柔性衬底基板及其制备方法、显示面板以及显示装置与流程

本申请涉及液晶显示技术领域，尤其涉及一种柔性衬底基板及其制备方法、显示面板以及显示装置。

背景技术：

现有的显示装置中，柔性衬底基板包括两个有机模层，以及设置于两个所述有机模层之间的无机膜层，一般无机膜层的厚度在1000nm以上。由于pi(polyimide，聚酰亚胺)材料具有稳定的耐化学性、耐辐射性、耐热性以及良好的介电性能被广泛的作为柔性衬底基板的有机膜层，而氧化硅、氮化硅等刚性材料被广泛作为无机膜层。

随着柔性工艺技术的发展，柔性显示器件需要能够进行弯曲、弯折等，以满足用户对柔性显示器件不同的形变要求，但是，由于现有的柔性衬底基板存在比较厚的无机膜层，在对柔性显示器件进行弯曲或弯折时，一方面，由于受到外力导致无机膜层与有机膜层剥离，另一方面，由于无机膜层与有机膜层剥离，柔性显示器件中的中性层位置偏移，无机膜层受到正反两面应力的影响，无机膜层易出现裂纹，并在释放应力或外力时，无机膜层的裂纹继续扩大，导致无机膜层发生断裂的风险以及水汽渗入到无机膜层和有机膜层之间，降低了产品的可靠性，进而影响产品的品质。

技术实现要素：

本申请提供一种柔性衬底基板及其制备方法、显示面板以及显示装置，用以解决现有技术中柔性衬底基板有机膜层与无机膜层易剥离的技术问题。

第一方面，本申请提供一种柔性衬底基板，所述柔性衬底基板包括两个有机模层，以及设置于两个所述有机模层之间的无机膜层，其中，

所述无机膜层与至少任一所述有机膜层之间接触的两个表面为互补的图案化表面；和/或，

所述无机膜层包括至少两层层叠设置的应力类型不同的无机膜。

本申请提供的实施例中，通过在柔性衬底基板的所述无机膜层与至少任一有机膜层之间接触的两个表面为互补的图案化表面，和/或所述无机膜层包括至少两层层叠设置的应力类型不同的无机膜。因此，本申请方案，不仅通过所述无机膜与至少任一有机膜层之间接触的两个表面为互补的图案化表面，增大了所述有机膜层与无机膜层的接触面积，进而增大所述有机膜层与所述无机膜层之间的粘附性，还可通过在所述无机膜层设置不同的应力类型来增大所述有机膜层与所述无机膜层之间的粘附性。

在一种可能的实施方式中，所述图案化表面具有一种图案类型或多种图案类型。

本申请提供的实施例中，在所述无机膜层与至少任一所述有机膜层之间接触的两个互补的图案化表面具有一种图案类型或多种图案类型，不仅增加了所述无机膜层或所述有机膜层表面图案化的丰富性，还可通过不同的图案类型改变所述无机膜层与所述有机膜层接触的表面的应力类型，进而提高所述无机膜层与所述有机膜层之间的粘附性。

在一种可能的实施方式中，所述图案类型包括圆形图案、菱形图案或曲线形图案。

在一种可能的实施方式中，所述图案化表面包括孤立凸起或凹槽构成的图案、或连续凸起或凹槽构成的图案。

在一种可能的实施方式中，所述图案化表面具有的不同图案类型交错排列。

本申请提供的实施例中，当所述图案化的表面具有多种不同类型的图案时，通过不同图案的交错排列，不仅调整所述无机膜层或所述有机膜层的应力类型，当所述无机膜层出现断裂时，还可阻断所述无机膜层中的裂纹的扩散。

在一种可能的实施方式中，所述无机膜层最薄位置的厚度大于预设阈值。

在一种可能的实施方式中，所述无机膜层包括层叠设置的拉应力无机膜和压应力无机膜。

第二方面，本申请提供一种柔性衬底基板的制备方法，所述制备方法，包括：

在刚性衬底基板上依次制备第一有机膜层、无机膜层和第二有机膜层；

其中，在制备第一有机膜层时，对所述第一有机膜层的表面进行图案化处理；和/或，在制备无机膜层时，对所述无机膜层的表面进行图案化处理；和/或，在制备无机膜层时，至少两次沉积应力类型不同的无机膜；

