坩埚蒸镀装置的制作方法

本实用新型涉及蒸镀技术领域，更具体地涉及一种坩埚蒸镀装置。

背景技术：

当前，蒸镀工艺被广泛用于镀膜生产中。蒸镀工艺是将原材料放于诸如坩埚的装置中，通过加热源将原材料加热到一定温度，使得原材料发生蒸发或升华，然后沉积在待成膜工件的表面，来完成镀膜。镀膜机坩埚蒸镀是由电流经过电子枪灯丝打在坩埚内，对坩埚加热预融，使得坩埚内的膜料蒸发或升华以沉积在工件的表面上。在蒸镀过程中电流流经灯丝，灯丝会有损耗及寿命限制，镀膜过程中易出现以下情况：

灯丝因电流的磨损，灯丝的直径会逐步变细导致灯丝断丝；和

坩埚内膜料溅料溅在灯丝上会导致电流不流通以致开门。

对于单枪头供应坩埚，导致灯丝异常(灯丝断丝及变形)的不固定因素较多，会导致产品不合格(即，产品NG)和开门而影响生产效率，对于镀膜目前生产产品开门即报废的状况，造成的损失较大。

因此，需要对现有的镀膜机上坩埚蒸镀装置进行进一步的改进设计，实现蒸镀过程中电子枪灯丝断丝或变形可不用开门的直接切换，不影响工件的继续蒸镀。

技术实现要素：

本申请的目的在于至少部分地解决现有镀膜机中坩埚蒸镀装置中存在的上述问题。

本申请提供了一种坩埚蒸镀装置，包括坩埚膜料，装置还可包括可旋转的转台和多个电子枪模块，其中，可旋转的转台邻近于坩埚膜料；以及多个电子枪模块可安装在转台上；转台旋转时可使得安装在转台上的多个电子枪模块中的一个交替地与坩埚膜料邻近，其中，邻近于坩埚膜料的电子枪模块可通过发射电子束对坩埚膜料进行加热。

根据本申请的一个实施方式，电子枪模块还包括：子枪体和电子枪底座，转台可设置在电子枪底座与电子枪体之间，并且电子枪体可与电子枪底座电连接。

根据本申请的一个实施方式，装置还可包括旋转机构以驱动转台以预定角度进行旋转。

根据本申请的一个实施方式，坩埚膜料可位于电子枪模块的侧面。

本申请还提供了一种蒸镀系统，包括上文所述的坩埚蒸镀装置，蒸镀系统还可包括与抽真空装置连通的蒸镀腔室。

根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置，在蒸镀过程中电子枪体灯丝出现异常时，能够实现电子枪体的自动切换从而杜绝因灯丝异常导致产品异常NG的目的。

附图说明

通过参照以下附图进行的详细描述，本申请的实施方式的以上及其它优点将变得显而易见，附图旨在示出本申请的示例性实施方式而非对其进行限制。在附图中：

图1示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置的示意性结构图；以及

图2示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置的俯视立体图。

具体实施方式

为了更好地理解本申请，将参考附图对本申请的各个方面做出更详细的说明。应理解，这些详细说明只是对本申请的示例性实施方式的描述，而非以任何方式限制本申请的范围。在说明书全文中，相同的附图标号指代相同的元件。表述“和/或”包括相关联的所列项目中的一个或多个的任何和全部组合。

还应理解的是，用语“包括”、“包括有”、“具有”、“包含”和/或“包含有”，当在本说明书中使用时表示存在所陈述的特征、整体、步骤、操作、元件和/或部件，但不排除存在或添加一个或多个其它特征、整体、步骤、操作、元件、部件和/或它们的组。此外，当诸如“...中的至少一个”的表述出现在所列特征的列表之后时，修饰整个所列特征，而不是修饰列表中的单独元件。此外，当描述本申请的实施方式时，使用“可以”表示“本申请的一个或多个实施方式”。并且，用语“示例性的”旨在指代示例或举例说明。

除非另外限定，否则本文中使用的所有用语(包括技术用语和科学用语)均具有与本实用新型所属领域普通技术人员的通常理解相同的含义。还应理解的是，用语(例如在常用词典中定义的用语)应被解释为具有与它们在相关技术的上下文中的含义一致的含义，并且将不被以理想化或过度正式意义解释，除非本文中明确如此限定。

以下参照附图来对本申请的各个方面进行更详细的说明。

为了解决上述问题，本申请提出了一种改进的坩埚蒸镀装置。在图1、图2中具体地示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置。其中，图1示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置的示意性结构图。图2示出了根据本申请实施方式的坩埚蒸镀装置的俯视立体图。

如图1、图2中所示，坩埚蒸镀装置包括电子枪模块1、转台2和坩埚膜料4。

电子枪模块1包括电子枪体11和电子枪底座12两部分。在蒸镀过程中，电子枪模块1作为加热源可射出电子束轰击坩埚膜料4，将高能电子束的动能转化为坩埚镀料4的热能，使得膜料蒸发或升华，进而沉积到待成膜的工件表面。在本实施例中，坩埚蒸镀装置具有2个电子枪模块1。应理解的是，尽管图1和图2中示出了2个电子枪模块1，但是本申请不限于此，装置可包括更多个的电子枪模块。电子枪底座12为电子枪体11的支撑结构，并且电子枪底座12与电子枪体11具有电连接。根据本申请的坩埚蒸镀装置采用的是电子束加热，具有蒸发(升华)温度高、污染小、能够蒸发难熔、高纯的物质、具有较高的镀膜效率以及能够利用电流大小控制热电子数目也可精密调控镀料蒸发速率等优点。

