用于形成层的掩模和形成层的方法
【技术领域】
[0001] 所描述的技术总体上涉及一种用于形成层的掩模、一种形成层的方法和一种有机 发光二极管（OLED)显示器的制造方法。
【背景技术】
[0002] 诸如液晶显示器（IXD)、有机发光二极管（OLED)显示器和电泳显示器的显示器包 括场产生电极和电光活性层。LCD包括作为电光活性层的液晶层。OLED显示器包括作为电 光活性层的有机发光层。电泳显示器包括带电粒子。场产生电极通过连接到诸如薄膜晶体 管的开关元件来接收数据信号，电光活性层通过将数据信号转换为光信号来显示图像。
[0003] 在上述显示装置中，OLED装置是自发射的，因此不需要单独的光源。OLED显示器 具有有利的特性，例如较低的功耗、快速响应速度、宽视角和良好的对比度。
[0004] OLED装置包括诸如红色像素、蓝色像素和绿色像素的多个像素。可以通过将像素 进行组合来显示其它颜色。每个像素包括有机发光元件和多个薄膜晶体管，以驱动像素。
[0005] 有机发光元件包括作为场产生电极的像素电极和共电极以及形成在两个电极之 间的发射构件。像素电极和共电极中的一个是阳极，另一个电极是阴极。从阴极注入的电 子和从阳极注入的空穴在发光层中结合以形成激子，激子在释放能量的同时发光。发射构 件可以包括有机材料。
[0006] 各种电子装置和显示装置的制造工艺包括在基板上形成多个层图案的工艺。可以 通过诸如喷墨印刷、丝网印刷和光刻的各种方法来形成层图案。
[0007] 有机材料对空气和水非常敏感，从而不能使用在形成无机层图案中使用的普通的 平版印刷方法，尤其是光刻方法。取而代之，可以通过诸如喷墨工艺、旋转工艺、喷嘴工艺、 沉积和图案化工艺、利用阴影掩模（shadow mask)的沉积工艺和利用热或激光的转移工艺 之类的印刷工艺来形成有机层图案。
[0008] 如上所述，在形成具有图案的层的若干方法中，使用转移工艺作为以低成本且简 单地在大尺寸的基板上形成层图案的方法。
[0009] 在该【背景技术】部分中公开的上述信息仅是为了加强对所描述技术的背景的理解， 因此它可能包含不形成本领域的普通技术人员在本国已经知道的现有技术的信息。
【发明内容】
[0010] 一个发明方面是一种通过转移工艺形成的具有均匀厚度的掩模和一种形成层的 方法。
[0011] 另一方面是一种使用通过转移工艺形成的具有均匀厚度的用于形成层的掩模来 制造有机发光二极管（OLED)显示器的方法。
[0012] 另一方面是一种用于形成层的掩模，所述掩模包括设置在单元区域中的至少一个 吸光部分和至少一个反光部分，单元区域对应于形成连续层的区域，其中，单元区域中的吸 光部分和反光部分设置在彼此不同的区域处。
[0013] 另一方面是一种形成层的方法，所述方法包括：将沉积材料沉积在用于形成层的 掩模上，所述掩模包括设置在单元区域中的至少一个吸光部分和至少一个反光部分，单元 区域对应于形成连续层的区域，其中，单元区域的吸光部分和反光部分设置在彼此不同的 区域处；将掩模和目标基板对准；以及将光照射到掩模的后表面，以加热吸光部分。
[0014] 另一方面是有机发光二极管（OLED)显示器的制造方法，所述制造方法包括：将 沉积材料沉积在用于形成层的掩模上，所述掩模包括设置在单元区域中的至少一个吸光部 分和至少一个反光部分，单元区域与形成连续层的区域对应，其中，单元区域的吸光部分和 反光部分设置在彼此不同的区域处；将掩模和目标基板对准；以及将光照射到掩模的后表 面，以加热吸光部分。
