情况。在该情况下，铜箔层11(2)可以损伤，也可以没有损伤。另外，“铜箔层11(1) +粘接层33(1)”、“铜箔层
11(2) +粘接层33(2)”可以一起剥离，也可以一层一层剥离。另外，根据情况，粘接层33(2)可能残留在工装件IB上，但只要不是在加工品质方面成为问题的程度，则也可以残留在工装件IB上。
[0059]此外，在本实施方式中，针对使用铜箔层Il(X)及粘接层33(X)形成工装件IA的情况进行了说明，但也可以在比铜箔层Il(X)厚的铜板上层叠多层铜箔层Il(X)及粘接层33 (X)而形成工装件。
[0060]图7是表示在比铜箔层厚的铜板上层叠有多层铜箔层的情况下的工装件的结构的图。工装件IC是在比铜箔层11⑴厚的铜板50上层叠多层铜箔层11(1)?Il(N)及粘接层33(1)?33(N — I)而形成的。通过该结构，即使在由于剥离而使用最后剩下的铜箔层Il(N)进行激光加工的情况下，在最后剩下的铜箔层Il(N)的下层侧也存在铜板，因此，即使万一铜箔层Il(N)在激光加工中被贯穿，也不用担心使加工工作台3损伤。
[0061]另外，也可以将剥离一部分或全部的铜箔层11⑴及粘接层33 (X)后的铜板50再次用于工装件1C。具体而言，也可以同在剥离铜箔层Il(X)及粘接层33 (X)后的铜板上层叠新的多层铜箔层11 (X)及粘接层33 (X)，从而形成新的工装件1C。
[0062]另外，在本实施方式中，针对使用铜箔层11 (I)?Il(N)及粘接层33⑴?33 (N —I)形成工装件IA的情况进行了说明，但也可以通过层叠在印刷配线板的制造中使用的其他材料而形成工装件。
[0063]图8是表示层叠有印刷配线板用材料的情况下的工装件的结构的图。工装件ID是层叠多层印刷配线板用材料12(1)?12(3)及粘接层33 (I)?33 (2)而形成的。印刷配线板用材料12(1)?12(3)各自具有例如铜箔层、树脂层、铜箔层这3层构造。此外，构成工装件ID的印刷配线板用材料12(1)?12(3)并不限于3层，可以是2层，也可以大于或等于4层。印刷配线板用材料12 (I)?12(3)例如有带树脂的铜箔(Resin Coated Copperfoil:RCC)或耐热性玻璃布基材环氧树脂铜片层叠板(FR — 4)等。
[0064]此外，在工装件ID使用RCC或FR — 4的情况下，也可以在RCC或FR — 4的下层侧配置铜板。另外，也可以将铜箔层11⑴、RCC及FR —4中的至少2个组合。例如，也可以通过在RCC或FR — 4等印刷配线板用材料12⑴?12 (3)及粘接层33⑴?33⑵的上层侧层叠多层铜箔层Il(X)及粘接层33(X)而形成工装件。
[0065]图9是表示在印刷配线板的上层侧层叠有多层铜箔层的情况下的工装件的结构的图。工装件IE是在印刷配线板用材料12(1)?12(3)及粘接层33(1)?33 (2)的上层侧层叠多层铜箔层Il(X)及粘接层33(X)而形成的。
[0066]如上所述，根据实施方式，通过层叠多层铜箔层Il(X)及粘接层33 (X)而形成工装件1A，因此，在铜箔层Il(X)损伤的情况或在铜箔层Il(X)上堆积有加工肩的情况下，能够剥离最上层的铜箔层11 (X)及粘接层33 (X)。由此，防止加工工作台3的损伤，并且，能够容易地恢复工装件功能。另外，通过使用已有的印刷配线板的制造工序和材料，能够将工装件IA以短时间且以低成本制作。因此，能够以低成本容易地维持加工工作台用工装件即工装件IA的工装件功能。
[0067]工业实用性
[0068]如上所述，本发明涉及的加工工作台用工装件、加工工作台用工装件的制造方法以及激光加工方法适用于激光开孔加工。
[0069]标号的说明
