蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备的制作方法

本实用新型涉及显示设备技术领域，具体而言，涉及一种蒸发源、蒸镀装置以及有机电致发光显示器的生产设备。

背景技术：

相关技术中，OLED(英文为Organic Light-Emitting Diode，即有机电致发光器件)显示技术日益完善，其市场化普及成为了趋势。然而，OLED显示器(即有机电致发光显示器)的生产稼动率成为了制约其市场化普及的主要因素。

有机发光层(应为Organic Electro-Luminescence)为OLED显示器的重要组成成分为，有机发光层通常通过蒸镀的方式集成在相应的零件上。其中，蒸镀过程中对有机发光材料的加热是在蒸发源内实施的，有机发光材料在蒸发源内被加热后升华或蒸发并从蒸发源的喷嘴喷出，由于热量传递过程中的损失较多，最终喷嘴处的温度远低于坩埚的温度，导致气态的有机发光材料遇冷凝固或凝华并堵塞喷嘴，导致生产设备故障，降低生产稼动率。

技术实现要素：

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种喷嘴不易堵塞、可靠性更高的蒸发源。

本实用新型还提出了一种具有上述蒸发源的蒸镀装置。

本实用新型又提出了一种具有上述蒸镀装置的有机电致发光显示器的生产设备。

根据本实用新型第一方面实施例的蒸发源包括：坩埚、盖体、主加热件以及辅加热件，所述坩埚内限定出容纳空间，所述盖体包括盖体本体和喷嘴，所述喷嘴连接在所述盖体本体上，所述盖体本体罩盖在所述坩埚上并与所述坩埚固定连接，所述盖体具有位于顶端的多个喷嘴，所述喷嘴具有与所述容纳空间连通的喷孔，所述主加热件适于对所述坩埚加热，所述辅加热件适于对所述喷嘴和所述盖体本体加热。

根据本实用新型实施例的蒸发源,通过辅加热件对喷嘴以及盖体本体进行加热，以降低经由喷嘴喷出的气体，在喷嘴处凝固或凝华导致喷嘴堵塞的概率，从而提高了蒸发源的工作稳定性，并使蒸发源的蒸镀效果更好，进而避免了生产设备宕机，以提高生产设备的生产稼动率。

根据本实用新型的一些实施例，所述辅加热件在所述喷嘴的外部对所述喷嘴加热，所述辅加热件邻近所述喷嘴的顶端设置。

在一些实施例中，所述辅加热件的下端与所述喷嘴的根部间隔开，且所述辅加热件至少覆盖所述喷嘴的外壁的上部。

可选地，所述辅加热件为加热丝，所述加热丝至少环绕所述喷嘴的外壁分布。

根据本实用新型的一些实施例，所述蒸发源还包括第一隔热件，所述第一隔热件套设在所述喷嘴外且所述辅加热件位于所述第一隔热件与所述喷嘴的外壁之间。

进一步地，所述第一隔热件为环形套体，所述第一隔热件至少覆盖住所述辅加热件。

进一步地，所述第一隔热件的高度小于或等于所述喷嘴的高度，所述第一隔热件的顶端与所述喷嘴的顶端相平齐或低于所述喷嘴的顶端。

根据本实用新型的一些实施例，所述蒸发源还包括第二隔热件，所述第二隔热件夹设在所述盖体与所述坩埚之间。

可选地，所述第一隔热件和所述第二隔热件均为微纳隔热板，所述微纳隔热板为多孔结构。

进一步地，所述蒸发源还包括散热器以及热反射件，所述散热器设置在所述坩埚以及所述盖体组成的整体外，所述热反射件至少设于所述盖体上方。

可选地，所述热反射件为包括多个反射板，所述多个反射板层叠设置且焊接为一体。

根据本实用新型第二方面实施例的蒸镀装置，包括如上述实施例中所述的蒸发源。

根据本实用新型又一方面实施例的有机电致发光显示器生产设备，包括上述实施例中所述的蒸镀装置。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

本实用新型的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本实用新型实施例的蒸发源的一个示意图；

图2是根据本实用新型实施例的蒸发源的另一个示意图；

图3是根据本实用新型实施例的蒸发源的喷嘴、第一隔热件以及辅加热件的纵向剖视示意图；

图4是根据本实用新型实施例的蒸发源的喷嘴、第一隔热件以及辅加热件的横向剖视示意图；

图5是根据本实用新型实施例的蒸发源的辅加热件的示意图。

附图标记：

蒸发源100，

坩埚1，盖体2，喷嘴21，喷孔211，盖体本体22，辅加热件3，第一隔热件4，第二隔热件5。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的单元或具有相同或类似功能的单元。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