[0015] 吸光部分和反光部分可以在单元区域中沿着第一方向和与第一方向不同的第二 方向中的至少一个方向交替地设置。
[0016] 还可以包括基板、设置在基板上并形成吸光部分的至少一个吸光层以及设置在基 板上并形成反光部分的至少一个反光层。
[0017] 设置在位于单元区域的边缘处的倾斜区域处的吸光层或反光层可以相对于基板 的表面向上倾斜。
[0018] 在倾斜区域中，吸光层或反光层与基板的表面的倾斜角可以在大约40度至大约 50度的范围内。
[0019] 倾斜区域的宽度可以等于或小于吸光部分或反光部分的宽度。
[0020] 还可以包括位于倾斜区域中的反光层和吸光层与基板之间的插入层，插入层的上 表面可以形成倾斜表面。
[0021] 反光层和吸光层可以位于同一层，并且可以彼此不叠置。
[0022] 反光层和吸光层可以位于不同的层，吸光层可以包括与反光层叠置的部分。
[0023] 吸光部分和反光部分中的至少一个可以是大体上四边形。
[0024] 设置在位于单元区域的边缘处的边缘区域处的吸光部分和反光部分中的至少一 个可以为包括短边和比短边长的长边的大体上矩形，设置在单元区域中的由边缘区域围绕 的中心区域处的吸光部分和反光部分中的至少一个可以为近似正方形。
[0025] 还可以包括基板、位于基板上并形成吸光部分的至少一个吸光层和位于基板上并 形成反光部分的至少一个反光层，其中，设置在位于单元区域的边缘处的倾斜区域处的吸 光层或反光层可以相对于基板的表面向上倾斜，位于边缘区域处的吸光部分或反光部分的 短边的长度可以与倾斜区域的宽度大体上相同。
[0026] 吸光部分和反光部分中的至少一个可以具有围绕单元区域的中心的带形状。
[0027] 吸光部分和反光部分中的一个可以位于单元区域的中心处，位于单元区域的中心 处的吸光部分或反光部分可以大体上为多边形。
[0028] 位于单元区域的最外侧区域处的吸光部分或反光部分的宽度可以大于位于最外 侧区域内部的吸光部分或反光部分的宽度。
[0029] 至少一个吸光部分的吸光部分可以位于单元区域的中心处，与位于中心处的吸光 部分分开的另一吸光部分可以位于单元区域的中心附近。
[0030] 位于单元区域的中心附近的吸光部分可以位于单元区域的角附近。
[0031] 还可以包括基板、位于基板上并形成吸光部分的至少一个吸光层和位于基板上并 形成反光部分的至少一个反光层，其中，设置在位于单元区域的边缘处的倾斜区域处的吸 光层或反光层可以相对于基板的表面向上倾斜，倾斜区域的内侧边界可以与位于单元区域 的中心附近的吸光部分的边缘边界近似对准。
[0032] 使用根据示例性实施例的掩模通过转移工艺形成的层厚度可以是均匀的。
[0033] 另一方面是一种用于形成层的掩模，所述掩模包括形成在掩模的单元区域的第一 区域中的至少一个吸光部分和形成在掩模的单元区域的第二区域中的至少一个反光部分。 第二区域不同于第一区域，单元区域对应于形成连续层的区域。
[0034] 在上面的掩模中，吸光部分和反光部分沿着两个不同的方向中的至少一个方向交 替地形成。上面的掩模还包括基板和形成在基板上方的具有吸光部分和反光部分的至少一 个层。在上面的掩模中，所述至少一个层的吸光部分或反光部分在单元区域的边缘处相对 于基板的表面向上倾斜。在上面的掩模中，所述至少一个层的倾斜角在大约40度至大约50 度的范围内。
