1.一种无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，包括：
研磨头承载机构，包括：环形轨道，其通过支架与立柱固定；
研磨头控制总成，滑动设于环形轨道外侧，其内部设有控制其及研磨头运行的研磨头控制单元；
非接触式供电系统，包括沿环形轨道设置的供电部以及相对间隙设于研磨头控制总成中的受电部；
其中，通过向所述供电部供电以产生磁场，使所述受电部产生磁感应电流，并输出到研磨头控制单元，以驱动研磨头在研磨台面上完成研磨，以及驱动研磨头控制总成沿环形轨道往特定方向作持续性移动。
2.根据权利要求1所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述供电部沿环形轨道设有供电线圈，所述受电部设有受电线圈，所述非接触式供电系统通过外部电源向供电线圈输入电流，使受电线圈产生磁感应电流，以向研磨头控制单元进行非接触式输电。
3.根据权利要求2所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述供电部依次连接设有供电部整流单元、变换单元、供电线圈，所述受电部依次连接设有受电线圈、受电部整流单元，所述非接触式供电系统通过外部电源向供电部输入电流，经供电部整流单元整流、变换单元斩波、逆变变换之后进入供电线圈，并通过电磁感应方式和磁场共振方式由受电线圈接受产生磁感应电流，经受电部整流单元整流后，通过设于研磨头控制总成中的受电单元输出到研磨头控制单元。
4.根据权利要求2或3所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述外部电源通过铺设于立柱及支架中的电缆连接所述供电部。
5.根据权利要求3所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述供电部还设有供电部控制单元，用于控制供电部启闭，所述供电部控制单元通过供电部通信单元接受外部的指令。
6.根据权利要求3或5所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述受电部还设有受电部通信单元，用于向外部传输供电信息。
7.根据权利要求1-3任意一项所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述供电部和受电部外部设有防止磁场泄漏的磁通屏蔽部。
8.根据权利要求1所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述研磨头控制单元设有控制研磨头下压、抬升、旋转的第一电机、控制研磨头控制总成沿轨道移动的第二电机。
9.根据权利要求1所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述研磨头控制总成通过分设于环形轨道内侧和底部的滑轮安装在环形轨道外侧，所述滑轮受研磨头控制单元驱动，带动研磨头控制总成沿轨道移动。
10.根据权利要求9所述的无旋转终结点的化学机械研磨装置，其特征在于，所述轨道的内侧和底部分设有用以防止滑轮滑脱的护板和对滑轮进行侧向限定的凹槽。