一种改进的多晶制绒rena的制造方法
【专利摘要】本实用新型公开了一种改进的多晶制绒RENA机，其包括制绒槽，制绒槽内底部设有均流管组，均流管组包括位于制绒槽各道内的平行于硅片传动方向的均流管，均流管沿其长度方向分布有朝向水平或斜向制绒槽底部进液口；各道均流管的一端与位于制绒槽内一侧的分配管相联通；制绒槽还设有溢流口，溢流口连接用于收集溢流液体的溢液收集箱，溢液收集箱与分配管通过连接管联通，连接管上设有循环泵。本实用新型制绒机可提高单道间单片的绒面的稳定性，降低制绒机各道之间的减重差异和破片率，提高多晶硅片的腐蚀均匀性，降低镀膜岗位返工片的比率,提高电池片的外观质量。
【专利说明】-种改进的多晶制绒RENA机
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及一种改进的多晶制绒RENA机。
【背景技术】
[0002] 娃片在切割过程中会在表面形成大约10 μ m厚的损伤层，这一层与娃片基体的性 质不同，会严重影响太阳能电池的性能。清洗工序制绒工艺就是利用硅片的这一层损伤层， 通过硝酸对其氧化制绒，形成高低不平的表面，大大增加电池片表面的受光面积，减少反 射，从而提高太阳能电池的转换效率。在多晶制绒时，需要控制硅片的减薄量，尤其是需要 控制硅片整面膜的减薄均匀性。
[0003] 目前RENA制绒机台存在设计上的缺陷，制绒槽的进液方式存在缺陷，进液集中在 整个槽体的一端，导致制绒机台道与道之间腐蚀程度存在差异，最终导致每道之间减重差 异较大，且液体循环均匀性较差，得到的绒面均匀性、稳定性差，进而导致镀膜岗位的返工 片和色差片等不良片的比率大大增加。 实用新型内容
[0004] 本实用新型的目的在于对目前链式RENA多晶制绒机的进液方式进行研究，克服 现有技术中存在的缺陷，提供一种可以均匀腐蚀硅片的多晶硅片制绒机。
[0005] 为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是一种改进的多晶制绒RENA机，其包 括制绒槽，制绒槽内底部设有均流管组，均流管组包括位于制绒槽各道内的平行于硅片传 动方向的均流管，均流管沿其长度方向分布有朝向水平或斜向制绒槽底部的进液口；各道 均流管的一端与位于制绒槽内一侧的分配管相联通；制绒槽还设有溢流口，溢流口连接用 于收集溢流液体的溢液收集箱，溢液收集箱与分配管通过连接管联通，连接管上设有循环 栗。
[0006] 为了尽可能提高腐蚀液的使用效率，优选地，所述均流管上的进液口为水平朝向， 使均流管上的进液口能更1?效地接触娃片，从而提1?制续效率。
[0007] 为了提高制绒槽的腐蚀率的混合均匀性，各所述均流管的左右两侧沿所述均流管 的长度方向各分布有至少两列、互相交错的进液口。交错分布进液口还可以降低各列的开 孔密度，降低均流管的加工难度。
[0008] 优选地，所述分配管也设有进液口。
[0009] 最好所述分配管的进液口至少为两行，且各行进液口相互错开。
[0010] 在腐蚀液进入均流管的瞬间及腐蚀液停止流动的瞬间，突然改变运动状态的腐蚀 液会对均流管产生冲击力，易造成均流管的扭动与腐蚀液的流出方向改变，进而使待处理 的硅片产生晃动而破片。为此优选地，所述制绒槽的底部设有用于固定所述均流管的固定 机构。所述固定机构可以为与所述均流管外轮廓相卡合的U形夹
[0011] 本实用新型的优点和有益效果在于：本实用新型制绒机通过对设备进行改造，将 单一的进液方式变更为更为均匀的进液方式，提高了单道间单片的绒面的稳定性；同时将 进液口朝向水平或斜向槽底设置，产生了更为均匀的腐蚀液混合效果，降低制绒机各道之 间的减重差异；从上述两个方面提高了多晶硅片的腐蚀均匀性，从而降低了镀膜岗位返工 片的比率，提高电池片的外观质量。另外，进液口方向的改进设置和槽底U形夹的设置，还 降低了多晶硅片因腐蚀液的冲刷产生的晃动而发生破片的机率，最终提高企业利润。
【专利附图】
【附图说明】
[0012] 图1是本实用新型改进的多晶制绒RENA机的剖视结构示意图；
[0013] 图2是图1的俯视结构示意图；
[0014] 图3是图1中均流管的立体结构示意图；
[0015] 图4是图3中均流管的一种截面结构示意图；
[0016] 图5是图3中均流管的另一种截面结构示意图；
[0017] 图6是图1中A处的局部放大示意图。
[0018] 图中：1、制绒槽；2、均流管；3、分配管；4、溢液收集箱；5、连接管；6、循环泵；7、U 形夹；11、溢流口；20和30、进液口。