下面参考图1至图5描述根据本实用新型实施例的蒸发源100。

如图1和图2所示，根据本实用新型第一方面实施例的蒸发源100包括：坩埚1、盖体2、辅加热件3以及主加热件(图中未示出)，坩埚1内限定出容纳空间(图中未示出)，盖体2包括盖体本体22和喷嘴21，盖体本体22罩盖在坩埚1上并与坩埚1固定连接，盖体2具有位于顶端的多个喷嘴21，喷嘴21均具有与容纳空间连通的喷孔211，主加热件适于对坩埚1加热，辅加热件3适于对喷嘴21以及盖体本体22加热。

需要说明的是,喷孔211可以直接与坩埚1的容纳空间连通,也可以通过盖体2上的连通孔与容纳空间间接连通,以保证位于容纳空间内的待加热材料(如液态或固态的有机发光材料)在被加热蒸发后能够从喷嘴21的喷孔211中喷出。

根据本实用新型实施例的蒸发源100，通过辅加热件3对喷嘴21以及盖体本体22进行加热，以降低经由喷嘴21喷出的气体(即气态有机发光材料)，在喷嘴21处凝固或凝华导致喷孔211堵塞的概率，从而提高了蒸发源100的工作稳定性，避免了生产设备宕机，提高生产效率、以提高生产设备的生产稼动率，此外，还使蒸发源100的蒸镀效果更好。

进一步地，辅加热件3的预设温度-主加热件的预设温度≥20℃。

具体而言，盖体本体22与坩埚1直接接触，且盖体本体22的上端与喷嘴21连接，进而喷嘴21的部分热量以及盖体本体22的部分热量会传导给坩埚1，导致喷嘴21内的热量大量流失，进而使辅加热件3的预设温度至少高于主加热件的预设温度20摄氏度，以确保即便喷嘴21的顶端具有一定的热量流失，但喷嘴21内的气态的有机发光材料的温度仍然满足蒸镀要求，以提高蒸发源100的工作稳定性。

此外，一旦有机发光材料堵塞了个别喷嘴21，可以通过调节辅加热件3的工作温度以使喷孔211内的有机发光材料快速蒸发或升华，进而可以快速地解决喷嘴21堵塞的问题，提高喷嘴21堵塞的处理速度。

如图3和图4所示，辅加热件3在喷嘴21的外部对喷嘴21加热，辅加热件3邻近喷嘴21的顶端设置。

具体地，气态的有机发光材料由喷嘴21的底端运动到喷嘴21的顶端时，气体的热量损失较大，进而通过位于坩埚1的上方的辅加热件3在喷嘴21的顶端对气体进行辅助加热，以避免气态的有机发光材料在喷嘴21的顶端凝华或凝固。由此，不仅可以提高蒸发源100的工作稳定性，防止喷嘴21堵塞，而且温度较高的气态的有机发光材料可以更均匀的分布在待蒸镀件上，以使产品上的蒸镀层更加均匀。

此外，通过辅加热件3可以使由喷嘴21流出的气态的有机发光材料的温度更高，进而使气态的有机发光材料的流动性更好，以使有机发光材料均匀地密布在产品需要蒸镀的表面，以提高有机发光材料的材料利用率，节约生产成本。

在一些实施例中，辅加热件3的下端与喷嘴21的根部间隔开，且辅加热件3至少覆盖喷嘴21的外壁的上部。由此，通过将辅加热件3与喷嘴21的根部间隔开，以减少辅加热件3的热量向盖体2的流失，并使辅加热件3至少覆盖住喷嘴21的外壁，以确保辅加热件3可以针对性地对即将流出喷嘴21的气态的有机发光材料进行加热，以进一步地提高辅加热件3的加热效果。

可选地，辅加热件3为加热丝，加热丝至少环绕喷嘴21的外壁分布。如图5所示，用于对喷嘴进行加热的加热丝在从一个喷嘴向另一个喷嘴过渡时还可以贴在盖体本体22上，这样能够进一步为盖体本体22进行加热。此外，加热丝可以嵌设在喷嘴21内，或者外套在喷嘴21的外壁上，并使加热丝至少环绕喷嘴21的顶端设置。由此，通过环绕喷嘴21设置的辅加热件3，不仅可以使喷嘴21内的气体受热更加均匀，而且使辅加热件3具有更高的加热效率，以提升蒸发源100的蒸镀效率。

在图3和图4所示的具体的实施例中，蒸发源100还包括第一隔热件4，第一隔热件4套设在喷嘴21外且辅加热件3位于第一隔热件4与喷嘴21的外壁之间。具体而言，第一隔热件4外套在喷嘴21上，且加热丝也可以嵌设在第一隔热件4上。由此，通过设置第一隔热件4以将喷嘴21以及辅加热件3与外界间隔开，以降低辅加热件3以及喷嘴21的热量流失。

如图4所示，第一隔热件4为环形套体，第一隔热件4至少覆盖住辅加热件3。换言之，通过设置至少覆盖住辅加热件3的第一隔热件4以提高第一隔热件4的隔热效果，以使更多的热量流向喷嘴21，以提高辅加热件3的加热效率。

