本发明是关于一种感光性树脂组成物。本发明也关于一种由所述感光性树脂组成物所形成的彩色光阻结构。本发明还关于一种包括所述彩色光阻结构的显示器。
背景技术：
在显示器中，普遍地使用彩色滤光片等滤色结构来控制各画素的颜色。举例来说，在较早期的液晶显示器中，彩色滤光片被形成在相对于薄膜晶体管基板的基板上，其通常被称为彩色滤光片基板。彩色滤光片可包括多种颜色的彩色光阻结构，例如是但不限于红色、绿色、和蓝色的光阻结构。这些光阻结构可以使用树脂组成物，特别是感光性树脂组成物来形成。一般来说，为了配合各种类型的显示器应用，感光性树脂组成物的成分可加以调整和优化。
技术实现要素：
本发明有关于一种感光性树脂组成物、及应用其的彩色光阻结构和显示器。实施例的感光性树脂组成物具有良好的耐热性与耐溶剂性。
根据本发明的一实施例，提出一种感光性树脂组成物。此感旋旋光性树脂组成物包括着色剂、树脂、光聚合单体、光聚合引发剂以及溶剂。所述着色剂包括颜料及染料。所述树脂包括第一单体单元和第二单体单元，所述第一单体单元和所述第二单体单元的总和占所述树脂的30mol％以上，所述第一单体单元具有如化学式1所示的结构：
[化学式1]
及
所述第二单体单元具有如化学式2所示的结构：
[化学式2]
其中R1和R2分别独立地为碳数1至10的烷基，n和m分别独立地为正整数，R3表示氢原子或碳数1至2的烷基。
根据本发明的一实施例，所述第一单体单元和所述第二单体单元的总和占所述树脂的30mol％～90mol％。
根据本发明的一实施例，所述第一单体单元占所述树脂的25～60mol％，所述第二单体单元占所述树脂的5mol％以上。
根据本发明的一实施例，所述树脂更包括第三单体单元，所述第三单体单元具有N-苯基马来酰亚胺官能基。
根据本发明的一实施例，所述第三单体单元，占所述树脂的10mol％～30mol％。
根据本发明的一实施例，所述树脂更包括第四单体单元，所述第四单体单元具有甲基丙烯酸甲酯。
根据本发明的一实施例，所述第四单体单元，占所述树脂的0mol％～50mol％。
根据本发明的一实施例，相对于100重量份的所述树脂，所述着色剂为1重量份～50重量份，所述光聚合单体为1重量份～5重量份，所述光聚合引发剂为1重量份～3重量份，所述溶剂为1重量份～41重量份。
根据本发明的一实施例，所述染料选自油溶性染料、酸性染料、碱基性染料、直接染料、媒染染料、酸性染料的胺盐或酸性染料的磺酰胺衍生物、偶氮染料、花青素染料、三苯基甲烷染料、氧杂葱酮染料、酞菁染料、萘醌染料、醌亚胺染料、次甲基染料、偶氮甲碱染料、方酸染料、吖啶染料、苯乙烯染料、香豆素染料、喹啉染料及硝基染料所组成的群组。
根据本发明的一实施例，所述染料占所述感光性树脂组成物的0.1～50wt％。
根据本发明的一实施例，所述光聚合单体选自具有一个乙烯性不饱和键的聚合性化合物、具有二个乙烯性不饱和键的聚合性化合物、以及具有三个乙烯性不饱和键的聚合性化合物所组成的群组；且/或
所述光聚合引发剂选自O-酰基肟化合物、烷基苯基酮化合物、双咪唑化合物、三嗪化合物、酰基膦氧化物、安息香化合物、二苯基酮化合物、醌系化合物、10-丁基-2-氯吖啶酮、苄基或苯基甲酰甲酸甲酯、和环戊二烯钛化合物组成的群组；且/或
所述溶剂选自酯溶剂、醚溶剂、醚酯溶剂、酮溶剂、醇溶剂、芳香族烃溶剂、酰胺溶剂、和二甲基亚砜所组成的群组。