【具体实施方式】
[0019] 下面结合附图和实施例，对本实用新型的【具体实施方式】作进一步描述。以下实施 例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范 围。
[0020] 本实用新型是一种改进的多晶制绒RENA机，如图1至3所示，其包括制绒槽1，制 绒槽内底部设有均流管组，均流管组包括位于制绒槽1各道内的平行于硅片传动方向的均 流管2,均流管2沿其长度方向分布有进液口 20 ;各道均流管2的一端与位于制绒槽1内一 侧的分配管3相联通；制绒槽1还设有溢流口 11，溢流口 11连接用于收集溢流液体的溢液 收集箱4,溢液收集箱4与分配管3通过连接管5联通，连接管5上设有循环泵6。
[0021] 均流管2上的进液口 20可以为斜向制绒槽1的底部，如图4所示，或者均流管2 上的进液口 20为水平朝向，图5所示；进液口 20斜向制绒槽1的底部或为水平朝向，克服 了进液口 20朝上设置时硅片底部受流体朝上的冲击而发生晃动，降低了破片的概率。为了 尽可能提高腐蚀液的使用效率，均流管2上的进液口 20最好为水平朝向，使均流管2上的 进液口 20能更高效地接触硅片，从而提高制绒效率。
[0022] 为了提高制绒槽1的腐蚀率的混合均匀性，各均流管2的左右两侧沿均流管2的 长度方向各分布有至少两列、互相交错的进液口 20,如图3所示。交错分布的进液口 20还 可以降低开孔密度，进而降低均流管2的加工难度。
[0023] 如图6所示，分配管3也可设有进液口 30。分配管3的进液口 30至少为两行，且 各行进液口 30相互错开。
[0024] 在腐蚀液进入均流管2的瞬间及腐蚀液停止流动的瞬间，突然改变运动状态的腐 蚀液会对均流管2产生冲击力，易造成均流管2的扭动与腐蚀液的流出方向改变，进而使待 处理的硅片因受流体冲击而产生晃动、破片，故最好在制绒槽1的底部设有若干用于卡合 均流管2外轮廓的U形夹7。
[0025] 以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本【技术领域】的普通技 术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改 进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1. 一种改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，包括制绒槽，制绒槽内底部设有均流管 组，均流管组包括位于制绒槽各道内的平行于硅片传动方向的均流管，均流管沿其长度方 向分布有朝向水平或斜向制绒槽底部的进液口；各道均流管的一端与位于制绒槽内一侧的 分配管相联通；制绒槽还设有溢流口，溢流口连接用于收集溢流液体的溢液收集箱，溢液收 集箱与分配管通过连接管联通，连接管上设有循环泵。
2. 如权利要求1所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述均流管上的进液口 为水平朝向。
3. 如权利要求2所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，各所述均流管的左右两 侧沿所述均流管的长度方向各分布有至少两列、互相交错的进液口。
4. 如权利要求1所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述分配管也设有进液 □。
5. 如权利要求4所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述分配管上的进液口 至少为两行，且各行进液口相互错开。
6. 如权利要求1至5任意一项所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述制绒 槽的底部设有用于固定所述均流管的固定机构。
7. 如权利要求6所述的改进的多晶制绒RENA机，其特征在于，所述固定机构为与所述 均流管外轮廓相卡合的U形夹。
【文档编号】C23F1/08GK203938752SQ201420221775
【公开日】2014年11月12日 申请日期:2014年4月30日 优先权日:2014年4月30日
【发明者】杨斌, 薛小兴, 黄凯, 黄贤光 申请人:江苏爱多光伏科技有限公司