专利名称：一种工件台漏水保护装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体制造设备技术领域，特别涉及一种工件台漏水保护装置。
背景技术：
在大规模集成电路生产设备特别是光刻机中，各种器件集成度比较高，其中包括水、电等管线布置，尤其是在光刻机微动台中。请参看图1，图I为现有技术的光刻机微动台的结构示意图。如图I所示，微动台底板10上分布有电 机安装座11、冷却水管12、冷却水接头13、电气接头14、电气线缆15。由于光刻机效率的提高，微动台运动加速度、速度增大，容易造成水管接头松动而发生漏水现象，另外，水管接头及密封设施的老化也会导致漏水现象。在微动台中，水管接头和电气接头集成度非常高，漏水势必会导致电气设备不能正常工作，导致光刻机瘫痪。目前解决防止微动台漏水的常用做法之一是在管道中增加压力传感器，但这种方法只能检测大流量漏水，无法检测少量渗水的现象，而少量渗水也会给光刻机带来同样的危害；常用做法之二是在接头附近安装湿度传感器，这种方法只能检测局部范围的渗水，而光刻机微动台中分布有几十个水管接头，在每个水管接头周围都布置湿度传感器显然是很难做到的，并且给信号处理及控制带来大量的工作，非常不合理。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种工件台漏水保护装置，以解决现有技术的工件台无法在灵敏检测出微动台漏水情况的同时有效地防止漏水对微动台造成损害的问题。为解决上述技术问题，本发明提供一种工件台漏水保护装置，所述工件台包括底板、安装于所述底板上的冷却水管、冷却水接头及电气部件，所述漏水保护装置包括漏水保护槽，所述漏水保护槽设置于所述底板中；所述漏水保护槽分布于所述底板上所述冷却水管、冷却水接头及需进行漏水保护的电气部件的一侧；所述漏水保护槽的底面及侧面上均贴有隔水材料。可选的，所述底板上分布的漏水保护槽为多条且相互贯通，所述相互贯通的各条漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，所有相互贯通的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入所有相互贯通的漏水保护槽中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。可选的，所述底板中还设置有不能同所述相互贯通的漏水保护槽相贯通的独立的漏水保护槽，每条所述独立的漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，每条所述独立的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入所述独立的漏水保护槽中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。可选的，所述底板上分布的漏水保护槽为多条且相互独立，所述每条独立的漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，所述每条独立的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入其中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。
可选的，所述漏水保护槽内所述隔水材料之上的空隙内均填充有吸水材料。可选的，所述吸水材料的表面同所述底板齐平。可选的，所述隔水材料为聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。可选的，所述吸水材料为高吸水性树脂或高吸水性塑料或海绵。本发明提供的工件台漏水保护装置通过在微动台底板上设置漏水保护槽将底部上所有可能漏水或可能被漏水损坏的部件围圈保护起来，通过漏水保护槽将微动台底板上出现的漏水收集，使漏水不会影响微动台底板上电气部件的运行。少量漏水被漏水保护槽内的吸水材料吸附，不会影响其他电气部件，大量漏水则可很快汇集到漏水保护槽的最低点位置，通过安装于最低点位置的检测传感器发出漏水信号。本发明的工件台漏水保护装置可以根据需要设计微动台底板中漏水保护槽的分布，实现对微动台底板全范围内保护，不影响微动底板的正常功能及性能，可保证各部件正常安装，并能保证其精度，同时满足刚度及强度要求。漏水被集中于漏水保护槽中的一处位置进行检测，结构简单，使用的传感器少，便于检测和控制，节约成本。
图I为现有技术的光刻机微动台的结构示意图；图2为本发明的工件台漏水保护装置的结构示意图；图3为本发明的工件台漏水保护装置上的漏水保护槽的剖面结构示意图；图4为本发明的工件台漏水保护装置上的漏水保护槽的分布结构示意图。
具体实施例方式为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面对本发明的具体实施方式
做详细的说明。本发明所述的工件台漏水保护装置可利用多种替换方式实现，下面是通过较佳的实施例来加以说明，当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一般的替换无疑涵盖在本发明的保护范围内。请参看图2，图2为本发明的工件台漏水保护装置的结构示意图，如图2所示，本发明的工件台漏水保护装置中，所述工件台包括底板10、所述底板10上安装有电机安装座
