专利名称：低温电热膜真空镀膜设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种镀膜设备，更具体的说涉及一种低温电热膜真空镀膜设备。
背景技术：
传统电热膜都是通过高温喷涂的方式进行生产，由于电热膜的生产环境都高于 500度以上，因此，电热膜目前只能应用于耐高温的材料，如石英、玻璃、陶瓷等，限制了电热膜技术的应用。
实用新型内容本实用新型的目的是针对现有技术的不足之处，提供一种低温电热膜真空镀膜设备。为了解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下低温电热膜真空镀膜设备， 包括卷轴传动机构，所述的卷轴传动机构安装在真空炉内，所述的真空炉具有加气口、真空口，所述的真空炉内安装有多级蒸发器，所述的多级蒸发器与设置在所述真空炉外的离子电源发生器的正极连接，所述卷轴传动机构上设有与离子电源发生器的负极连接的镀膜工件。作为优选，所述多级蒸发器为四级蒸发器。作为优选，所述加气口上安装有一加气电磁阀。作为优选，所述的真空口上连接有一真空泵。本实用新型有益效果在于本实用新型采用常温真空离子溅射的方式生产电热膜，解决了电热膜的载体材料必须是耐高温材料的问题，使金属氧化电热膜的应用扩展可以使用常规材料，如塑料薄膜、塑料板，普通玻璃板。
[0009]
以下结合附图对本实用新型做进一步的说明[0010]图1为本实用新型的结构示意图。[0011]图中[0012]1-卷轴传动机构；[0013]2-真空炉，201-加气口，202-真空口 ；[0014]3-多级蒸发器；[0015]4-离子电源发生器；[0016]5-镀膜工件；[0017]6-加气电磁阀；[0018]7-真空泵。
具体实施方式
[0019]以下所述仅为本实用新型的较佳实施例，并非对本实用新型的范围进行限定。实施例，见附图1，低温电热膜真空镀膜设备，包括卷轴传动机构1，所述的卷轴传动机构1安装在真空炉2内，在轴传动机构1上设有镀膜工件5，该真空炉2具有加气口 201、真空口 202，在加气口 201上安装有一加气电磁阀6，在真空口 202上连接有一真空泵 7，用于抽真空，在真空炉2内安装有多级蒸发器3，在本实施方式中，多级蒸发器3为四级蒸发器，多级蒸发器3与设置在所述真空炉2外的离子电源发生器4的正极连接，镀膜工件 5与离子电源发生器4的负极连接，在四级蒸发器的四个蒸发源上设有氧化锡85-90%，氧化锑5-8%，氧化铁3-5%，氧化铟2-5%。工作时将成卷塑料薄膜放置在卷轴传动机构上，将蒸发源材料氧化锡，氧化碲，氧化铟，氧化铁分别置于各个蒸发源。关闭真空炉，真空口工作，真空炉内形成真空，启动离子电源发生器，分别调整各个蒸发源的蒸发强度，真空炉内形成电热膜原材料离子气体，并不断高速向上方工件(负极)运动，卷轴机构缓慢卷动成卷塑料薄膜。其离子气体不断附着在塑料薄膜上，形成电热膜层，当生产结束时，关闭电子电源发生器与卷轴传动机构，加气口开启向真空炉内注入空气，打开真空炉，取出塑料薄膜，即完成生产。
权利要求1.低温电热膜真空镀膜设备，包括卷轴传动机构(1)，其特征在于所述的卷轴传动机构(1)安装在真空炉(2)内，所述的真空炉(2)具有加气口(201)、真空口(202)，所述的真空炉(2)内安装有多级蒸发器(3)，所述的多级蒸发器(3)与设置在所述真空炉(2)外的离子电源发生器(4)的正极连接，所述卷轴传动机构(1)上设有与离子电源发生器(4)的负极连接的镀膜工件(5)。
2.根据权利要求1所述的低温电热膜真空镀膜设备，其特征在于所述多级蒸发器(3) 为四级蒸发器。
3.根据权利要求1所述的低温电热膜真空镀膜设备，其特征在于所述加气口(201)上安装有一加气电磁阀(6)。
4.根据权利要求1所述的低温电热膜真空镀膜设备，其特征在于所述的真空口(202) 上连接有一真空泵(7)。
专利摘要本实用新型公开了一种低温电热膜真空镀膜设备，包括卷轴传动机构，所述的卷轴传动机构安装在真空炉内，所述的真空炉具有加气口、真空口，所述的真空炉内安装有多级蒸发器，所述的多级蒸发器与设置在所述真空炉外的离子电源发生器的正极连接，所述卷轴传动机构上设有与离子电源发生器的负极连接的镀膜工件。本实用新型采用常温真空离子溅射的方式生产电热膜，解决了电热膜的载体材料必须是耐高温材料的问题，使金属氧化电热膜的应用扩展可以使用常规材料，如塑料薄膜、塑料板，普通玻璃板。
文档编号C23C14/34GK202322994SQ201120464338
公开日2012年7月11日 申请日期2011年11月21日 优先权日2011年11月21日
发明者邱洁华 申请人:湖州深蓝计算机科技发展有限公司