[0070]IA?IE工装件，2被加工物，3加工工作台，11 (I) -1l(N)铜箔层，12(1)?12(3)印刷配线板用材料，15损伤部，16、31孔，20激光束，33 (I)?33 (N — I)粘接层，100激光加工装置。
【主权项】
1.一种加工工作台用工装件，其特征在于， 该加工工作台用工装件通过在激光开孔加工时载置在加工工作台上，并且，在上表面侧载置被加工物，从而配置在所述被加工物的底表面侧， 该加工工作台用工装件具有层叠部，该层叠部具有反射层，该反射层使照射至所述被加工物的激光束反射， 该层叠部是所述反射层以每层反射层可剥离的方式通过粘接层层叠为板状而形成的。
2.根据权利要求1所述的加工工作台用工装件，其特征在于， 所述反射层是铜箔层。
3.根据权利要求2所述的加工工作台用工装件，其特征在于， 在所述层叠部的下层侧配置有比所述铜箔层厚的铜板。
4.根据权利要求2所述的加工工作台用工装件，其特征在于， 在所述层叠部的下层侧配置有RCC或FR — 4。
5.根据权利要求1所述的加工工作台用工装件，其特征在于， 所述反射层是RCC或FR — 4。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的加工工作台用工装件，其特征在于， 在所述层叠部中，设置有在真空吸附所述被加工物时使用的第I孔， 所述第I孔的配置位置，与在所述加工工作台上设置并在真空吸附所述被加工物及所述层叠部时使用的第2孔的配置位置相同，或是隔着一部分的孔的位置。
7.—种加工工作台用工装件的制造方法，其特征在于， 该加工工作台用工装件的制造方法包含层叠步骤，在该步骤中，将对照射至被加工物的激光束进行反射的反射层以每层反射层可剥离的方式通过粘接层而层叠为板状。
8.根据权利要求7所述的加工工作台用工装件的制造方法，其特征在于， 所述层叠步骤具有: 将所述反射层及粘接层堆叠的堆叠步骤；以及 将堆叠后的所述反射层及粘接层在堆叠方向上加压的加压步骤。
9.根据权利要求7或8所述的加工工作台用工装件的制造方法，其特征在于， 还具有开孔步骤，在该步骤中，对所述反射层进行开孔，其开孔位置，与在激光开孔加工时载置的加工工作台上设置并在真空吸附所述被加工物及所述反射层时使用的孔的配置位置相同，或是隔着一部分孔的位置。
10.一种激光加工方法，其特征在于，包含: 第I载置步骤，在该步骤中，将加工工作台用工装件载置在加工工作台上，该加工工作台用工装件是将反射层以每层反射层可剥离的方式通过粘接层层叠为板状而形成的，该反射层对照射至被加工物的激光束进行反射； 第2载置步骤，在该步骤中，在所述加工工作台用工装件的上表面侧载置被加工物；激光加工步骤，在该步骤中，向所述被加工物照射激光束而对所述被加工物进行开孔加工；以及 剥离步骤，在该步骤中，在所述加工工作台用工装件损伤的情况或在所述加工工作台用工装件上堆积有加工肩的情况下，将所述加工工作台用工装件的最上层即反射层及粘接层剥离。
【专利摘要】一种加工工作台用工装件(1A)，其为了以低成本容易地维持工装件功能，而在激光开孔加工时载置在加工工作台(3)上，该加工工作台用工装件(1A)在上表面侧载置被加工物(2)，从而配置在所述被加工物(2)的底表面侧，而且具有层叠部(15)，该层叠部(15)具有反射层，该反射层使照射至所述被加工物(2)的激光束(20)反射，该层叠部(15)是所述反射层以每层反射层可剥离的方式通过粘接层(33)层叠为板状而形成的。
【IPC分类】B23K26-064, B23K26-70, B23K26-082, B23K26-382
【公开号】CN104755220
【申请号】CN201380012396
【发明人】冈本恭平
【申请人】三菱电机株式会社
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年10月18日
【公告号】WO2015056349A1