一种膜层去除装置制造方法
【专利摘要】本发明实施例提供了一种膜层去除装置，涉及显示器件的制备领域，可实现对膜层任意区域的精密去除，满足工艺生产中的不同需求，节约成本并提高生产效率。该膜层去除装置包括：去除单元；驱动所述去除单元移动的驱动单元；控制所述驱动单元的控制单元；其中，所述去除单元包括：腔体；所述腔体包括一开口区域；设置在所述腔体开口区域、且平行于膜层表面的可旋转的去除体；设置在所述腔体内部、且向所述去除体注入去除液的注入管；设置在所述腔体内部的抽气组件；所述抽气组件的抽气管指向所述去除体。用于可实现对膜层任意区域的精密去除的膜层去除装置的制备。
【专利说明】一种膜层去除装置
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示器件的制备领域，尤其涉及一种膜层去除装置。
【背景技术】
[0002]在显示器件的制备过程中，常通过构图工艺形成具有预定图案的膜层。构图工艺主要是通过对膜层上涂覆的光刻胶进行曝光显影，得到具有特定图案的光刻胶层，对光刻胶层暴露出的膜层进行刻蚀，从而使得膜层形成预定的图案。
[0003]由于对光刻胶层进行的曝光需要与掩模板进行准确的对位，因此，在对光刻胶层进行曝光前，需要在形成有膜层的基板上预先设置多个分布位置不同的对位标记(workmark)，由于目前曝光机对对位标记的识别都是通过可见光进行识别的，而绝大多数膜层，例如制备黑矩阵(Black Matrix，简称BM)时的膜层难以穿透可见光，因此，需要将对位标记位置处的膜层去除掉，从而露出对位标记完成曝光前的对位工作。
[0004]如图1A和图1B所示，当对位标记(图中及下文中均标记为符号“ X ”)位于膜层02的常规区域02a，即膜层02的两侧和/或四周时，可以通过现有的刮边机04简单地将膜层02的两侧和/或四周刮除，以露出对位标记X。
[0005]然而，由于现有技术提供的刮边机的作业范围仅限于膜层的两侧和/或四周，且对膜层刮除的宽度范围有限，如图2所示，当对位标记X位于膜层02较为内部的非常规区域时02b，利用现有技术的刮边机03则难以去除位于上述非常规区域02b内的对位标记X上方的膜层02，由于对位标记X上方的膜层02难以去除，即对位标记X难以暴露出来，从而导致对位不良，影响后续的曝光显影工艺，因此，在此情况下只能通过人工手动去除非常规区域中对位标记上的膜层，导致生产效率下降；如果对位于非常规区域中对位标记上的膜层不进行刮除，则需要重新研发出必须能透过红外光的新的膜层材料，并且进一步还需要对曝光机的对位系统进行升级，增加对红外光的识别系统，导致研发周期延长、生产成本增加。
【发明内容】
[0006]鉴于此，为解决现有技术的问题，本发明的实施例提供一种膜层去除装置，可实现对膜层任意区域的精密去除，满足工艺生产中的不同需求，节约成本并提高生产效率。
[0007]为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案:
[0008]本发明实施例提供了一种膜层去除装置，包括:去除单元；驱动所述去除单元移动的驱动单元；控制所述驱动单元的控制单元；其中，所述去除单元包括:腔体；所述腔体包括一开口区域；设置在所述腔体开口区域、且平行于膜层表面的可旋转的去除体；设置在所述腔体内部、且向所述去除体注入去除液的注入管；设置在所述腔体内部的抽气组件；所述抽气组件的抽气管指向所述去除体。
[0009]可选的，所述膜层去除装置还包括驱动所述去除体旋转的电机单元。
[0010]优选的，所述去除体包括液体吸收体；其中，所述液体吸收体套设在所述电机单元的旋转轴上。
[0011]优选的，所述去除体包括辊轴、套设在所述辊轴表面的液体吸收体；其中，所述液体吸收体至少露出所述辊轴的一端；所述辊轴通过传送带与所述电机单元的旋转轴相连。
[0012]进一步优选的，所述液体吸收体由海绵构成。
[0013]可选的，所述注入管的数量为两个，且分别位于所述去除体的两端。
