多点旁置式锑蒸发装置制造方法
【专利摘要】一种涉及光电阴极产品领域，尤指一种应用于光电阴极制作时的光电阴极蒸发器，用于光电阴极制作中蒸发器结构改进的多点旁置式锑蒸发装置。本实用新型是固定安装在影像增强器内的一种内结构型的装置，通过四个锑蒸发器固定在支撑组件上，组成了锑蒸发装置。主要解决如何改进固定安装多点旁置式锑蒸发结构等有关技术问题。本实用新型的有益效果是：该装置安装在影像增强器内，使用完后不需要取出，因而，不需要在影像增强器增加额外的传输通道，该装置能在阴极衬底上均匀的蒸发锑层，并能更精确控制四个锑蒸发器与阴极面的距离，具有安装方便、结构简单、蒸发量易于控制及提高了产品质量可靠性等优点。
【专利说明】多点旁置式锑蒸发装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光电阴极产品领域，尤指一种主要应用于光电阴极制作时的光电阴极蒸发器，用于光电阴极制作中蒸发器结构的改进装置，是保证产品的真空度，提高阴极质量和延长产品使用寿命的一种改进型的锑蒸发装置。
【背景技术】
[0002]锑在光电阴极的制作中，是一种重要合成元素。在制作阴极时主要是采用电加热后的溅射方法获得。蒸发量的大小以及均匀性将直接影响生成后的光电阴极的质量。虽然蒸发的原理大致是相同的，但各类蒸发结构差异是较大的，且各有千秋，所以不同的蒸发结构对阴极制作会产生不同的影响。人们对结构合理、使用方便、蒸发量易于控制以及对制成后阴极质量期望等提出了比较高的要求，这些都是锑蒸发装置必须考虑的因素。
[0003]锑的蒸发量、在不同立体角中蒸发速率是较难控制的。同时，由于锑蒸发只是在阴极制作时的一道工艺制作过程，成品管是不需要这些蒸发结构的。所以能方便的制作阴极，又对成品的真空密封、内部电子光学系统的影响最小，是各种锑蒸发结构所必需解决的。当然结构简单、合理和实用也是不得不考虑的问题。
【发明内容】
[0004]为了克服上述不足之处，本实用新型的主要目的旨在提供一种改进型的锑蒸发装置，是固定安装在影像增强器内的一种内结构型的锑蒸发装置，通过四个锑蒸发器固定在支撑组件上，组成了锑蒸发装置，达到结构合理、使用完后不需要取出，也不需要在影像增强器增加额外的传输通道，并能在阴极衬底上均匀蒸发锑层的多点旁置式锑蒸发装置。
[0005]本实用新型要解决的技术问题是:主要解决如何改进固定安装多点旁置式锑蒸发结构问题；要解决如何更精确地控制四个锑蒸发器与阴极面的距离结构等有关技术问题。
[0006]本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:该装置包括影像增强器及其光电阴极等部件，还包括:由底盘、锑蒸发器、支撑组件、导线、外圈、内圈、小支柱和绝缘瓷组合为一整体的改进型的内结构锑蒸发装置，内结构锑蒸发装置固定安装在影像增强器内，该装置至少包括:
[0007]底盘的边缘大小与影像增强器内的边缘大小一致且相互匹配，在底盘上设置均匀分布的四个锑蒸发器；
[0008]锑蒸发器固定在支撑组件上，每一个锑蒸发器通过点焊固定在小支柱上，四个锑蒸发器用导线串联后与影像增强器的引出端相互连接；
[0009]支撑组件由绝缘瓷分别与内圈和小支柱焊接在一起，然后与外圈通过点焊固定在底盘上。
[0010]本实用新型的有益效果是:多点旁置式锑蒸发结构是一种内结构的锑蒸发装置，它安装在影像增强器内，使用完后不需要取出，因而，不需要在影像增强器增加额外的传输通道，该装置能在阴极衬底上均匀的蒸发锑层；而且，四个锑蒸发器锑量较充足，因此，该装置还可用于阴极修复等所需的二次蒸发功能；多点旁置式锑蒸发结构是固定安装的，所以与移动式的锑蒸发结构相比，能更精确控制四个锑蒸发器与阴极面的距离，具有安装方便、结构简单、蒸发量易于控制及提高了产品质量可靠性等优点。
【专利附图】
【附图说明】
[0011]下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