[0035] 在上面的掩模中，倾斜区域的宽度大体上等于或小于吸光部分或反光部分的宽 度。上面的掩模还包括形成在单元区域的边缘和基板之间的插入层，其中，插入层的表面相 对于基板倾斜。在上面的掩模中，反光层和吸光层形成在同一层，且彼此不叠置。在上面的 掩模中，反光层和吸光层形成在不同的层，吸光层包括与反光层至少部分地叠置的部分。
[0036] 在上面的掩模中，吸光部分和反光部分中的至少一个为大体上四边形。在上面的 掩模中，设置在位于单元区域的边缘处的边缘区域处的吸光部分或反光部分为包括短边和 比短边长的长边的大体上矩形，设置在单元区域中的由边缘区域围绕的中心区域处的吸光 部分或反光部分为大体上正方形。上面的掩模还包括基板、形成在基板上方以形成吸光部 分的至少一个吸光层和形成在基板上方以形成反光部分的至少一个反光层。在上面的掩模 中，吸光层或反光层在单元区域的边缘处相对于基板的表面向上倾斜，吸光部分或反光部 分的短边的长度与倾斜部分的宽度大体上相同。
[0037] 在上面的掩模中，吸光部分和反光部分中的至少一个具有围绕单元区域的中心的 大体上带形状。在上面的掩模中，吸光部分和反光部分中的一个形成在单元区域的中心处， 并且大体上为多边形。在上面的掩模中，形成在单元区域的最外侧区域处的吸光部分或反 光部分的宽度大于形成在最外侧区域内部的吸光部分或反光部分的宽度。在上面的掩模 中，吸光部分包括形成在单元区域的中心处的第一吸光部分和与第一吸光部分分开的第二 吸光部分。
[0038] 在上面的掩模中，第二吸光部分设置为与单元区域的角相邻。上面的掩模还包括 基板、形成在基板上方以形成吸光部分的至少一个吸光层和形成在基板上方以形成反光部 分的至少一个发光层。在上面的掩模中，吸光层或反光层在单元区域的边缘处相对于基板 的表面向上倾斜，倾斜部分的内侧边界与位于单元区域的中心附近的吸光部分的边缘边界 对准。
[0039] 另一方面是一种形成层的方法，所述方法包括：将沉积材料沉积在掩模上；将掩 模与目标基板大体上对准；以及朝向掩模的后表面照射光，从而加热吸光部分。掩模包括形 成在掩模的单元区域的第一区域中的至少一个吸光部分和形成在掩模的单元区域的第二 区域中的至少一个反光部分。第二区域不同于第一区域，单元区域对应于连续层被构造为 将要形成的区域。
[0040] 在上面的方法中，吸光部分和反光部分沿两个不同的方向中的至少一个方向交替 地形成。在上面的方法中，吸光部分或反光部分在单元区域的边缘处相对于基板的表面向 上倾斜。在上面的方法中，吸光部分和反光部分中的至少一个为大体上四边形。在上面的 方法中，吸光部分和反光部分中的至少一个具有围绕单元区域的中心的大体上带形状。
[0041] 在上面的方法中，吸光部分包括形成在单元区域的中心处的第一吸光部分和与第 一吸光部分分开并相邻于单元区域的中心形成的第二吸光部分。
[0042] 另一方面是一种制造有机发光二极管（OLED)显示器的方法，所述方法包括：将沉 积材料沉积在掩模上；将掩模与目标基板大体上对准；以及朝向掩模的后表面照射光，从 而加热吸光部分。掩模包括形成在掩模的单元区域的第一区域中的至少一个吸光部分和形 成在掩模的单元区域的第二区域中的至少一个反光部分。第二区域不同于第一区域，单元 区域对应于连续的有机发光层被构造为将要形成的区域。
[0043] 在上面的方法中，吸光部分和反光部分沿着两个不同的方向中的至少一个方向交 替地形成。在上面的方法中，吸光部分或反光部分在单元区域的边缘处相对于基板的表面 向上倾斜。在上面的方法中，吸光部分和反光部分中的至少一个为大体上四边形。在上面的 方法中，吸光部分和反光部分