一种掩模板盒的制作方法
【专利摘要】本发明提供一种掩模板盒，其包括用于容置掩模板的盒体结构，所述盒体结构包括多个面，所述盒体结构的至少一个面上设置有用于向所述盒体结构的内部吹送净化气体的进风结构，在所述盒体的至少另一个面设置有用于使得所述盒体结构内部的气流与外界气体进行流通的通气结构。本发明所提供的掩模板盒上安装有向其内部吹送净化气体的进风结构，可以保证其内部的气体压力大于外界气体，可以防止外界异物进入掩模板盒的内部，并且，在掩模板盒上还设计有通气结构，有利于掩模板盒内气流排出，排出内部磨损产生的异物，具有结构简单，操作方便，易于实施的优点。
【专利说明】一种掩模板盒
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示【技术领域】，尤其涉及一种掩模板盒。
【背景技术】
[0002]在微电子等需要使用光刻图形工艺的领域中，掩模板是不可缺少的工具。在整个的产品加工过程中需要使用至少一块掩模板(Mask)，很多情况下全部流程中需要使用多块掩模板。在光刻图形工艺过程中，掩模板随着使用次数的增加，会被污染，产生严重的共通缺陷，所以掩模板需要进行定期清洗，通常采用掩模板盒(Mask Case)来存放和运输掩模板。
[0003]如图1所示为现有的掩模板盒的结构，其包括一盒体，盒体上设置有能够打开的活动盒盖，打开活动盒盖可以将掩模板放置于盒体内，再关闭活动盒盖，即形成一封闭盒子，可以来存放和运输掩模板。但是，在放置掩模板时，外界的异物可以进入盒体内，由于掩模板盒是一封闭盒子，由外界进入掩模板盒内的异物以及掩模板盒内部磨损产生的异物均不能排出掩模板外，从而清洗干净的掩模板在掩模板盒中非常容易被污染，并最终影响产能和广品品质。
【发明内容】
[0004]本发明的目的是提供一种掩模板盒，可以防止外界异物进入掩模板盒内，同时也能排出内部磨损产生的异物，结构简单，操作方便，易于实施。
[0005]本发明所提供的技术方案如下:
[0006]一种掩模板盒，包括用于容置掩模板的盒体结构，所述盒体结构包括多个面，所述盒体结构的至少一个面上设置有用于向所述盒体结构的内部吹送净化气体的进风结构，在所述盒体结构的至少另一个面设置有用于使得所述盒体结构内部的气流与外界气体进行流通的通气结构。
[0007]进一步的，所述进风结构采用高效过滤器。
[0008]进一步的，所述盒体结构包括相对的第一面和第二面，所述进风结构设置于所述第一面上，所述通气结构设置于所述第二面。
[0009]进一步的，所述通气结构包括分布于所述盒体结构的面上的多个通气孔。
[0010]进一步的，所述盒体结构包括相适配的盒本体和活动盒盖，所述进风结构设置于所述活动盒盖上。
[0011]进一步的，所述盒体结构的内部设置有用于支撑掩模板板的支撑结构。
[0012]进一步的，所述支撑结构包括设置于盒体结构内的至少四个掩模板板支撑部，所述至少四个支撑部能共同支撑所述掩模板板。
[0013]本发明的有益效果如下:
[0014]本发明所提供的掩模板盒上安装有向其内部吹送净化气体的进风结构，可以保证其内部的气体压力大于外界气体，可以防止外界异物进入掩模板盒的内部，并且，在掩模板盒上还设计有通气结构，有利于掩模板盒内气流排出，排出内部磨损产生的异物，具有结构简单，操作方便，易于实施的优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为现有技术中的掩模板盒的结构示意图；
[0016]图2为本发明中所提供的掩模板盒的组装结构示意图；
[0017]图3为本发明所提供的掩模板盒的分解结构示意图。
【具体实施方式】
[0018]以下结合附图对本发明的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本发明，并非用于限定本发明的范围。
[0019]针对现有技术中掩模板盒容易有外界异物进入，且掩模板盒内部异物不易排出的问题，本发明提供了一种掩模板盒，其结构简单，可以防止外界异物进入盒体内，并易于将内部异物排出。
[0020]如图2和图3所示，本发明所提供的掩模板盒包括用于容置掩模板板的盒体结构100，所述盒体结构100包括多个面，在所述盒体结构100的至少一个面上设置有用于向所述盒体结构100的内部吹送净化气体的进风结构200，在所述盒体的至少另一个面设置有用于使得所述盒体结构100内部的气流与外界气体进行流通的通气结构300。
