一种Sn-Si靶材的制作方法

文档序号:3345390阅读:199来源:国知局
专利名称:一种Sn-Si靶材的制作方法
技术领域
本发明属于靶材技术领域,涉及一种用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜 的Sn-Si靶材。
背景技术
对溅射类镀膜,简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子 团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。溅射镀膜又分为很多种,总体看,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要 参数之一。溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均勻性容易保持,而原子尺度的厚度均勻 性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。以Pld为例,因素主 要有靶材与基片的晶格匹配程度、镀膜氛围(低压气体氛围)、基片温度、激光器功率、脉冲 频率和溅射时间,对于不同的溅射材料和基片,最佳参数需要实验确定,是各不相同的,镀 膜设备的好坏主要在于能否精确控温,能否保证好的真空度,能否保证好的真空腔清洁度。现有的溅射靶材有金属靶材如钛靶Ti、铝靶Al、锡靶Su、铪靶Hf、铅靶1 等;有 合金靶材如铁钴靶i^eCo、铝硅靶AlSiJi--TiSi ;有陶瓷靶材如一氧化硅靶SiO、二 氧化硅靶Si02、二氧化钛靶Ti02,三氧化二钇靶Y203、五氧化二钒靶V205、五氧化二钽靶 Ta205。上述靶材价格高,耐磨性能差。

发明内容
为了克服现有技术的上述缺点,本发明提供一种制作工艺简单、制作成本低、耐磨 性能好、应用范围广的Sn-Si靶材。本发明解决其技术问题所采用的技术方法是一种Sn-Si靶材,它是一种用于生 产氧化物、氮化物和碳化物薄膜的Sn-Si靶材,它的化学组分和重量配比是Sn为5-95%、Si 为 95-5%。上述一种Sn-Si靶材的制备方法是,按照上述重量配比称取Sn粉末和Si粉末,将 粒度范围为O-IOOOum的Sn粉末与Si粉末进行混合均勻后,在真空状况下或氮气或氩气或 含碳原子的气体中进行烧结,烧结温度为150-600°C,经烧结后制得Si-SiC靶材成品。本发明的有益效果是采用Sn以及Si为原料生产Sn-Si靶材,具有制作工艺简 单、制作成本低、耐磨性能好、应用范围广的优点。
具体实施例方式
下面结合实施例对本发明进一步说明。实施例1 称取重量比5%Sn粉末和重量比95%Si粉末,将粒度范围为0_200um的 Sn粉末与Si粉末进行混合均勻后,在真空状况下进行烧结,烧结温度为550°C,经烧结后制 得Si-SiC靶材成品。所制得的Sn-Si靶材密度高,能够用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜。
实施例2 称取重量比50%Sn粉末和重量比50%Si粉末,将粒度范围为O-IOOOum的 Sn粉末与Si粉末进行混合均勻后,在真空状况下进行烧结,烧结温度为350°C,经烧结后制 得Si-SiC靶材成品。所制得的Sn-Si靶材密度高,能够用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜。实施例3 称取重量比75%Sn粉末和重量比25%Si粉末,将粒度范围为0_800um的 Sn粉末与Si粉末进行混合均勻后,在真空状况下进行烧结,烧结温度为300°C,经烧结后制 得Si-SiC靶材成品。所制得的Sn-Si靶材密度高,能够用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜。实施例4 称取重量比95%Sn粉末和重量比5%Si粉末,将粒度范围为0_600um的 Sn粉末与Si粉末进行混合均勻后,在氮气或氩气或含碳原子的气体中进行烧结,烧结温度 为180°C,经烧结后制得Si-SiC靶材成品。所制得的Sn-Si靶材密度高,能够用于生产氧化 物、氮化物和碳化物薄膜。本发明采用Sn以及Si为原料生产Sn-Si靶材,具有制作工艺简单、制作成本低、 耐磨性能好、应用范围广的优点。
权利要求
1.一种Sn-Si靶材,其特征在于它是一种用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜的 Sn-Si靶材,它的化学组分和重量配比是Sn为5-95%、Si为95_5%。
2.制备如权利要求1所述的Sn-Si靶材的方法,其特征是按照上述重量配比称取Sn 粉末和Si粉末,将粒度范围为O-IOOOum的Sn粉末与Si粉末进行混合均勻后,在真空状 况下或氮气或氩气或含碳原子的气体中进行烧结,烧结温度为150-600°C,经烧结后制得 Si-SiC靶材成品。
全文摘要
本发明涉及一种Sn-Si靶材,它是一种用于生产氧化物、氮化物和碳化物薄膜的Sn-Si靶材,它的化学组分和重量配比是Sn为5-95%、Si为95-5%。本发明采用Sn以及Si为原料生产Sn-Si靶材,具有制作工艺简单、制作成本低、耐磨性能好、应用范围广的优点。
文档编号C23C14/06GK102146555SQ20111009835
公开日2011年8月10日 申请日期2011年4月20日 优先权日2011年4月20日
发明者文宏福 申请人:韶关市欧莱高新材料有限公司
网友询问留言 已有0条留言
  • 还没有人留言评论。精彩留言会获得点赞!
1