[0014]可选的，所述注入管靠近所述去除体一端的管径小于远离所述去除体一端的管径。
[0015]可选的，所述抽气组件还包括与所述抽气管相连的废液收集腔。
[0016]可选的，所述驱动单元包括机械臂。
[0017]可选的，所述控制单元包括中央处理器或可编程逻辑控制器。
[0018]基于此，本发明提供的上述膜层去除装置，一方面，通过所述控制单元精确地控制所述驱动单元的移动，使受所述驱动单元驱动的所述去除单元精确地移动至所述膜层上任一区域上方，进一步通过浸含有所述去除液的所述去除体与待去除区域内的所述膜层充分接触并溶解掉该区域内的膜层，从而实现了对所述膜层任意区域内的膜层材料的精密去除，满足工艺生产中的不同需求，无需重新研发可透过红外光的新膜层材料或手动去除现有技术中的刮边机难以去除区域内的膜层，从而实现节约成本并提高生产效率。
[0019]另一方面，由于在所述腔体内部设置有所述抽气组件，通过所述抽气组件的抽气负压作用可快速地将去除区域的膜层与去除液反应生成的废液吸走，保证待去除区域的去除结果干净彻底，不会出现化学药液溅射到膜层的其他区域上造成不良影响。
【专利附图】
【附图说明】
[0020]为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0021]图1A为采用现有技术提供的刮边机对膜层进行去除的示意图一；
[0022]图1B为采用现有技术提供的刮边机对膜层进行去除的示意图二 ；
[0023]图2为采用现有技术提供的刮边机对膜层进行去除的示意图三；
[0024]图3为本发明实施例提供的一种膜层去除装置的结构示意图；
[0025]图4为本发明实施例提供的一种膜层去除装置中去除单元的剖面结构示意图；
[0026]图5A为本发明实施例提供的一种膜层去除装置中去除体的旋转控制示意图一；
[0027]图5B为本发明实施例提供的一种膜层去除装置中去除体的旋转控制示意图二。
[0028]附图标记:
[0029]01-膜层去除装置；10_去除单元；11_腔体；110_开口区域；12_去除体；121_液体吸收体；122-辊轴；13-注入管；14-抽气组件；140-抽气管；20_驱动单元；30_控制单元；40_电机单元；41_旋转轴；42_传送带；02_待去除膜层；02a-常规区域；02b_非常规区域；03_刮边机。
【具体实施方式】
[0030]下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0031]本发明实施例提供了一种膜层去除装置01，如图3所示，所述膜层去除装置01包括:去除单元10 ;驱动所述去除单元10移动的驱动单元20 ;控制所述驱动单元20的控制单元30。
[0032]其中，如图4所示，所述去除单元10包括:腔体11 ;所述腔体11包括一开口区域110;设置在所述腔体11开口区域110、且平行于膜层02表面的可旋转的去除体12 ;设置在所述腔体11内部、且向所述去除体12注入去除液的注入管13 ;设置在所述腔体11内部的抽气组件14 ;所述抽气组件14的抽气管140指向所述去除体12。
[0033]需要说明的是，第一、当需要对所述膜层02上任一区域内的膜层进行去除时，可通过所述控制单元30精确地控制所述驱动单元20的移动,使受所述驱动单元20驱动的所述去除单元10精确地移动至待去除区域的上方进行膜层的去除工艺。
[0034]这里，对所述控制单元30及所述驱动单元20不作限定，只需可实现对所述去除单元10移动的精确控制即可。
[0035]其中，所述驱动单元20例如可以是机械臂等装置；所述控制单元30例如可以是中央处理器(Central Processing Unit,简称CPU)或可编程逻辑控制器(ProgrammableLogic Controller,简称 PLC)。
[0036]第二、所述去除液是指可溶解或与待去除的膜层02反应，从而去除膜层02的溶液，例如，当待去除的膜层02为形成光刻胶或黑矩阵材料时，所述去除液可以为酸类、或有机溶剂等。