去除所述刚性衬底基板，得到柔性衬底基板。

第三方面，本申请提供一种显示面板，所述显示面板包括第一方面所述的柔性衬底基板，以及位于所述柔性衬底基板上的功能器件。

第四方面，本申请提供一种显示装置，所述显示装置包括第三方面所述的显示面板。

附图说明

图1为本申请实施例所提供的一种柔性衬底基板的结构示意图；

图2为本申请实施例所提供的一种图案化表面的有机膜层和无机膜层的剖面示意图；

图3为本申请实施例所提供的一种图案化表面的有机膜层和无机膜层的剖面分离示意图；

图4a为本申请实施例所提供一种图案化表面的俯视图；

图4b为本申请实施例所提供的一种图案化表面的俯视图；

图4c为本申请实施例所提供的一种图案化表面的俯视图；

图5a为本申请实施例所提供的一种圆形图案类型的俯视图；

图5b为本申请实施例所提供的另一种圆形图案类型的俯视图；

图5c为本申请实施例所提供的一种菱形图案类型的俯视图；

图5d为本申请实施例所提供的一种曲线形图案类型的俯视图；

图5e为本申请实施例所提供的另一种曲线形图案类型的俯视图；

图6为本申请实施例所提供的一种柔性衬底基板剖面结构示意图；

图7为本申请实施例所提供的一种柔性衬底基板的结构示意图；

图8为本申请实施例所提供的一种柔性衬底基板制备方法的流程图。

附图标号：1-有机膜层；2-无机膜层；3-第二无机膜层；4-金属线层；5-无机膜层最薄位置；11-第一有机膜层；12-第二有机膜层；21-拉应力无机膜；22-压应力无机膜。

具体实施方式

本申请实施例提供的方案中，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。

为了更好的理解上述技术方案，下面通过附图以及具体实施例对本申请技术方案做详细的说明，应当理解本申请实施例以及实施例中的具体特征是对本申请技术方案的详细的说明，而不是对本申请技术方案的限定，在不冲突的情况下，本申请实施例以及实施例中的技术特征可以相互组合。

本申请提供了一种柔性衬底基板及其制备方法、显示面板及显示装置，用于提高柔性衬底基板有机膜层与无机膜层的粘附性，避免有机膜层与无机膜层易剥离的问题，进一步提高了产品的品质。

下面结合附图，对本申请实施例提供的一种柔性衬底基板及其制备方法、显示面板及显示装置的具体实施方式进行详细地说明。

附图中各膜层的厚度和形状不反映真实比例，目的只是示意说明本申请内容。

参见图1，本申请实施例提供的一种柔性衬底基板，所述柔性衬底基板包括两个有机模层1，以及设置于两个所述有机模层1之间的无机膜层2。应理解，柔性衬底基板除了包括两个有机膜层1和设置于两个所述有机模层1之间的无机膜层2，在柔性衬底基板中在第二有机膜层12远离所述无机膜层2的表面上贴附设置第二无机膜层3以及在所述第二无机膜层3远离第二有机膜层12的表面设置金属线层4，本申请实施例中，第二无机膜层3以及金属线层4的设置方式以及材料与现有技术类似，在此不做限制。

为了避免柔性衬底基板在弯曲或弯折时，有机膜层1与无机膜层2剥离，导致无机膜层发生断裂的风险以及水汽渗入到无机膜层和有机膜层之间，降低了产品的可靠性，进而影响产品的品质，本申请实施例可以通过多种方式来增强有机膜层1与无机膜层2之间的粘附性。

具体的，如图2所示，在所述无机膜层2与至少任一所述有机膜层1之间接触的两个表面为互补的图案化表面；和/或，所述无机膜层2包括至少两层层叠设置的应力类型不同的无机膜。

上述柔性衬底基板包括有机膜层1和无机膜层2，其中，有机膜层包括第一有机膜层11和第二有机膜层12，在第一有机膜层11和第二有机膜层12之间设置无机膜层2，且无机膜层2分别于第一有机膜层11和第二有机膜层12接触，将无机膜层2与第一有机膜层11或第二有机膜层12至少任一有机膜层之间接触的两个表面图案化处理得到互补的图案化表面，即无机膜层2与第一有机膜层11或第二有机膜层12之间的接触面积增大；和/或，无机膜层2包括至少两层层叠设置的应力类型不同的无机膜21和22，其中，所述无机膜21为拉应力无机膜，所述无机膜22为压应力无机膜。