[0021]采用上述方案，由于在掩模板盒上设置有进风结构200，可以向掩模板盒内部吹送净化气体，可以保证掩模板盒内部的气体压力大于外界气体，外界异物不易进入掩模板盒的内部，并且，在掩模板盒上还设计有通气结构300，有利于掩模板盒内气流排出，从而排出内部磨损产生的异物。
[0022]本实施例中，优选的，所述进风结构200采用高效过滤器。通过将高效过滤器设置于盒体结构100上，可以实现向盒体结构100内部吹送净化气体的目的。并且，在运输过程中，该高效过滤器可以通过一储蓄电池来驱动。应当理解的是，在实际应用中，所述进风结构200也可以采用其他方式实现，在此不再一一列举。
[0023]此外，本实施例中，优选的，如图2和图3所示，所述盒体结构100包括相对的第一面和第二面，所述进风结构200设置于所述第一面上，所述通气结构300设置于所述第二面。采用上述方案，将进风结构200和通气结构300分别设置于盒体结构100相对的两个面上，有利于气流的流通。
[0024]应当理解的是，在实际应用中，进风结构200与通气结构300的设置位置并不仅局限于此，也可以是将通气结构300还设置于与所述第一面IOOa相邻接的面上。
[0025]此外，本实施例中，优选的，如图2和图3所示，所述通气结构300包括分布于所述盒体结构100的面上的多个通气孔。在本实施例中，通气结构300是采用多个通气孔的方式来实现的，应当理解的是，在实际应用中，通气结构300也还可以是采用其他方式，比如:在本发明的进一步技术方案中，通气结构300也可以设置为便于盒体结构100内部气流排出的抽风机构，在此不再一一列举。
[0026]此外，本实施例中，如图2和图3所示，所述盒体结构100包括相适配的盒本体101和活动盒盖102，所述进风结构200设置于所述活动盒盖102上，所述通气结构300设置于盒本体101的底部。采用上述方案，可以打开活动盒盖102，将掩模板板放置于盒本体101内，再盖上活动盒盖102即可，并且，在本实施例中，进风结构设置在活动盒盖102上，在运输时，位于掩模板的上方，而通气结构300位于掩模板的下方,有利于异物的排出。应当理解的是，在此仅提供一种掩模板的优选实施方式，但并不是对进风结构以及活动盒盖102的位置进行局限。
[0027]此外，如图2和图3所示，所述盒体结构100的内部设置有用于支撑掩模板的支撑结构。所述支撑结构包括设置于盒体结构100内的至少四个掩模板支撑部400，所述至少四个支撑部400可以分布于盒本体101的各角落，以共同支撑所述掩模板。采用上述方案，可以便于掩模板放置于掩模板盒内。
[0028]以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。
【权利要求】
1.一种掩模板盒，包括用于容置掩模板的盒体结构，所述盒体结构包括多个面，其特征在于，所述盒体结构的至少一个面上设置有用于向所述盒体结构的内部吹送净化气体的进风结构，在所述盒体结构的至少另一个面设置有用于使得所述盒体结构内部的气流与外界气体进行流通的通气结构。
2.根据权利要求1所述的掩模板盒，其特征在于，所述进风结构采用高效过滤器。
3.根据权利要求1所述的掩模板盒，其特征在于，所述盒体结构包括相对的第一面和第二面，所述进风结构设置于所述第一面上，所述通气结构设置于所述第二面。
4.根据权利要求1所述的掩模板盒，其特征在于，所述通气结构包括分布于所述盒体结构的面上的多个通气孔。
5.根据权利要求1所述的掩模板盒，其特征在于，所述盒体结构包括相适配的盒本体和活动盒盖，所述进风结构设置于所述活动盒盖上。
6.根据权利要求1至5任一项所述的掩模板盒，其特征在于，所述盒体结构的内部设置有用于支撑掩模板的支撑结构。
7.根据权利要求6所述的掩模板盒，其特征在于，所述支撑结构包括设置于盒体结构内的至少四个掩模板支撑部，所述至少四个支撑部能共同支撑所述掩模板。
【文档编号】G03F1/66GK103713468SQ201310721771
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年12月24日 优先权日:2013年12月24日
【发明者】闫润宝, 杜宏伟, 李真硕, 周云龙, 杨旭铭 申请人:京东方科技集团股份有限公司, 北京京东方显示技术有限公司