液晶基板的制作方法与流程

文档序号:12593458阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种液晶基板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:

步骤1、提供一基板(10),所述基板(10)上设有一层彩色滤光膜(11),所述彩色滤光膜(11)包括数个红色色阻单元(111)、绿色色阻单元(112)、及蓝色色阻单元(113),在所述彩色滤光膜(11)上涂布一层光刻胶材料,形成有机涂层(20);

步骤2、提供一半色调光罩(50),将所述半色调光罩(50)对应置于所述基板(10)上方,在所述基板(10)上划分出分别与所述数个红色、绿色、蓝色色阻单元(111、112、113)相对应的红色像素区、绿色像素区、蓝色像素区、及位于所述蓝色像素区与红色像素区、绿色像素区之间的像素间隔区;所述光罩(50)具有与所述红色、绿色像素区相对应的第一透光区(51),及与所述蓝色像素区相对应的第二透光区(52);

利用所述半色调光罩(50)对所述有机涂层(20)进行曝光,在所述有机涂层(20)上对应第一、第二透光区(51、52)分别形成第一、第二曝光区,其中,所述第二透光区(52)的透光率高于第一透光区(51)的透光率,从而使得第二曝光区的曝光程度高于第一曝光区的曝光程度;

步骤3、提供显影液,利用所述显影液对所述有机涂层(20)进行显影,由于第二曝光区的曝光程度高于第一曝光区的曝光程度,从而所述有机涂层(20)经显影后,所述有机涂层(20)上第二曝光区的高度高于所述第一曝光区的高度;

步骤4、对所述有机涂层(20)进行高温烘烤,使所述有机涂层(20)充分固化,形成有机绝缘平坦层。

2.如权利要求1所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述步骤2中提供的半色调光罩(50),所述第一透光区(51)与第二透光区(52)在对应所述像素间隔区的上方直接相连接。

3.如权利要求1所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述步骤2中提供的半色调光罩(50),在所述第一透光区(51)与第二透光区(52)之间还具有与所述像素间隔区相对应的第三透光区(53),其中,所述第三透光区(53)的透光率高于第二透光区(52)的透光率,从而所述步骤2中,还包括在所述有机涂层(20)上对应第三透光区(53)形成第三曝光区,所述第三曝光区的曝光程度高于第二曝光区的曝光程度;所述步骤3中,所述有机涂层(20)经显影后,所述有机涂层(20)上第三曝光区的高度高于所述第二曝光区的高度。

4.如权利要求2所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述第二透光区(52)的透光率比第一透光区(51)的透光率高5%-20%。

5.如权利要求3所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述第二透光区(52)的透光率比第一透光区(51)的透光率高5%-20%;所述第三透光区(52)的透光率比所述第二透光区(51)的透光率高5%-20%。

6.如权利要求1所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述步骤1中提供的基板(10)为TFT阵列基板,所述基板(10)包括衬底基板、及设于衬底基板与彩色滤光膜(11)之间的TFT阵列层。

7.如权利要求1所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述步骤1中,所述光刻胶材料的黏度在3.0-5.0cp之间,固含量在15-25wt%之间;

所述步骤1还包括,在彩色滤光膜(11)上涂布一层光刻胶材料后,对彩色滤光膜(11)上的光刻胶材料依次进行真空干燥、及电热板加热,从而形成有机涂层(20),所述有机涂层(20)的膜厚在1.0-5.0μm之间;

其中,对光刻胶材料进行电热板加热的加热温度范围在90-120℃之间,加热时间在80-150s之间。

8.如权利要求1所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述步骤3中,显影液采用0.04wt%的TMAH溶液、2.38wt%的TMAH溶液、或0.04wt%的KOH溶液,显影时间在60-120s之间。

9.如权利要求1所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述步骤4中,在220-240℃温度下对所述有机涂层(20)进行高温烘烤,高温烘烤时间为20-30min。

10.如权利要求1所述的液晶基板的制作方法,其特征在于,所述蓝色色阻单元(113)比所述红色色阻单元(111)、绿色色阻单元(112)高0.1-0.2μm;

所述步骤4中形成的有机绝缘平坦层,对应位于所述蓝色像素区上的高度比对应位于所述红色像素区、绿色像素区上的高度高0.1-0.2μm。

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