11、冷却水管12、冷却水接头13、电气接头14及电气线缆15。所述漏水保护装置包括漏水保护槽16，所述漏水保护槽16设置于所述底板10中。请参看图3，图3为本发明的工件台漏水保护装置上的漏水保护槽的剖面结构示意图。如图3所示，本发明的工件台漏水保护装置上的漏水保护槽16设置于所述微动台底板10中，所述漏水保护槽16的底面形状为矩形、弧形或V型等，所述漏水保护槽16的V型底面及侧面上均贴有隔水材料162，所述漏水保护槽16内隔水材料162之上的空隙内均填充吸水材料161，优选的，填充的吸水材料161的表面同所述微动台底板10齐平。所述隔水材料162可以为聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。所述吸水材料161为高吸水性树脂或高吸水性塑料或海绵。请参看图4，图4为本发明的工件台漏水保护装置上的漏水保护槽的分布结构示意图。如图4所示，本发明的工件台漏水保护装置上的漏水保护槽16分布于所述微动台底板10上安装有所述冷却水管12及冷却水接头13及需进行漏水保护的电气部件的一侧。所述微动台底板10上分布的漏水保护槽16为多条，且优选其相互贯通，所述相互贯通的各条漏水保护槽16V型底面的最底部均具有一定的倾斜度，所有相互贯通的漏水保护槽16V型底面的最底部中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入所有相互贯通的漏水保护槽16中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器163。对于无法实现相互贯通的各条独立的漏水保护槽16，则每条独立的漏水保护槽16V型底面的最底部均具有一定的倾斜度，每条独立的漏水保护槽16V型底面的最底部中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入独立的漏水保护槽16中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器163。为了尽可能的精简检测传感器163的安装数量，以便于对检测传感器的控制，同时也可精简装置结构并且节约成本。本发明的工件台漏水保护装置底板上一旦出现漏水现象则漏水即会渗透到漏水 保护槽16中。当有少量漏水时，水很快会被漏水保护槽16内填充的吸水材料161吸收，由于漏水保护槽16的底面及侧面均贴附有隔水材料162，漏水保护槽16内渗入的漏水不会渗透到微动台底板10的其他区域内，可以有效保护微动台底板10上的电气设备；当有大量漏水时，漏水流入漏水保护槽16并沿着漏水保护槽16底部的倾斜角流动最终汇集到漏水保护槽16的最低点位置，经由安装在最低点位置处的检测传感器163检测出漏水并发出漏水信号。显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
权利要求
1.一种工件台漏水保护装置，所述工件台包括底板、安装于所述底板上的冷却水管、冷却水接头及电气部件，其特征在于，所述漏水保护装置包括漏水保护槽，所述漏水保护槽设置于所述底板中；所述漏水保护槽分布于所述底板上所述冷却水管、冷却水接头及需进行漏水保护的电气部件的一侧；所述漏水保护槽的底面及侧面上均贴有隔水材料。
2.如权利要求I所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保护槽为多条且相互贯通，所述相互贯通的各条漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，所有相互贯通的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入所有相互贯通的漏水保护槽中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。
3.如权利要求2所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述底板中还设置有不能同所述相互贯通的漏水保护槽相贯通的独立的漏水保护槽，每条所述独立的漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，每条所述独立的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低 点位置，使得流入所述独立的漏水保护槽中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。
4.如权利要求I所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述底板上分布的漏水保护槽为多条且相互独立，所述每条独立的漏水保护槽的底面均具有一定的倾斜度，所述每条独立的漏水保护槽的底面中具有一处深度最深的最低点位置，使得流入其中的水流均能够汇集到所述最低点位置，在所述最低点位置处安装有检测传感器。
5.如权利要求I至4中任一权利要求所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述漏水保护槽内所述隔水材料之上的空隙内均填充有吸水材料。
6.如权利要求5所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述吸水材料的表面同所述底板齐平。
7.如权利要求5所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述吸水材料为高吸水性树脂或高吸水性塑料或海绵。
8.如权利要求I所述的工件台漏水保护装置，其特征在于，所述隔水材料为聚氨酯防水涂料或丙凝防水材料。
全文摘要
本发明提供一种工件台漏水保护装置，所述工件台包括底板、安装于所述底板上的冷却水管、冷却水接头及电气部件，所述漏水保护装置包括漏水保护槽，所述漏水保护槽设置于所述底板中；所述漏水保护槽分布于所述底板上所述冷却水管、冷却水接头及需进行漏水保护的电气部件的一侧；所述漏水保护槽的底面及侧面上均贴有隔水材料。本发明的工件台漏水保护装置可以根据需要设计微动台底板中漏水保护槽的分布，实现对微动台底板全范围内保护。漏水被集中于漏水保护槽中的一处位置进行检测，结构简单，使用的传感器少，便于检测和控制，节约成本。
文档编号G03F7/20GK102736433SQ20111008796
公开日2012年10月17日 申请日期2011年4月8日 优先权日2011年4月8日
发明者范哲光, 齐芊枫 申请人:上海微电子装备有限公司, 上海微高精密机械工程有限公司