因此，在上述柔性衬底基板中，在所述无机膜层与至少任一所述有机膜层之间接触的两个表面为互补的图案化表面；和/或，无机膜层2包括至少两层层叠设置的应力类型不同的有机膜，有利于提高无机膜层和有机膜层之间的粘附性。

为了便于理解，下面结合图3、图4a、图4b以及图4c以无机膜层2与至少任一有机膜层1之间接触的两个表面为互补的图案化表面为例来说明如何提高有机膜层1与无机膜层2之间的粘附性。

具体的，柔性衬底基板中两个有机膜层1包括第一有机膜层11和第二有机膜层12，无机膜层2设置于两个有机膜层1之间，无机膜层2与第一有机膜层11以及第二有机膜层12接触，无机膜层2与第一有机膜层11之间接触的两个表面可以为互补图案化的表面，可以是无机膜层2与第二有机膜层12之间接触的两个表面为互补图案化的表面，也可以是无机膜层2与第一有机膜层11以及无机膜层2与第二有机膜层12之间接触的表面均为互补图案化的表面。

例如，如图3所示，无机膜层2与第一有机膜层11之间接触的两个表面为互补的图案化表面，无机膜层2图案化的表面为孤立凸起构成的图案，第一有机膜层11图案化的表面为也为孤立凸起构成的图案，无机膜层2中任一孤立凸起与第一有机膜层11对应位置的多个孤立凸起围成的凹槽相互补，进而增大无机膜层2与第一有机膜层11之间的接触面积，提高无机膜层2与第一有机膜层11之间的粘附性。

当无机膜层2与至少一个有机膜层1之间接触的两个表面为互补的图案化表面时，可以在所述图案化的表面设置一种图案类型，也可设置多种图案类型，即所述图案化表面具有一种图案类型或多种图案类型。

具体的，无机膜层2和至少任一有机膜层1之间接触的两个表面进行图案化处理，而无机膜层2或有机膜层1表面进行图案化处理的方式有多种，例如，光刻法、湿法腐蚀法或干法腐蚀等，此处不做限制，所述有机膜层1或所述无机膜层2通过图案化处理得到一种图案类型的表面或多种图案类型的表面。例如，图4a、图4b以及图4c所示。

当任一图案化的表面同时具有多种图案类型时，在进行图案化处理的过程中，可以将相同类型的图案刻蚀在相邻的区域，也可以将相邻的区域刻蚀不同类型的图案，以使得不同图案类型交错排列，而在无机膜层2的表面刻蚀不同的图案类型时，由于不同图案类型能够改变无机膜层2不同位置的应力，进而调整无机膜层2的应力类型，当无机膜层2与有机膜层1接触时，在无机膜层2应力的作用下，使得有机膜层1向所述无机膜层2靠近，进而增强无机膜层2与有机膜层1之间的粘附性。

例如，如图4c所示，在所述无机膜层2与有机膜层1接触的至少一个图案化的表面具有椭圆形以及圆形交错排列图案，所述椭圆形或圆形的图案可以是凸起，也可以是凹槽，在无机膜层2的表面图案化的过程中，通过在不同的位置设置不同的图案类型，来改变无机膜层2不同位置的应力，进而改变无机膜层2对有机膜层1的应力，如有机膜层1位于无机膜层2之上，由于无机膜层2在于有机膜层1接触时，为了使得有机膜层1更紧密的贴附与无机膜层2，无机膜层2作用于有机膜层1的应力应为一个拉力，故无机膜层2应为拉应力无机膜。

进一步，无机膜层2或有机膜层1图案化表面包括孤立凸起或凹槽构成的图案、或连续凸起或凹槽构成的图案，而孤立凸起或凹槽构成的图案、或连续凸起或凹槽构成的图案又包括多种类型的图案。

