而减轻在货盘上所 施加的加速度，即使货盘上所载置的基板因惯性而沿着从货盘离开的方向 动作，也不会在货盘和货盘保持部之间发生位置偏离。
接着，利用图7 ~图9，对在搬运机构10及升降机构20的动作例中，藉 由升降机构20使货盘上升后再载置于搬运辊上的动作进行说明。另外，图7 为立体图，图8、图9为剖面图。首先，货盘支持部22位于搬运辊11的下方位置，货盘50是由该货盘 支持部22来支持。此时，搬运辊11的两侧的辊间的间隔是处于载置货盘 50的距离(图7 (a)、图8 (a))之内。因为搬运辊11的两侧的辊间的间 隔处于载置货盘50的距离之内，所以当在该状态下利用升降机构20而使 货盘支持部22所支持的货盘50上升时，货盘50与lfe运辊11发生冲突，因 此不能将货盘50载置在搬运辊11上。
因此，使搬运辊ll的各辊向外侧移动而扩大辊间的间隔，以使货盘支 持部22及货盘50可通过辊之间(图7 (b)、图8 (b))。在扩大辊间的间 隔之后，利用升降机构20使货盘支持部22上升而通过辊之间，并使货盘 50移动到搬运辊11的上方位置(图7 (c)、图8 (c))。在使货盘支持部 22及货盘50移动到搬运辊11的上方位置后，使搬运辊11向内侧移动而缩 小辊间的间隔，成为货盘50可载置于搬运辊11上的间隔(图7 (d)、图9 (a ))。然后，使货盘支持部22下降，将货盘50载置于搬运辊11上(图7 (e)、图9(b))。在利用搬运辊11来支持货盘50之后，藉由使货盘支持部 22再下降，则可利用搬运辊11进行货盘50的搬运(图9 (c))。
接着，利用图10、图ll的流程图、图12~图20的动作说明图，对本 发明的货盘搬运装置的动作例进行说明。
这里，在负载锁定室2内，搬运装置lO具有一个搬运辊ll,并在上下 位置收纳2个货盘，且与搬运辊ll之间进行货盘的替换。而且，作为初期 状态，是在负载锁定室2中所设置的2个货盘支持部内，于上层货盘支持 部上支持上层货盘50u，并不使下层货盘支持部支持货盘，且使检查室3内 也不收纳货盘。另外，上层货盘50u是位于搬运辊11的上方位置。
首先，驱动该升降机构20并使上层货盘50u下降，且载置上层货盘50u 上所支持的基板60 (S11)(图12 ( a ))。打开闸门阀4，驱动寺般运辊11,并将 搬运辊11上所载置的上层货盘50u从负载锁定室2搬入到检查室3内。另 夕卜，此时下层货盘50d是保持在搬运辊11的下方位置(S12)(图12 (b))。
在将上层货盘50u搬入到检查室3内后，关闭闸门阀4，并在4企查室3 内进行上层货盘50u上所载置的基板60的基板检查(S13 )(图12 ( c )、图 17 (a))。
在检查室3内进行基板检查期间，于负载锁定室2侧，进行将下层货盘 50d搬入到;险查室3内的准备。
在负载锁定室2中，将搬运辊11的辊向外侧移动，扩大辊间的距离，以 使下层货盘50d可通过搬运辊11的辊间而向上方移动(S14)(图17(b))。使 下层货盘50d上升，并通过辊间距离已扩展的搬运辊11 (S15)(图12 (d)、图 17 (c))。
从外部导入检查对象的基板，并载置于上升到搬运辊11的上方的下层货盘50d上(S16)(图13 (a)、图18 (a)、 (b))。
在检查室3内的基板检查结束之后，打开闸门阀4，并通过该闸门阀4 而将上层货盘50uAM企查室3搬出到负载锁定室2中(S17)(图13 (b)、图 18 (c)),且在将搬出的上层货盘50u移动到负载锁定室2内的搬运辊11 上后，关闭闸门阀4 (S18)(图13 (c))。
将上层货盘50u转移替换到搬运辊11上。在搬运辊11上的转移 替换可藉由在利用货盘支持部来对上层货盘50u进行支持后(图19 (a)、 (b))，使辊向外侧移动而进行(图19 (c))。
在通过打开的辊间而使上层货盘50u下降之后(S19)(图20(a))，使 搬运辊ll的辊向内侧移动(S20)(图20 (b))，并4吏下层货盘50d下降而 载置在搬运辊ll上(S21)(图13 U)、图20 (b))。
打开闸门阀4,将下层货盘50u通过该闸门阀4而纟般入到;险查室3内 (S22)(图14 (a)、图20 (c))。在将下层货盘50d搬入到检查室3内之 后，在检查室3内进行基板检查(S23)(图14 (b))。
在检查室3内对载置于下层货盘50d上的基板进行检查期间，于负载 锁定室2内使上层货盘50u上升(图14 (c))，并导出上层货盘50u上所载 置的检查完成的基板(S25)(图14 (d))。导入检查对象的基板，并载置在 上层货盘50u上(S26)(图15 (a))。