[0012]附图1是本实用新型整体结构示意图；
[0013]附图2是本实用新型图1的BB剖面左视图；
[0014]附图3是本实用新型图2中C区域放大图的支撑组件结构示意图；
[0015]附图中标号说明:
[0016]I一底盘；
[0017]2—铺蒸发器；
[0018]3—支撑组件；
[0019]4一导线；
[0020]5—外圈；
[0021]6—内圈；
[0022]7—小支柱；
[0023]8—绝缘瓷；
【具体实施方式】
[0024]请参阅附图1、2及3所示，本实用新型包括影像增强器及其光电阴极等部件，还包括:由底盘1、锑蒸发器2、支撑组件3、导线4、外圈5、内圈6、小支柱7和绝缘瓷8组合为一整体的改进型的内结构锑蒸发装置，内结构锑蒸发装置固定安装在影像增强器内，该装置至少包括:
[0025]底盘I的边缘大小与影像增强器内的边缘大小一致且相互匹配，在底盘I上设置均匀分布的四个锑蒸发器2;
[0026]锑蒸发器2固定在支撑组件3上，每一个锑蒸发器2通过点焊固定在小支柱7上，四个锑蒸发器2用导线4串联后与影像增强器的引出端相互连接；
[0027]支撑组件3由绝缘瓷8分别与内圈6和小支柱7焊接在一起，然后与外圈5通过点焊固定在底盘I上。
[0028]一般的锑蒸发结构需要在影像增强器上增加一个端口，以便在阴极制作时，从这个端口将锑蒸发装置输送进去；蒸发完成后，从该端口退出。所以这些操作都必须在高真空条件下进行的，不能有泄漏，否则的话，就会影响生成后的光电阴极的质量，甚至阴极制作失败。同时，影像增强器还要为此增加一个密封口。
[0029]多点旁置式锑蒸发结构是一种内结构的锑蒸发装置，具有安装方便、结构简单。它安装在影像增强器内，使用完后不需要取出，因而，不需要在影像增强器增加额外的传输通道。底盘I的边缘与影像增强器内的电极G2的边缘一致，不影响增强器内的电场的分布。由于四个锑蒸发器2固定在支撑组件3上，组成了锑蒸发装置。这装置能在阴极衬底上均匀的蒸发锑层；而且，四个锑蒸发器锑量较充足，因此，该装置还可用于阴极修复等所需的二次蒸发功能。多点旁置式锑蒸发结构是固定安装的，所以与移动式的锑蒸发结构相比，能更精确控制四个锑蒸发器与阴极面的距离。
[0030]每一个锑蒸发器2通过点焊固定在小支柱7。支撑组件3由绝缘瓷8与内圈6、小支柱7是经瓷金属化后焊接在一起，然后与外圈5通过点焊固定在底盘I上。四个锑蒸发器2用导线4串联后，连接到增强器的引出端，通过外部的电源，对其进行蒸发速率的控制。
[0031]虽然本实用新型已参照当前的具体实施例来描述，但是本【技术领域】中的普通技术人员应该认识到，以上的实施例仅仅是用来说明本实用新型，在没有脱离本实用新型精神的情况下还可作出各种等效的变化和修改，因此，只要在本实用新型的实质精神范围内对上述实施例的变化，变换都将落在本实用新型权利要求书的范围里。
【权利要求】
1.一种多点旁置式锑蒸发装置，包括影像增强器及其光电阴极，其特征在于还包括:由底盘(I)、锑蒸发器(2)、支撑组件(3)、导线(4)、外圈(5)、内圈(6)、小支柱(7)和绝缘瓷(8)组合为一整体的改进型的内结构锑蒸发装置，内结构锑蒸发装置固定安装在影像增强器内，该装置至少包括: 底盘(I)的边缘大小与影像增强器内的边缘大小一致且相互匹配，在底盘(I)上设置均匀分布的四个锑蒸发器(2)； 锑蒸发器(2 )固定在支撑组件(3 )上，每一个锑蒸发器(2 )通过点焊固定在小支柱(7 )上，四个锑蒸发器(2)用导线(4)串联后与影像增强器的引出端相互连接； 支撑组件(3)由绝缘瓷(8)分别与内圈(6)和小支柱(7)焊接在一起，然后与外圈(5)通过点焊固定在底盘(I)上。
【文档编号】C23C14/24GK203728919SQ201420093106
【公开日】2014年7月23日 申请日期:2014年3月3日 优先权日:2014年3月3日
【发明者】章振昂, 吴明康, 王新军, 张丹 申请人:上海泰雷兹电子管有限公司