1.一种内外喷气式低压化学气相沉淀腔,包括腔体(1),所述腔体(1)中内置有导气结构(3)及用于支撑晶圆的支撑结构(2),其特征在于:所述导气结构(3)为一环形腔套,所述环形腔套的内壁安装有多根径向设置的外导气管(4),所述支撑结构(2)包括一支撑管,所述支撑管轴向设置于所述环形腔套中,所述支撑管的周壁上借助卡夹(5)夹持晶圆(6),支撑管中轴承设有内导气管(7),所述内导气管(7)与所述支撑管之间设有多根导管(8),所述导管(8)的出气端置于相邻的卡夹(5)之间。