[0037]这里，浸含有所述去除液的所述去除体12通过不断地旋转，使待去除区域内的膜层02与其接触并被所述去除液溶解擦除，而溶解有膜层的废液会对所述膜层02待去除区域周边的膜层保留区域造成影响，因此，设置在所述腔体11内部的所述抽气组件14的作用即是通过所述抽气管140快速地将废液吸走，保证待去除区域的去除结果干净彻底，且不会出现化学药液溅射到膜层的其他区域上造成不良影响。
[0038]第三、本领域技术人员应当理解，图4中仅示意性地提供了所述腔体11的形状及内部各组件的分布情况，本发明不限于此，其中，所述腔体11内部的各组件的具体分布位置可灵活调整，以使所述注入管13可充分地向所述去除体12注入去除液，所述抽气组件14尽可能充分地将废液吸出干净即可；其中，所述腔体11的所述开口区域110只要保证所述去除体12在开口区域110内可充分旋转，以使其可与待去除的膜层相接触完成对膜层的去除作用即可。
[0039]本发明实施例提供的上述膜层去除装置01，所述膜层去除装置01包括:去除单元10 ;驱动所述去除单元10移动的驱动单元20 ;控制所述驱动单元20的控制单元30。其中，所述去除单元10包括:腔体11 ;所述腔体11包括一开口区域110 ;设置在所述腔体11开口区域110、且平行于膜层02表面的可旋转的去除体12 ;设置在所述腔体11内部、且向所述去除体12注入去除液的注入管13 ;设置在所述腔体11内部的抽气组件14 ;所述抽气组件14的抽气管140指向所述去除体12。
[0040]基于此，本发明提供的上述膜层去除装置01，一方面，通过所述控制单元30精确地控制所述驱动单元20的移动，使受所述驱动单元20驱动的所述去除单元10精确地移动至所述膜层02上任一区域上方，进一步通过浸含有所述去除液的所述去除体12与待去除区域内的所述膜层02充分接触并溶解掉该区域内的膜层，从而实现了对所述膜层02任意区域内的膜层材料的精密去除，满足工艺生产中的不同需求，无需重新研发可透过红外光的新膜层材料或手动去除现有技术中的刮边机难以去除区域内的膜层，从而实现节约成本并提闻生广效率。
[0041]另一方面，由于在所述腔体11内部设置有所述抽气组件14，通过所述抽气组件14的抽气负压作用可快速地将去除区域的膜层02与去除液反应生成的废液吸走，保证待去除区域的去除结果干净彻底，不会出现化学药液溅射到膜层的其他区域上造成不良影响。
[0042]在上述基础上，所述膜层去除装置01还包括驱动所述去除体12旋转的电机单元40。其中，所述电机单元例如可以为马达(motor)等。
[0043]具体的，所述电机单元40可采用以下两种方式驱动所述去除体12的旋转:
[0044]方式一、如图5A所示，所述去除体12包括液体吸收体121 ;其中，所述液体吸收体121套设在所述电机单元40的旋转轴41上。
[0045]这样，当所述电机单元40，例如为马达工作时，通过其旋转轴41的旋转即可实现所述液体吸收体121的旋转。
[0046]其中，所述液体吸收体121是指可以浸含液体的结构，例如可以是有海绵材料构成的结构，具体形状不作限定，优选为中空的圆柱体，以便与套设在所述旋转轴41上。
[0047]方式二、如图5B所示，所述去除体12包括辊轴122、套设在所述辊轴122表面的液体吸收体121 ;其中,所述液体吸收体121至少露出所述辊轴122的一端；所述辊轴122通过传送带42与所述电机单元40的旋转轴41相连。
[0048]这样，当所述电机单元40工作时,通过所述传送带42 —端的旋转轴41的旋转带动所述传送带42另一端上的辊轴122旋转，从而实现了所述去除体12的旋转。
[0049]其中，所述液体吸收体121是指可以浸含液体的结构，例如可以是有海绵材料构成的结构，具体形状不作限定，优选为中空的圆柱体，以便与套设在所述辊轴122上。