其中，所述具有一个乙烯性不饱和键的聚合性化合物选自丙烯酸壬基苯基卡必醇酯、丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、丙烯酸2-乙基己基卡必醇酯、丙烯酸2-羟基乙酯、N-乙烯基吡咯酮所组成的群组；所述具有二个乙烯性不饱和键的聚合性化合物选自二(甲基)丙烯酸1,6-己烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸三乙二醇酯、双酚A的双(丙烯酰氧基乙基)醚、二(甲基)丙烯酸-3-甲基戊烷二醇酯所组成的群组；以及所述具有三个乙烯性不饱和键的聚合性化合物选自三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙烷酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、八(甲基)丙烯酸三季戊四醇酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、十(甲基)丙烯酸四季戊四醇酯、九(甲基)丙烯酸四季戊四醇酯、三(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、四(甲基)丙烯酸乙二醇改性季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸乙二醇改性二季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸丙二醇改性季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸丙二醇改性二季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸己内酯改性季戊四醇酯、以及六(甲基)丙烯酸己内酯改性二季戊四醇酯所组成的群组。
根据本发明的另一实施例，提出一种彩色光阻结构。此彩色光阻结构由例如是前述的感光性树脂组成物所形成。
根据本发明的更一实施例，提出一种显示器。此显示器包括例如是前述的彩色光阻结构。
本发明的有益效果：
本发明的感光性树脂组成物具有良好的耐热性与耐溶剂性。
具体实施方式
以下提出各种实施例进行详细说明，实施例仅用以作为范例说明，并不会限缩本发明欲保护的范围，本发明仍可采用其他特征、元件、方法及参数来加以实施。实施例的提出，仅用以例示本发明的技术特征，并非用以限定本发明的申请专利范围。该技术领域中的普通技术人员，将可根据以下说明书的描述，在不脱离本发明的精神范围内，作均等的修饰与变化。
本发明的一些实施例是关于一种感光性树脂组成物。此种感光性树脂组成物包括着色剂(A)、树脂(B)、光聚合单体(C)、光聚合引发剂(D)、和溶剂(E)。其中，着色剂(A)包括颜料(A-1)及染料(A-2)。树脂(B)包括具有羟基的第一单体单元(B-1)和具有酯类官能基的第二单体单元(B-2)，第一单体单元(B-1)和第二单体单元(B-2)的总和占树脂(B)的30mol％以上。
在此，所述着色剂(A)、颜料(A-1)、染料(A-2)、树脂(B)、第一单体单元(B-1)、第二单体单元(B-2)、光聚合单体(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E)等成分用词，独立地可包括单一种或多种着色剂(A)、颜料(A-1)、染料(A-2)、树脂(B)、第一单体单元(B-1)、第二单体单元(B-2)、光聚合单体(C)、光聚合引发剂(D)和溶剂(E)等该成分的情况。
根据本发明的实施例的感光性树脂组成物，经由调整树脂(B)的组成，第一单体单元(B-1)的羟基和第二单体单元(B-2)的酯类官能基可发生缩合(condensation)反应，使得第一单体单元(B-1)和第二单体单元(B-2)之间进一步交联聚合，而形成交联度较高而较坚固的树脂结构，而能够使得树脂结构具有较高的耐热性，进而可以避免在后续工艺(例如TFT-LCD工艺)中的高温热处理(例如高温烘烤)对于感光性树脂组成物造成破坏。
