专利名称：特气管路装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及等离子体增强化学气象带电沉积设备领域，具体而言，涉及一种特气管路装置。
背景技术：
在PECVD设备生产过程中，需要特气和微波，在高频低压的工艺环境和350度的高温下将从管路通入的特气(硅烷和氨气)经过微波打成等离子状态，然后附着到硅片表面，完成工艺。如图1所示，支架2上设置有特气管I，特气管I上覆盖着特气槽4，用来保护特气槽4覆盖下特气管I的部分避免氮化硅的沉积。特气槽4的顶端弯折部上有与特气管I的特气孔位置排列一致的孔，正常情况下特气槽4的顶端弯折部是与特气管I上有特气孔的表面紧贴，但由于长时间高温变形，特气槽4上的孔远离特气管I上的特气孔，使得特气槽4保护特气管I的工艺效果降低。现有技术中的特气管路装置通过在特气槽4的U型两边位置加塞凸点卡块10来限制U型部分的张力，从而实现特气槽4固定。平时维护时只是将受热变形后的特气槽4用外力敲打保持特气槽4上的孔与特气路I上特气孔的位置对应，无法达到正常的工艺效果。而且由于长时间的使用，特气槽4变形严重，只能更换新特气槽4，特气槽4寿命急速缩减。现有技术中的特气槽4的寿命一般只在3周左右。其中，以上现有技术中的相关术语解释如下所述，PECVD:等离子体增强化学气象带电沉积，用于在硅片表面沉积一层起减反射和钝化作用的氮化硅膜。特气管1:用于在等离子体增强化学气象带电沉积中释放特殊化学气体，提供生成特气等离子体的管道。特气槽4:覆盖在特气管I表面的U型钢结构槽子，上面有与特气孔位置排列一致的孔洞，安装后可将特气管上的特气孔露出。凸点卡块10:现有技术中固定特气槽4的一种辅助材料，使用在U形特气槽4的两个侧边，靠限制特气槽4的外张力来实现固定。以上现有技术中凸点卡块是限制特气槽4的两个侧边向外张，难以限制特气槽4与特气管I需要贴紧的顶端弯折部的受热变形，从而特气槽4在长期使用后，特气槽4的顶端弯折部容易远离特气管1，即原来特气管I上的特气孔与特气槽4的孔对应贴紧的部分远离，影响正常工艺效果。而且在特气槽4的U形结构两端加入凸点卡块10限制张力的特气槽4的固定方式无法应对因特气槽4受热之后的变形，特气槽4的寿命缩短，影响正常工艺效果。
实用新型内容本实用新型旨在提供一种特气管路装置，以达到限制特气槽的与特气管上特气孔对应的部分活动或变形的目的。为了实现上述目的，本实用新型提供了一种特气管路装置，包括:特气管、用于固定支撑特气管的支架和覆盖在特气管表面的特气槽，特气槽设置有顶端弯折部，特气管路装置还包括卡接装置和固定装置，卡接装置一端固定于支架，顶端弯折部设置有与卡接装置配合的通孔，卡接装置的另一端穿过通孔与固定装置配合以限制顶端弯折部的活动或变形。进一步地，卡接装置包括固定于支架上的钢板，钢板设置有与固定装置配合的卡接孔。进一步地，钢板部分从通孔穿出，且钢板上的卡接孔至少部分位于顶端弯折部之上，使得固定装置能够穿过卡接孔与顶端弯折部远离支架的一侧表面卡接固定。进一步地，固定装置包括销钉。进一步地，销钉的一端设置有引导销钉穿过卡接孔的锥形部。进一步地，钢板与支架的底面垂直，卡接孔包括延伸方向与支架的底面垂直的长孔。进一步地，对应于每根特气管至少设置两个卡接装置。进一步地，每个卡接装置与特气管上的特气孔对应设置。应用本实用新型的技术方案，设置卡接装置和固定装置限制特气槽上的顶端弯折部，使特气槽的顶端弯折部直接受力紧贴于特气管上设置特气孔的表面，限制特气槽的活动或变形，防止特气槽远离特气管，延长特气槽的使用时间，保证特气均匀。
构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:图1为现有技术中特气管路装置的结构示意图；图2为根据本实用新型实施例中的特气管路装置的三维结构示意图；图3为图2的主视结构示意图；图4为根据本实用新型实施例中的特气管路装置的分解示意图；图5为根据本实用新型实施例中的特气管路装置的钢板结构示意图；图6为根据本实用新型实施例中的特气管路装置的销钉结构示意图。
具体实施方式