[0050]在上述基础上，参考图4所示，为了使所述去除体12充分地浸含有所述去除液，不会出现所述去除体12 —些区域内浸含有所述去除液而另一些区域内没有浸含所述去除液，从而造成对待去除区域的膜层02去除不良，优选的，所述注入管13的数量为两个，且分别位于所述去除体12的两端。
[0051]进一步的，为了避免所述注入管13向所述去除体12注入所述去除液时滴落到不需要去除的膜层02表面，优选的，所述注入管13靠近所述去除体12 —端的管径小于远离所述去除体12 —端的管径。
[0052]这样，一方面，靠近所述去除体12 —端的管径较小可避免由于管径口过大而造成有额外的去除液滴落到不需要去除的膜层02表面；另一方面，由于所述注入管13靠近所述去除体12 —端的管径小于远离所述去除体12 —端的管径，这样一种上大下小的管径设计可以更好地控制从所述注入管13流出的去除液的流速，从而使得所述去除液更为均匀地注入到所述去除体12。
[0053]在上述基础上，所述抽气组件14还可包括与所述抽气管140相连的废液收集腔，以便收集所述膜层被反应后的废液，在所述膜层去除装置01工作完毕后对废液进行集中处理。
[0054]需要说明的是，本发明所有附图是上述的膜层去除装置的简略的示意图，只为清楚描述本方案体现了与发明点相关的结构，对于其他的与发明点无关的结构是现有结构，在附图中并未体现或只体现部分。
[0055]以上所述，仅为本发明的【具体实施方式】，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本【技术领域】的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
【权利要求】
1.一种膜层去除装置，其特征在于，包括:去除单元；驱动所述去除单元移动的驱动单元；控制所述驱动单元的控制单元；其中，所述去除单元包括: 腔体；所述腔体包括一开口区域； 设置在所述腔体开口区域、且平行于膜层表面的可旋转的去除体； 设置在所述腔体内部、且向所述去除体注入去除液的注入管； 设置在所述腔体内部的抽气组件；所述抽气组件的抽气管指向所述去除体。
2.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述膜层去除装置还包括驱动所述去除体旋转的电机单元。
3.根据权利要求2所述的膜层去除装置，其特征在于，所述去除体包括液体吸收体； 其中，所述液体吸收体套设在所述电机单元的旋转轴上。
4.根据权利要求2所述的膜层去除装置，其特征在于，所述去除体包括辊轴、套设在所述辊轴表面的液体吸收体； 其中，所述液体吸收体至少露出所述辊轴的一端； 所述棍轴通过传送带与所述电机单元的旋转轴相连。
5.根据权利要求3或4所述的膜层去除装置，其特征在于，所述液体吸收体由海绵构成。
6.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述注入管的数量为两个，且分别位于所述去除体的两端。
7.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述注入管靠近所述去除体一端的管径小于远离所述去除体一端的管径。
8.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述抽气组件还包括与所述抽气管相连的废液收集腔。
9.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述驱动单元包括机械臂。
10.根据权利要求1所述的膜层去除装置，其特征在于，所述控制单元包括中央处理器或可编程逻辑控制器。
【文档编号】G03F9/00GK104317174SQ201410599113
【公开日】2015年1月28日 申请日期:2014年10月30日 优先权日:2014年10月30日
【发明者】谷耀辉, 舒适, 张锋 申请人:京东方科技集团股份有限公司