此外，一般而言，染料分子在溶液中具有较高的溶解性，当染料分子从感光性树脂组成物的树脂结构中溶解至外部的溶液时会造成褪色的现象，而根据本发明的实施例，第一单体单元(B-1)和第二单体单元(B-2)之间进一步交联聚合，而形成立体交联度较高而包覆性较佳的树脂结构，因此可以使得染料分子能够被交联结构包覆在其中，而能够较佳地固定于此交联结构中，因而使得本发明的感光性树脂组成物具有较佳的耐溶剂性而不易发生褪色的现象，如此一来，可以避免在后续工艺(例如TFT-LCD工艺)中的工艺浴槽处理(例如化学药剂洗净处理)对于感光性树脂组成物造成破坏。
更进一步，第一单体单元(B-1)的羟基能够提高树脂结构的溶解性，而使得感光性树脂组成物具有良好的耐热性及耐溶剂性时仍能具有良好的显影性。
根据一些实施例，第一单体单元(B-1)具有如化学式1所示的结构：
[化学式1]
及
第二单体单元(B-2)具有如化学式2所示的结构：
[化学式2]
其中R1和R2分别独立地为碳数1至10的烷基，n和m分别独立地为正整数，R3表示氢原子或碳数1至2的烷基。
根据一些实施例，第一单体单元(B-1)和第二单体单元(B-2)的总和可占树脂(B)的30mol％以上，例如30mol％～90mol％。
根据一些实施例，第一单体单元(B-1)可占树脂(B)的25mol％以上，第二单体单元(B-2)可占树脂(B)的5mol％以上。当第一单体单元(B-1)和第二单体单元(B-2)均分别占树脂(B)的25mol％和5mol％以上时，此两者单体单元的羟基和酯类官能基的缩合反应所提供的交联程度才能够足以达到预期的耐热性及耐溶剂性。当第一单体单元(B-1)和第二单体单元(B-2)分别占树脂(B)不足30mol％时，则无法使树脂结构具有足够的交联程度，而无法达到预期的耐热性及耐溶剂性。
根据一些实施例，第一单体单元(B-1)占树脂(B)的摩尔比例例如可以是大于或等于第二单体单元(B-2)占树脂(B)的摩尔比例；较佳地，第一单体单元(B-1)占树脂(B)的摩尔比例例如可以是大于第二单体单元(B-2)占树脂(B)的摩尔比例。如此一来，第一单体单元(B-1)中的部分羟基和第二单体单元(B-2)中的酯类官能基进行缩合反应而提高树脂结构的交联度，同时第一单体单元(B-1)中的其余未进行交联反应的羟基能够提高树脂结构的溶解性，进而提高感光性树脂组成物的显影性。
举例而言，根据一些实施例，第一单体单元(B-1)可占树脂(B)的25mol％～60mol％，第二单体单元(B-2)可占树脂(B)的5mol％以上，例如5～65mol％。
根据一些实施例，树脂(B)可更包括第三单体单元(B-3)，第三单体单元(B-3)具有N-苯基马来酰亚胺官能基。举例而言，第三单体单元(B-3)可占树脂(B)的10mol％～30mol％，较佳地约为10mol％。
根据一些实施例，树脂(B)可更包括第四单体单元(B-4)，第四单体单元(B-4)具有甲基丙烯酸甲酯。举例而言，第四单体单元(B-4)可占树脂(B)的0mol％～50mol％，较佳地约为10mol％～20mol％。
根据一些实施例中，着色剂(A)的颜料(A-1)没有特别的限定，可使用公知的颜料，例如，可举例如色指数(The Society of Dyers and Colourists出版)中被分类成颜料(pigment)的化合物。
举例而言，颜料(A-1)可以是C.I.颜料黄1(以下，省略C.I.颜料黄的记载，仅列出编号)、3、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、83、86、93、94、109、110、117、125、128、137、138、139、147、148、150、153、154、166、173、194、214等的黄色颜料；C.I.颜料橙13、31、36、38、40、42、43、51、55、59、61、64、65、71、73等的橙色颜料；C.I.颜料红9、97、105、122、123、144、149、166、168、175、176、177、180、192、209、215、216、224、242、254、255、264、265等的红色颜料；C.I.颜料蓝15、15：3、15：4、15：6、60、80等的蓝色颜料；C.I.颜料紫1、19、23、29、32、36、38等的紫色颜料；C.I.颜料绿7、36、58等的绿色颜料；C.I.颜料棕23、25等的棕色颜料；C.I.颜料黑1、7等的黑色颜料等。前述颜料可单独使用，或可混合2种以上而使用。
