用于真空镀膜的磁导向单元的制作方法
【专利摘要】本实用新型提供了一种用于真空镀膜的磁导向单元，包括大体呈几字形的磁铁挂件，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。本实用新型的磁导向单元把磁铁固定在磁铁挂件的外部，不会对工件车产生刮擦，减少了基片架与磁导向单元的摩擦，减少了粉尘，从而解决镀膜针孔的问题，并且结构简单，拆卸、安装方便。
【专利说明】用于真空镀膜的磁导向单元
【技术领域】
[0001]本实用新型属于真空镀膜【技术领域】，具体是一种用于真空镀膜的磁导向单元。
【背景技术】
[0002]在真空镀膜连续生产线的镀膜工序中，基片通常是安装在基片架上，通过传动机构传动，平稳运行在真空镀膜箱中。目前业内最常用的传动方式为磁导向传动，如图1所示，即在真空箱体顶板上固定磁导向单元1，基片架3顶杆上设有一排磁钢2，基片架3顶杆插装在磁导向单元I之间的空间中，所述的磁导向单元I包括U形槽11，U形槽11的两侧壁上各设有多组磁铁12，磁铁12靠磁铁固定片13固定在U形槽11的内壁上，基片架3顶杆上设置的磁钢2的N极、S极与磁铁12的N极、S极对应，利用磁铁12与磁钢2的之间的排斥力实现导向。在实际真空镀膜生产过程中，由于基片架3在磁导向单元I的空间中运动，磁铁固定片13的尖角、毛刺等不可避免的会刮擦工件车，产生粉末，污染基片，导致产品产生镀膜针孔等缺陷；另外，由于磁铁固定片13和磁铁12要靠螺钉固定在U形槽11上，螺钉势必会部分裸露在磁导向单元I的中间空间中，也会刮擦工件车，降低镀膜成品率；而且由于磁铁12位于U形槽11内壁上，安装维修很不方便，磁铁在内部拆卸安装都很困难。
实用新型内容
[0003]本实用新型要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种用于真空镀膜的磁导向单元，该磁导向单元把磁铁固定在磁铁挂件的外部，而磁铁挂件是整体的不锈钢槽，内部不存在尖角、毛刺，不再产生刮擦，使之更适合实际真空镀膜生产的使用，能大幅度提高镀膜成品率。
[0004]为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是提供一种用于真空镀膜的磁导向单元，包括大体呈几字形的磁铁挂件，所述磁铁挂件由整体的不锈钢一体成型，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。
[0005]所述磁铁沿磁铁挂件的轴线方向直线排列。
[0006]本实用新型的用于真空镀膜的磁导向单元通过磁铁固定槽把磁铁固定在磁铁挂件的外部，内部光滑、没有尖角、毛刺，不会对工件车产生刮擦，并减少了基片架与磁导向单元的摩擦，减少了粉尘，从而解决镀膜针孔的问题，并且结构简单，拆卸、安装方便。
[0007]所述的磁铁固定槽靠六角螺钉固定在磁铁挂件上，所述六角螺钉内端位于磁铁挂件内部。避免六角螺钉与工件车之间发生刮擦，进一步提高镀膜成品率。
【专利附图】
【附图说明】
[0008]图1是【背景技术】中磁导向的结构示意图。
[0009]图2是本实用新型用于真空镀膜的磁导向单元的结构示意图。
[0010]图3是图2的A-A剖视放大图。
【具体实施方式】
[0011]为了能够更清楚地理解本实用新型，下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步说明。
[0012]如图2、图3所示，用于真空镀膜的磁导向单元，包括大体呈几字形的磁铁挂件41，所述磁铁挂件41由整体的不锈钢槽一体成型，内壁光滑、无尖角、毛刺，磁铁挂件41两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽43，所述的磁铁固定槽43由六角螺钉44固定在磁铁挂件41上，六角螺钉44的内端位于磁铁挂件41内部，不穿透磁铁挂件41，磁铁固定槽43内装有多组磁铁42，所述磁铁42沿磁铁挂件41的轴线方向直线排列。
[0013]以上所述，仅是本实用新型的【具体实施方式】，并非对本实用新型的限制，本领域的技术人员在不脱离本实用新型技术设计原理的情况下，利用上述技术内容所作的更动或修饰均应视为属于本实用新型的保护范围。
【权利要求】
1.用于真空镀膜的磁导向单元，其特征在于:包括大体呈几字形的磁铁挂件，所述磁铁挂件由整体的不锈钢一体成型，磁铁挂件两侧壁的外侧均固定有磁铁固定槽，磁铁固定槽内装有多组磁铁。
2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜的磁导向单元，其特征在于:所述磁铁沿磁铁挂件的轴线方向直线排列。
3.根据权利要求1或2所述的用于真空镀膜的磁导向单元，其特征在于:所述的磁铁固定槽靠六角螺钉固定在磁铁挂件上，所述六角螺钉内端位于磁铁挂件内部。
【文档编号】C23C14/50GK204111862SQ201420580862
【公开日】2015年1月21日 申请日期:2014年9月30日 优先权日:2014年9月30日
【发明者】马磊, 李忠, 刘成, 褚凯 申请人:蚌埠雷诺真空技术有限公司