转台2设置在电子枪底座12与电子枪体11之间上。如图所示，转台2具有圆形板状结构。图2中转台2的圆形形状仅为示例性的，而非用以限制，可以根据实际需要来设置转台2的形状。例如，转台2的形状也可以是椭圆形、四边形等。两个电子枪体11可分别安装在转台2上表面的两端处，与转台2下方的电子枪底座电连接。在蒸镀过程中，对电子枪体11进行通电，电流流经电子枪体11的灯丝，发出热量，从而作为加热源对坩埚膜料4进行加热。

坩埚膜料4设置在电子枪模块1的侧面。对于例如镜片的工件而言，镜片上待形成的薄膜可包括反射膜、增透膜、分光膜、偏光膜、发光膜、记忆膜等。相应地，镀膜膜料可包括氧化钛(TiO₂)、氧化锆(ZrO₂)、氧化铬(Cr₂O₃)、氧化硅(SiO₂)、氟化镁(MgF₂)、氧化铝(Al₂O₃)、硫化锌(ZnS)、氧化铟锡(ITO)等或它们的组合物。坩埚膜料4在加热源的作用下，逐渐蒸发或升华，进而沉积到待成膜的工件(镜片)表面。

根据本申请的坩埚蒸镀装置，还包括有旋转机构3。旋转机构3可驱动转台2以预定角度(例如，180°)旋转。当蒸镀过程中出现邻近于坩埚膜料4的电子枪体11的灯丝断丝或变形等情况时，旋转机构3开始工作，驱动转台2以预定角度(例如，180°)旋转，将备用的多个电子枪模块1中的另一个旋转至坩埚膜料4侧作为加热源。

应理解的是，在另一实施方式中，坩埚蒸镀装置包括的多个电子枪模块1可设置在转台2上，理想地均匀设置在转台2上，使得转台2每次可旋转预定角度，将备用的多个电子模块中的另一个旋转至邻近于坩埚膜料侧作为新的加热源。

由于根据本申请的坩埚蒸镀装置，设置有多个电子枪模块1和转台2，在蒸镀过程中，若出现电子枪体11的灯丝断裂的情况，则可通过旋转机构3驱动转台2进行旋转运动，带动其它备用的电子枪体11运动到坩埚膜料4侧，作为加热源继续对坩埚膜料4进行加热。根据本申请的装置，具有在蒸镀过程中转台自动切换枪体的功能，避免单个电子枪体作业时灯丝断丝或变形所引起的开门操作，可提高产品的合格率和生产效率。

本申请还提供了一种蒸镀系统，包括如上所述的坩埚蒸镀装置，并且该蒸镀系统还包括与抽真空装置连通的蒸镀腔室。蒸镀过程中，坩埚膜料处于真空环境中进行真空蒸镀。

根据本申请的蒸镀系统，具有如下的作业流程：

1)打开蒸镀腔室的仓门，放置坩埚膜料4，分别在转台2的两端安装电子枪模块1；

2)关闭仓门，对蒸镀腔室进行抽真空操作，之后对坩埚膜料4侧的电子枪体11通电，电子枪体11通过发射高能电子束进行加热蒸镀；

3)若电子枪体11的灯丝断丝或膜料溅射到灯丝表面造成短路，启动旋转机构3以驱动转台2以预定焦度角度(例如，180°)旋转，将备用的多个电子枪模块1中的一个旋转至坩埚膜料4侧作为加热源；

4)完成阶段性镀膜之后，打开仓门，替换损坏的电子枪体11，放置新的坩埚膜料4

5)重复进行1-4的流程。

如上所述，根据本申请的蒸镀系统可在真空蒸镀过程中实现转台2自动旋转切换电子枪模块1的目的，减小产品NG的概率，提高生产效率。

还应理解的是，作为一种选择，根据本申请的坩埚蒸镀装置和蒸镀系统的旋转机构3可定时启动，在开始蒸镀的预定时间之后，驱动转台2以预定角度旋转，将备用的多个电子枪模块1中的另一个旋转至邻近于坩埚膜料4作为加热源。然后，又在预定时间之后，旋转机构3可再次启动，将剩余的多个电子枪模块中的一个依次旋转至邻近于坩埚膜料。换言之，在作为加热源的电子枪模块1未损坏之时，就开始轮流使用备用的电子枪模块，避免电子枪体11的灯丝因电流长时间的作用损耗出现断丝等异常情况，减小损耗。

以上参照附图对本申请的示例性实施方式进行了描述。本领域技术人员应该理解，上述实施方式仅是为了说明的目的而所举的示例，而不是用来限制本申请的范围。凡在本申请的教导和权利要求保护范围下所作的任何修改、等同替换等，均应包含在本申请要求保护的范围内。