专利名称：一种用于光掩膜板的抛边设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种抛边装置，尤其是涉及一种用于光掩膜板的抛边设备。
背景技术：
光掩膜板是半导体行业芯片光刻的基板。而光掩膜板的基板原先均由日本垄断生产，其加工要求十分精密，除了玻璃基板的平面度、平行度、表面光洁度外，对外形的倒边抛光要求更是难度高，劳动强度大，而且产能很低，阻碍了玻璃基板的加工
实用新型内容
本实用新型的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种结构简单、设备成本低的用于光掩膜板的抛边设备。本实用新型的目的可以通过以下技术方案来实现—种用于光掩膜板的抛边设备，其特征在于，包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构，所述的机架固定在机座上，所述的靠模机构位于机架的一侧，所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上，所述的磨轮设在电机的正下方。所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨，所述的靠模滑轨安装于机架的一侧，所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上，所述的靠模安装在靠模滑板上。所述的靠模为90°靠模。所述的支撑结构包括滑板和滑轨，所述的滑板与滑轨水平滑动连接，所述的电机和磨轮安装在滑板上。与现有技术相比，本实用新型通过靠模的方式来实现对产品的加工，结构简单，设备成本低，操作简单，产品加工精度高。
图I为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明。如图I所不,一种用于光掩膜板的抛边设备,包括机座I、机架2、电机3、磨轮4、靠模机构5和支撑结构6。机架2固定在机座I上；靠模机构5位于机架2的一侧,包括靠模7、靠模滑板8、靠模滑轨9，靠模滑轨9，靠模滑板8可滑动的水平安装在靠模滑轨9上，靠模7为90°靠模，安装在靠模滑板8上；支撑结构6位于机架2的另一侧,包括滑板10和滑轨11，滑板10与滑轨11水平滑动连接，电机3和磨轮4安装在滑板10上，所述的磨轮4在电机3的正下方。
权利要求1.一种用于光掩膜板的抛边设备，其特征在于，包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构，所述的机架固定在机座上，所述的靠模机构位于机架的一侧，所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上，所述的磨轮设在电机的正下方。
2.根据权利要求I所述的一种用于光掩膜板的抛边设备，其特征在于，所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨，所述的靠模滑轨安装于机架的一侧，所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上，所述的靠模安装在靠模滑板上。
3.根据权利要求2所述的一种用于光掩膜板的抛边设备，其特征在于，所述的靠模为90°靠模。
4.根据权利要求I所述的一种用于光掩膜板的抛边设备，其特征在于，所述的支撑结构包括滑板和滑轨，所述的滑板与滑轨水平滑动连接，所述的电机和磨轮安装在滑板上。
专利摘要本实用新型涉及一种用于光掩膜板的抛边设备，包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构，所述的机架固定在机座上，所述的靠模机构位于机架的一侧，所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上，所述的磨轮设在电机的正下方；所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板、靠模滑轨，所述的靠模滑轨安装于机架的一侧，所述的靠模滑板可滑动的水平安装在靠模滑轨上，所述的靠模安装在靠模滑板上。与现有技术相比，本实用新型具有结构简单，设备成本低等优点。
文档编号B24B9/06GK202377887SQ201120375430
公开日2012年8月15日 申请日期2011年9月28日 优先权日2011年9月28日
发明者姚建明 申请人:上海双明光学科技有限公司