将负载锁定室2侧的搬运辊11的辊向外侧移动，扩展辊间的距离，以 使上层货盘50u可通过搬运辊11的辊之间而向下方移动(S27),且使上层 货盘50u下降，以通过辊间的距离已扩展了的#般运辊11 (S28)(图15 (b))。
打开闸门阀4，将检查室3内的下层货盘50d从检查室3搬出到负载锁 定室2中(S29)(图15 (c))，关闭闸门阀4 (S30)(图15 (d))。利用负 载锁定室2侧的升降机构20使下层货盘50d上升(图16 ( a )),并将检查 完成的基板导出到外部(图16 (b)) (S31)。导入检查对象的基板，并载置 到下层货盘50d上(S32)(图16 (c)、 (d))。
另外，在上述的构成例中是以气缸机构的例子作为升降机构，但并不 限定于该气缸机构，也可为利用搬运装置所附属的电动机驱动的机构，可藉 由调整驱动电流，而对货盘的移动速度在高速和低速之间进行切换控制。
工业上的可利用性
本发明的货盘搬运装置并不限定于液晶基板，也可应用于半导体基板 的搬运。
本发明的基板检查装置并不限定于液晶基板的检查，也可应用于半导 体基板的检查。
1权利要求
1、一种货盘搬运装置，为一种使支持基板的货盘进行移动的货盘搬运装置，其特征在于，包括使前述货盘沿着上下方向而移动的升降机构，前述升降机构具有冲击缓和机构，用于缓和在该升降机构的动作中对货盘上所支持的基板所施加的冲击，且该冲击缓和机构对升降机构的动作进行控制。
2、 如权利要求1所述的货盘搬运装置，其特征在于，前述沖击緩和机构为切换前述升降机构的驱动速度的机构， 在前述升降^L构的动作开始时和动作结束前此二个时间的至少一个时 间，将驱动速度切换为低速，将除了前述低速期间以外的驱动期间的驱动速度切换为高速。
3、 如权利要求2所述的货盘搬运装置，其特征在于， 在前述升降机构的上升动作时，以高速的驱动速度开始上升动作，并将上升动作结束前的规定期间中的驱动速度切换为低速，在前述升降机构的下降动作中，以低速的驱动速度开始下降动作，并在 从下降开始后经过规定期间后，将驱动速度切换为高速。
4、 如权利要求2或3所述的货盘搬运装置，其特征在于， 前述升降机构是利用气压来驱动的气缸机构，前述冲击緩和机构具有高速压空管路和低速压空管路这2系统的压空 管路，以对前述气缸机构供给不同流量的气体，在前述规定期间，利用低速压空管路，使供给到前述气缸机构的每单 位时间的气体供给量减少，以低速来驱动气缸机构，在除了前述规定期间以外的驱动期间，利用高速压空管路，使供给到 前述气缸机构的每单位时间的气体供给量增加，以高速来驱动气缸机构。
5、 一种货盘搬运装置，其是将支持基板的多台货盘进行移动的货盘搬 运装置，其特征在于，设置有使前述多台货盘中的一台货盘沿着水平方向而移动的搬运机构， 如前述权利要求1至4项中任1项所述的升降机构， 而且，前述升降机构藉由使前述多台货盘沿着上下方向个别地自如移 动，且与前述搬运机构之间自如地进行货盘的转移替换，并在与前述搬运机 构之间沿着上下方向而移动，从而进行前述货盘的转移替换。
6、 一种基板检查装置，包括 检查室，进行基板检查，以及负载锁定室，与前述检查室之间进行基板的搬入搬出，而且，前述负载锁定室具有权利要求1至5中任1项所述的货盘搬运装置，该搬运才几构包括第1搬运辊，设置在进行基板检查的检查室内，以及 第2搬运辊，设置在与该检查室之间进行基板的搬出搬入的负载锁定 室内，而且，在负载锁定室内，前述升降机构所保持的多台货盘共用前述第2 搬运辊，并在与第1搬运辊之间进行搬出搬入。
全文摘要
本发明提供一种货盘搬运装置及基板检查装置。本发明的货盘搬运装置除了使支持基板的货盘进行移动的机构以外，还包括使货盘沿着上下方向而移动的升降机构。升降机构具有冲击缓和机构，用于缓和在升降动作中对货盘上所支持的基板施加的冲击。在基板受到来自货盘的冲击的动作时，本发明的冲击缓和机构藉由控制升降机构的升降动作，而缓和在货盘所支持的基板上所施加的冲击。冲击缓和机构可切换升降机构的驱动速度，并在升降机构的动作开始时和动作结束前此二个时间的至少一个时间，将驱动速度切换为低速，且将除了低速期间以外的驱动期间的驱动速度切换为高速。
文档编号G02F1/13GK101528571SQ200680056239
公开日2009年9月9日 申请日期2006年12月5日 优先权日2006年12月5日
发明者田中岳 申请人:株式会社岛津制作所