此外，可以使第一隔热件4与喷嘴21间隔设置。这样，空气也是热的不良导体，进而通过第一隔热件4与喷嘴21之间的空气以及第一隔热件4对喷嘴21进行隔热，以使第一隔热件4具有更好的隔热效率，可以更有效地降低喷嘴21以及辅加热件3的热量流失。

如图3所示，第一隔热件4的高度小于或等于喷嘴21的高度，第一隔热件4的顶端与喷嘴21的顶端相平齐或低于喷嘴21的顶端。由此，可以使流出喷嘴21的气态的有机发光材料不会滞留在第一隔热件4的侧壁上，以提高材料利用率，降低生产成本。

如图5所示，蒸发源100还包括第二隔热件5，第二隔热件5夹设在盖体2与坩埚1之间。由此，通过设置第二隔热件5，以减少盖体2向坩埚1传递热量，从而保证了喷嘴21处的热量，进一步地避免了气态的有机发光材料遇冷凝结。

进一步地，第二隔热件5、盖体2、坩埚1通过螺栓连接，螺栓依次穿过盖体2、第一隔热件4以与坩埚1连接。

具体而言，盖体2上具有凸柱或者凹孔以及安装孔，对应地坩埚1上具有凹孔或者凸柱以及安装孔，以通过凸柱与凹孔的插接配合进行定位，进而在盖体2与坩埚1之间设置第二隔热件5，且使螺栓依次穿过盖体2、第一隔热件4并与坩埚1连接，在通过第二隔热件5降低盖体2的热量流失的同时，使盖体2与坩埚1共同限定出的容纳空间具有更好的密封性。

可选地，第一隔热件4和第二隔热件5均为微纳隔热板，微纳隔热板为多孔结构。由此，降低第一隔热件4以及第二隔热件5的热传导率，使第一隔热件4以及第二隔热件5具有更好的隔热效果。

需要说明的是，微纳隔热板是指一种内部具有很多密闭的纳米级的小孔的隔热板，这些小孔内部的空气几乎静止，以有效地阻止了热对流，进而热量通过热传导的方式进行传递，而由于保温材料内部的小孔非常多，热量要沿着这些小孔的孔壁传递，就有效地降低了热传导的速度。

进一步地，在盖体本体22的上方还设置有散热器(图中未示出)以及热反射件(图中未示出)，散热器可以设置在坩埚以及盖体2组成的整体外，热反射件至少设于盖体2上方。由此，不仅可以通过热反射件以减少盖体本体22以及喷嘴21的热辐射，以减少盖体本体21以及分布在盖体本体21上的喷嘴21的热量流失，还可以通过散热器降低整个环境的温度，实现对蒸发源100的工作环境的降温，进而提高盖体的工作稳定性。

可选地，热反射件为包括多个反射板，多个反射板层叠设置且焊接为一体。由此，不仅热反射件的热反射效果好，以降低盖体2的热传导率，而且结构强度高。

根据本实用新型第二方面实施例的蒸镀装置，包括如上述实施例中的蒸发源100。

根据本实用新型实施例的蒸镀装置，通过上述的蒸发源100对有机发光材料进行加热，进而使之附着到产品的表面上，以完成蒸镀，整个过程中，不仅蒸镀装置的工作稳定性更高，而且对有机发光材料的利用率更高，降低了生产成本。

根据本实用新型又一方面实施例的有机电致发光显示器生产设备，包括上述实施例中的蒸镀装置。

根据本实用新型实施例的有机电致发光显示器生产设备，通过上述蒸镀装置已完成对产品的发光表面的蒸镀，且整个生产过程中，蒸镀装置的工作稳定性较高，宕机几率较低，进而提高了生产设备的生产稼动率。

综上，在蒸镀装置的使用过程中，坩埚1对容纳空间内的有机发光材料进行加热蒸发或升华，蒸发或升华后生成的气态的有机发光材料经由喷嘴21喷射出蒸发源100，以形成为多个有机气体云团，玻璃基板设置在蒸发源100上方，进而有机气体云团附着在玻璃基板上以形成为有机发光层。

进一步地，为了避免有机发光材料在喷嘴21处凝华或凝固，本实用新型设置至少对喷嘴21加热的辅加热件3，并在喷嘴21的外侧设置第一隔热件4，在盖体2与坩埚1之间设置第二隔热件5，以从减少热量流失以及增大热量供给的两个途径进行改进，从而能够减少喷嘴堵塞所造成的蒸镀装置宕机的几率，提高蒸镀装置的工作稳定性，进而提高生产效率，以提高生产稼动率，而且使气态的有机发光材料可以均匀地蒸镀到玻璃基板上。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的结构或单元必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由权利要求及其等同物限定。