根据一些实施例中，着色剂(A)的染料(A-2)可举例如油溶性染料、酸性染料、碱基性染料、直接染料、媒染染料、酸性染料的胺盐或酸性染料的磺酰胺衍生物等的染料，可举例如以色指数(The Society of Dyers and Colourists出版)分类成染料的化合物，或染色笔记本(色染社)所记载的公知的染料。又，根据化学构造，可举例如偶氮染料、花青素染料(cyanine dye)、三苯基甲烷染料(triphenylmethane dye)、氧杂葱酮染料(xanthene dye)、酞菁染料(phthalocyanine dye)、萘醌染料(naphthoquinone dye)、醌亚胺染料(quinoneimine dye)、次甲基染料(methine dye)、偶氮甲碱染料(azomethine dye)、方酸染料(squarylium dye)、吖啶染料(acridine dye)、苯乙烯染料(styryl dye)、香豆素染料(coumarin dye)、喹啉染料(quinoline dye)及硝基染料(nitro dye)等。前述染料中，以有机溶剂可溶性染料为佳。前述染料只要可符合所希望的彩色滤光片的分光光谱而适宜选出即可，前述染料可单独使用或并用2种以上。
根据一些实施例，染料(A-2)占感光性树脂组成物的0.1～50wt％，染料(A-2)较佳地可以是氧杂葱酮染料。
根据一些实施例，光聚合单体(C)为可通过光聚合引发剂(D)产生的活性自由基及/或酸而聚合的单体，例如是但不限于具有可聚合性的乙烯性不饱和键，像是(甲基)丙烯酸酯化合物。在此，使用括号来叙述的化合物，意味着包括括号内文字存在与不存在的情况，例如前述的(甲基)丙烯酸酯化合物，囊括丙烯酸酯化合物、和甲基丙烯酸酯化合物的情形。举例来说，光聚合单体(C)可包括但不受限于选自于由下列选项所组成的群组中的至少一者：丙烯酸壬基苯基卡必醇酯、丙烯酸2-羟基-3-苯氧基丙酯、丙烯酸2-乙基己基卡必醇酯、丙烯酸2-羟基乙酯、N-乙烯基吡咯酮等具有一个乙烯性不饱和键的聚合性化合物；二(甲基)丙烯酸1,6-己烷二醇酯、二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、二(甲基)丙烯酸三乙二醇酯、双酚A的双(丙烯酰氧基乙基)醚、二(甲基)丙烯酸3-甲基戊烷二醇酯等具有二个乙烯性不饱和键的聚合性化合物；以及三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙烷酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、八(甲基)丙烯酸三季戊四醇酯、三季戊四醇七(甲基)丙烯酸酯、十(甲基)丙烯酸四季戊四醇酯、九(甲基)丙烯酸四季戊四醇酯、三(2-(甲基)丙烯酰氧基乙基)异氰酸酯、四(甲基)丙烯酸乙二醇改性季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸乙二醇改性二季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸丙二醇改性季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸丙二醇改性二季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸己内酯改性季戊四醇酯、六(甲基)丙烯酸己内酯改性二季戊四醇酯等具有三个乙烯性不饱和键的聚合性化合物。在一些实施方案中，光聚合单体(C)较佳地为具有三个乙烯性不饱和键的聚合性化合物。