具体的，所述图案化的表面由圆形凸起或凹槽组成的图案，其中，所述圆形图案可以是在所述图案化的表面上的孤立的凸起或凹槽，例如，所述圆形图案包括多种不同类型的圆形图案，如图5a、图5b所示给出了图案化表面上常见的两种圆形图案的俯视图；也可在所述无机膜层2或有机膜层1的表面进行图案化处理得到如图5c所示的菱形凹槽或凸起；还可在所述无机膜层2或有机膜层1的表面进行图案化处理得到连续曲线凸起或凹槽，例如，如图5d、图5e所示，连续曲线凸起或凹槽包括连续弯折形曲线凸起或凹槽，或连续的s形曲线凸起或凹槽。

参见图6，当无机膜层2与第一有机膜层11以及第二有机膜层12接触的两个表面均为图案化的表面，且无机膜层2的两个图案化的表面均为孤立或连续的凸起时，为了保证第一有机膜层11与第二有机膜层12之间水氧隔绝的效果，在无机膜层2最薄位置的厚度大于预设的阈值，使得第一有机膜层11和第二有机膜层不接触，其中，无机膜层2最薄位置应为图6中标号为5所示的位置。

为了便于理解，下面以无机膜层2包括至少两层层叠设置的应力类型不同的无机膜为例来说明如何提高有机膜层1与无机膜层2之间的粘附性。

具体的，参见图7所示，无机膜层2包括层叠设置的拉应力无机膜21和压应力无机膜22。在无机膜层2制备的过程中，至少进行两次沉积形成拉应力无机膜21和压应力无机膜层22，其中，拉应力无机膜21与第一有机膜层11接触，拉应力无机膜21中的拉应力使得拉应力无机膜21与第一有机膜层11的粘附性增强，压应力无机膜22与第二有机膜层12接触，压应力无机膜层22中的压应力使得压应力无机膜22与第二有机膜层12的粘附性增强。应理解，柔性衬底基板中可以通过无机膜层2与至少任一有机膜层1之间接触的两个表面为互补的图案化表面以及无机膜层2包括至少两层层叠设置的应力类型不同的无机膜，来提高有机膜层1与无机膜层2的粘附性。

基于同一发明构思，本申请提供一种柔性衬底基板的制备方法，参见图8，所述制备方法，包括：

步骤801，在刚性衬底基板上依次制备第一有机膜层、无机膜层和第二有机膜层；

其中，在制备第一有机膜层时，对所述第一有机膜层的表面进行图案化处理；和/或，在制备无机膜层时，对所述无机膜层的表面进行图案化处理；和/或，在制备无机膜层时，至少两次沉积应力类型不同的无机膜。

步骤802，去除所述刚性衬底基板，得到柔性衬底基板。

具体的，在刚性衬底基板上涂覆聚酰亚胺溶液，并将所述溶液进行热固化处理，一般加热到300摄氏度时，所述聚酰亚胺溶液即可固化，形成第一有机膜层，然后，对所述第一有机膜层远离所述刚性衬底基板一侧的表面进行图案化处理，图案化处理的方式包括多种，例如，光刻腐蚀、湿法腐蚀以及干法腐蚀等，再在所述第一有机膜层图案化处理后的表面涂覆无机膜层，其中，所述无机膜层可以采用一次沉积得到一种类型的无机膜层，也可以采用多次沉积得到多种不同应力类型的无机膜，将所述多种无机膜层叠设置得到无机膜层，在对所述无机膜层远离第一有机膜层的表面进行图案化处理，并在图案化处理后的无机膜层表面继续涂覆聚酰亚胺溶液，并采用如第一有机膜层相同的制备方法得到第二有机膜层，最后，去除所述刚性衬底基板，得到柔性衬底基板。

基于同一发明构思，本申请提供一种显示面板，所述显示面板包括上述的柔性衬底基板，以及位于所述柔性衬底基板上的功能器件。该位于所述柔性衬底基板上的功能器件包括显示器件、驱动器件以及发光器件等。

基于同一发明构思，本申请提供一种显示装置，所述显示装置包括上述的显示面板。该显示装置可以为：手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。该显示装置的实施可以参见上述显示面板的实施例，重复之处不再赘述。

显然，本领域的技术人员可以对本申请进行各种改动和变型而不脱离本申请的精神和范围。这样，倘若本申请的这些修改和变型属于本申请权利要求及其等同技术的范围之内，则本申请也意图包含这些改动和变型在内。