需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本实用新型。如图2至图4所示，本实用新型实施例提供了一种特气管路装置，包括:特气管1、用于固定支撑特气管I的支架2和覆盖在特气管I表面的特气槽4，特气槽4设置有顶端弯折部41。特气管路装置还包括卡接装置和固定装置，卡接装置一端固定于支架2，顶端弯折部41设置有与卡接装置配合的通孔42，卡接装置的另一端穿过通孔42并与固定装置配合以限制顶端弯折部41活动或变形。设置卡接装置和固定装置限制特气槽4上的顶端弯折部41，使特气槽4的顶端弯折部41直接受力紧贴于特气管I上设置特气孔的表面，限制特气槽4的活动或变形，防止特气槽4远离特气管I，可以延长特气槽4的使用时间，保证特气均匀。[0026]具体地，如图5所示，卡接装置包括固定于支架2上的钢板3，钢板3与支架2的底面垂直。钢板3设置有与固定装置配合的卡接孔31，卡接孔31为延伸方向与支架2的底面垂直的长孔。其中，长孔优选地为腰形孔。钢板3部分从通孔42穿出，且钢板3上的卡接孔31至少部分位于顶端弯折部41之上，使得固定装置能够穿过卡接孔31与顶端弯折部41远离支架2的一侧表面卡接固定。如图6所示，本实用新型实施例中的固定装置为销钉5，销钉5的一端设置有引导销钉5穿过卡接孔31的锥形部51。设置锥形部51，便于销钉5穿过卡接孔31，使销钉5与卡接孔31的安装更加顺利、卡接更加牢固。本实施例中与每根特气管I对应地设置有两个钢板3。每个钢板3与顶端弯折部41上的与特气管I的特气孔对应的一个开孔位置相应设置。需要说明的是，本实用新型并不限于上述实施例。例如，在特气管路装置的任意位置均可焊接设置上述钢板3，钢板3的数量也可以根据需要选择设置为三个以上，并通过在特气槽4上的顶端弯折部41上对应开设通孔42完成特气槽4的固定。本实用新型中卡接装置和固定装置均可用任意不与硅烷、氨气发生反应的耐高温硬质材料制成。从以上的描述中，可以看出，本实用新型上述的实施例实现了如下技术效果:设置卡接装置和固定装置限制特气槽上的顶端弯折部，使特气槽的顶端弯折部直接受力紧贴于特气管上设置特气孔的表面，限制特气槽的活动或变形，防止特气槽远离特气管，延长特气槽的使用时间，保证特气均匀。以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
权利要求1.一种特气管路装置，包括:特气管(I)、用于固定支撑所述特气管(I)的支架(2)和覆盖在所述特气管(I)表面的特气槽(4)，所述特气槽(4)设置有顶端弯折部(41 )，其特征在于，所述特气管路装置还包括卡接装置和固定装置，所述卡接装置一端固定于所述支架(2)，所述顶端弯折部(41)设置有与所述卡接装置配合的通孔(42)，所述卡接装置的另一端穿过所述通孔(42)与所述固定装置配合以限制所述顶端弯折部(41)的活动或变形。
2.根据权利要求1所述的特气管路装置，其特征在于，所述卡接装置包括固定于所述支架(2)上的钢板(3)，所述钢板(3)设置有与所述固定装置配合的卡接孔(31)。
3.根据权利要求2所述的特气管路装置，其特征在于，所述钢板(3)部分从所述通孔(42)穿出，且所述钢板(3)上的所述卡接孔(31)至少部分位于所述顶端弯折部(41)之上，使得所述固定装置能够穿过所述卡接孔(31)与所述顶端弯折部(41)远离所述支架(2)的一侧表面卡接固定。
4.根据权利要求3所述的特气管路装置，其特征在于，所述固定装置包括销钉(5)。
5.根据权利要求4所述的特气管路装置，其特征在于，所述销钉(5)的一端设置有引导所述销钉(5)穿过所述卡接孔(31)的锥形部(51)。
6.根据权利要求2至5中任一项所述的特气管路装置，其特征在于，所述钢板(3)与所述支架(2)的底面垂直，所述卡接孔(31)包括延伸方向与所述支架(2)的底面垂直的长孔。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的特气管路装置，其特征在于，对应于每根所述特气管(I)至少设置两个所述卡接装置。
8.根据权利要求7所述的特气管路装置，其特征在于，每个所述卡接装置与所述特气管(I)上的特气孔对应设置。
专利摘要本实用新型提供了一种特气管路装置，包括特气管、用于固定支撑特气管的支架和覆盖在特气管表面的特气槽，特气槽设置有顶端弯折部，特气管路装置还包括卡接装置和固定装置，卡接装置一端固定于支架，顶端弯折部设置有与卡接装置配合的通孔，卡接装置的另一端穿过通孔与固定装置配合以限制顶端弯折部的活动或变形。应用本实用新型的技术方案，设置卡接装置和固定装置限制特气槽上的顶端弯折部，使特气槽的顶端弯折部直接受力紧贴于特气管上设置特气孔的表面，限制特气槽的活动或变形，防止特气槽远离特气管，延长特气槽的使用时间，保证特气均匀。
文档编号C23C16/455GK202954090SQ20122062490
公开日2013年5月29日 申请日期2012年11月22日 优先权日2012年11月22日
发明者李智洋 申请人:英利能源(中国)有限公司