根据一些实施例，光聚合引发剂(D)可为任何能够通过光或热的作用而产生活性自由基、酸等，进而使得聚合开始的化合物。举例来说，光聚合引发剂(D)可包括但不受限于选自于由下列选项所组成的群组中的至少一者：O-酰基肟(O-acyloxime)化合物、烷基苯基酮化合物、双咪唑化合物、三嗪化合物、酰基膦氧化物(acyl phosphine oxide)、安息香化合物、二苯基酮化合物、醌系化合物、10-丁基-2-氯吖啶酮、苄基或苯基甲酰甲酸甲酯、和环戊二烯钛(titanocene)化合物。在一些实施方案中，光聚合引发剂(D)较佳地包括选自于由下列选项所组成的群组中的至少一者：O-酰基肟化合物、烷基苯基酮化合物、双咪唑化合物、三嗪化合物、和酰基膦氧化物。举例来说，在以O-酰基肟化合物作为光聚合引发剂(D)的情况，可使用OXE-01(BASF公司)、OXE-02(BASF公司)、N-1919(ADEKA公司)等市售商品。
根据一些实施例，溶剂(E)可包括但不受限于选自于由下列选项所组成的群组中的至少一者：酯溶剂(在此意指于分子中含有-COO-但不含-O-的溶剂)、醚溶剂(在此意指于分子中含有-O-但不含-COO-的溶剂)、醚酯溶剂(在此意指于分子中含有-COO-及-O-的溶剂)、酮溶剂(在此意指于分子中含有-CO-但不含-COO-的溶剂)、醇溶剂(在此意指于分子中含有OH但不含-O-、-CO-及-COO-的溶剂)、芳香族烃溶剂、酰胺溶剂、二甲基亚砜等。
一些实施例中，相对于100重量份的所述树脂，所述着色剂为1重量份～50重量份，所述光聚合单体为1重量份～5重量份，所述光聚合引发剂为1重量份～3重量份，所述溶剂为1重量份～41重量份。
根据一些实施例，感光性树脂组成物还可包括调平剂、聚合起始助剂、填充剂、密着促进剂、抗氧化剂、光安定剂、链移动剂等其他添加剂，但不受限于此。
本发明的另一实施例是关于一种彩色光阻结构，其可由根据前述任一实施例的感光性树脂组成物所形成。具体来说，此彩色光阻结构为蓝色的光阻结构。举例来说，根据前述任一实施例的感光性树脂组成物可通过光微影法、喷墨法、或印刷法等方法形成所述彩色光阻结构，但不受限于此。
以下叙述使用光微影法的例子。首先，将根据前述任一实施例的感光性树脂组成物涂布于基板上。根据一些实施例，所述基板可为玻璃、金属、或塑料等材质的板状或薄膜状基板，并且可预先在其上形成其他光阻结构、各种绝缘或导电膜、和/或驱动电路等元件。根据一些实施例，感光性树脂组成物可通过旋转涂布机、狭缝旋转涂布机、狭缝涂布机(也称为压铸模涂布机(die coater)、帘淋涂布机(curtain flow coater)、或非旋转式涂布机(spinless coater))、或喷墨机等涂布装置加以涂布。
接着，感光性树脂组成物在基板上干燥。具体来说，此一步骤可以是自然干燥、通风干燥、减压干燥、加热干燥(也称为预烘烤)等干燥方式中的任一种、或者多种方式配合进行。干燥的温度可落在10℃～120℃的范围内，较佳地是落在25℃～100℃的范围内。如果进行加热，加热的时间可落在10秒～60分钟的范围内，较佳地是落在30秒～30分钟的范围内。如果进行减压干燥，可采用50帕(Pa)～150帕的压力，以及20℃～25℃的温度范围。在一些实施例中，干燥后的感光性树脂组成物具有0.1微米(μm)～20微米、较佳地是1微米～6微米的膜厚，并可依照所使用的材料和用途加以调整。
之后，再以曝光和显影得到图形，其可作为所述彩色光阻结构。在一些实施例中，在使用光罩进行曝光后，是通过显影移除未曝光的部分而得到图形。在另一些实施例中，在使用光罩进行曝光后，是通过显影移除曝光的部分而得到图形。
在曝光的步骤中，可使用水银灯、发光二极管、金属卤素灯、卤素灯等光源，并利用例如是波长落在250纳米～450纳米的范围内的光。在一些实施例中，以滤波器剪切除去波长小于350纳米的光。在一些实施例中，以带通滤波器选择性地取出波长在436纳米附近、408纳米附近、或365纳米附近的光。在一些实施例中，可使用光罩对准曝光机、步进器等装置，以均匀地对整个曝光面照射平行光线，和/或精确地对准屏蔽和基材。光罩的图案可依照需求加以设计。
在显影的步骤中，可使用有机溶剂、碱性化合物的水溶液等显影液，使得预定的部分(例如未曝光的部分)溶解、移除，由此得到图形。在一些实施例中，使用碱性化合物的水溶液作为显像液特别有助于得到形状良好的图形。根据一些实施例，显影液可为无机碱性化合物的水溶液、或有机碱性化合物的水溶液，其浓度例如是落在0.01wt％～10wt％的范围内，较佳地是落在0.03wt％～5wt％的范围内。所述无机碱性化合物的水溶液包括但不受限于选自于由下列选项所组成的群组中的至少一者的水溶液：氢氧化钠、氢氧化钾、磷酸氢二钠、磷酸二氢钠、磷酸氢二铵、磷酸二氢铵、磷酸二氢钾、硅酸钠、硅酸钾、碳酸钠、碳酸钾、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硼酸钠、硼酸钾、和氨。所述有机碱性化合物的水溶液包括但不受限于选自于由下列选项所组成的群组中的至少一者的水溶液：四甲基铵氢氧化物、2-羟基乙基三甲基铵氢氧化物、单甲基胺、二甲基胺、三甲基胺、单乙基胺、二乙基胺、三乙基胺、单异丙基胺、二异丙基胺、乙醇胺。在一些实施方案中，显影液较佳地为氢氧化钾、碳酸氢钠、和/或四甲基铵氢氧化物的水溶液。在一些实施例中，所述碱性化合物的水溶液还可包括界面活性剂，其浓度例如是落在0.01wt％～10wt％的范围内，较佳地是落在0.05wt％～8wt％的范围内，更佳地是落在0.1wt％～5wt％的范围内。所述界面活性剂包括但不受限于选自于由下列选项所组成的群组中的至少一者：聚氧乙烯烷基醚、聚氧乙烯芳基醚、聚氧乙烯烷基芳基醚、其他聚氧乙烯衍生物、氧乙烯/氧基丙烯嵌段共聚物、山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐脂肪酸酯、聚氧乙烯山梨糖醇脂肪酸酯、丙三醇脂肪酸酯、聚氧乙烯脂肪酸酯、聚氧乙烯烷基胺等非离子系界面活性剂；月桂基醇硫酸酯钠、油醇硫酸酯钠、月桂基硫酸钠、月桂基硫酸铵、十二基苯磺酸钠、十二基萘磺酸钠等阴离子系界面活性剂；以及硬脂酰基胺盐酸盐、月桂基三甲基铵氯化物等阳离子系界面活性剂。显影液可通过桨式搅拌法、浸渍法、喷雾法等方法提供到基材上。并且，在一些实施方案中，显影时可将基材倾斜任意角度。根据一些实施例，在显影后可进行水洗的步骤。
本发明的再一实施例是关于一种显示器，其可包括前述的彩色光阻结构。举例来说，所述显示器可包括由前述彩色光阻结构所构成的彩色滤光片，但不受限于此。根据一些实施例，所述显示器可为液晶显示器、电致发光显示器、或电浆显示器等显示器。
以下，本发明将提供数个实施例和比较例，以更具体地说明根据本发明实施例的感光性树脂组成物可达成的功效。
[实施例1]
使用前述第一单体单元(B-1)占40mol％、前述第二单体单元(B-2)占50mol％、以及前述具有N-苯基马来酰亚胺官能基的第三单体单元(BZMI)占10mol％。使用C.I.颜料蓝15：6和前述氧杂葱酮染料作为着色剂(C.I.颜料蓝15：6和氧杂葱酮染料的重量比例为90：10)。使用六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯(DPHA)作为光聚合单体。使用OXE-01(BASF公司)作为光聚合引发剂。使用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)作为溶剂。以着色剂占50wt％、树脂占1wt％、光聚合单体占5wt％、光聚合引发剂占3wt％、溶剂占41wt％的比例配制成感光性树脂组成物。将配制完成的感光性树脂组成物以旋涂法涂布于5公分*5公分的玻璃基板(Eagle2000，Corning公司)上。于100℃预烘烤3分钟。放置冷却后，使基板和石英玻璃制光罩间隔100微米，使用曝光机(TME-150RSK，TOPCON(股)制)于大气环境气氛下以150mJ/cm2的曝光量(365nm基准)进行光照射，其中所述光罩上具有100微米线宽与线距(line and space)的图形。在光照射后，在含有非离子系界面活性剂0.12％与氢氧化钾0.04％的水系显影液中于24℃浸渍显影60秒，然后水洗。接着在烘箱中于230℃后烘烤30分钟，得到彩色光阻结构的样品。将前述制备完成的玻璃量测色度后，接着浸泡至65℃、100％的N-甲基吡咯酮(NMP)溶液内5分钟后，再以色度机量测玻璃的色度，并且计算浸泡前后的色度的ΔEab。(ΔEab＝((L*-L*)^2+(a*-a*)^2+(b*-b*)^2)^(1/2))
[实施例3]
使用前述第一单体单元(B-1)占35mol％、前述第二单体单元(B-2)占35mol％、前述具有N-苯基马来酰亚胺官能基的第三单体单元(BZMI)占10mol％、以及前述具有甲基丙烯酸甲酯的第四单体单元(MAA)占20mol％的树脂。其他条件如实施例1、依照实施例1所述的方法制成样品并进行观察。
[实施例2]、[实施例4]～[实施例10]
使用根据表1的摩尔比例的前述第一单体单元(B-1)、前述第二单体单元(B-2)、前述具有N-苯基马来酰亚胺官能基的第三单体单元(BZMI)、及/或前述具有甲基丙烯酸甲酯的第四单体单元(MAA)的树脂。其他条件如实施例1、依照实施例1所述的方法制成样品并进行观察。
[比较例1]
使用具有N-苯基马来酰亚胺官能基的单体单元(BZMI)占10mol％、具有丙烯酸官能基的单体单元(AA)占10mol％、(来自丙烯酸(AA)/甲基缩水甘油酯(GMA)共聚物)具有丙烯酸官能基/甲基缩水甘油酯官能基的单体单元(AA+GMA)占50mol％以及具有乙烯基甲苯官能基的单体单元(VT)占30mol％的树脂。其他条件如实施例1。依照实施例1所述的方法制成样品并进行观察。
[比较例2]
使用具有N-苯基马来酰亚胺官能基的单体单元(BZMI)占10mol％、(来自甲基丙烯酸环己酯单体)具有甲基丙烯酸环己酯官能基的单体单元(CHMA)占55mol％、(来自甲基丙烯酸甲酯(MAA)/甲基缩水甘油酯(GMA)共聚物)具有甲基丙烯酸甲酯/甲基缩水甘油酯官能基的单体单元(MAA+GMA)占20mol％以及具有甲基丙烯酸甲酯的单体单元(MAA)占15mol％的树脂。其他条件如实施例1。依照实施例1所述的方法制成样品并进行观察。
[比较例3]
使用具有甲基丙烯酸三环官能基的单体单元(TCDMA)占10mol％、具有甲基丙烯酸苄酯官能基的单体单元(BZMA)占45mol％以及具有甲基丙烯酸甲酯/甲基缩水甘油酯官能基的单体单元(MAA+GMA)占50mol％的树脂。其他条件如实施例1。依照实施例1所述的方法制成样品并进行观察。
[结果和评价]
各实施例和比较例的成分比例和色度观察结果如表1所列，「ΔEab<3.5」表示耐溶剂性良好，「ΔEab>3.5」表示耐溶剂性不佳。如表1所示，各个由实施例的感光性树脂组成物所形成的彩色光阻结构的样品，皆具有良好耐溶剂性。
表1
表1(续)
当然，本发明还可有其它多种实施例，在不背离本发明精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。