一种真空镀膜生产线的制作方法

本发明属于真空镀膜领域，尤其涉及一种真空镀膜生产线。

背景技术：

真空镀膜技术发展很快，从蒸发镀膜到磁控溅射镀膜、多弧离子镀膜等；应用范围也越来越广泛如：建筑玻璃领域，太阳能领域，电了产品领域、刀具生产领域等都应用到真空镀膜技术；真空镀膜设备也从单室间歇式真空镀膜机发展到多室连续式真空镀膜生产线。

现有技术比较典型的立式连续真空镀膜生产线包括：依次连接的前横移装置、进片架、进片室、前精抽室、前过渡室、镀膜室(镀膜室可能有若干个)、后过渡室、后精抽室、出片室、出片架、后横移装置和工件小车返回装置，上述的各个室统称为“真空室”；某些真空室的连接处设置有真空锁(一种翻板阀，关闭时可隔断两个真空室之间的气体通路，开启时可让工件小车从阀门的出入料口通过)和抽气机组(使真空室获得一定负压的装置)；每个真空室、前横移装置、进片架、出片架、后横移装置和工件小车返回组件均设置有驱动工件小车作平移运动的工件小车传送装置；前、后横移装置还可带动工件小车左右移动。

自动镀膜过程：工件小车返回装置上的工件小车(用于承载被镀膜的工件如玻璃、胶板等)经前横移装置进入进片架装载工件，当进片室真空锁开启时工件小车进入进片室，当工件完全进入进片室后关闭进片室真空锁，进片室抽气机组对进片室抽气，当进片室气压达到一定数值(通常为3帕)时开启前精抽室真空锁，工件小车进入前精抽室；就这样工件小车依次进入各个真空室，各个真空室对应的抽气机组按一定的程序抽气；当工件小车的工件走过镀膜室后就被镀上了一层或多层薄膜，再经一定的程序走出其它真空室来到出片架，这时可将工件从工件小车上取下；取完工件后工件小车走进后横移装置，再经工件小车返回装置走进后横移装置完成一个工作循环从而达到连续生产的目的(生产线上同时设置有多台工件小车)。

现有技术立式连续真空镀膜生产线的真空室比较多，还设置有专门的工件小车返回装置，具有复杂结构复杂、占地面积大、投资成本大等不足之处。

技术实现要素：

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种真空镀膜生产线，克服现有的真空镀膜生产线结构复杂，占地面积大，投资成本大等问题。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：提供一种真空镀膜生产线，包括至少一个用于固定工件的工件小车、至少一个并列设置有进片腔和出片腔的真空室、分别设置在进片腔内和出片腔内用于运输工件小车的第一传送机构和第二传送机构、用于将从进片腔流出的工件小车传送进入出片腔的回转室，所述真空室与回转室连接。

本发明的更进一步优选方案是：所述真空镀膜生产线还包括用于将从出片腔流出的工件小车传送进入进片腔的回转组件，所述回转组件、回转室分别设置在真空室两端。

本发明的更进一步优选方案是：所述真空镀膜生产线还包括用于工件上下料的装卸片架，所述装卸片架设置在回转组件与真空室之间。

本发明的更进一步优选方案是：所述回转室包括与真空室连通的回转仓体，设置在回转仓体上用于将工件小车旋转180°的第一回转机构，设置在第一回转机构上用于运输工件小车的第三传送机构，所述回转仓体上与真空室配合的位置开设有进出料口。

本发明的更进一步优选方案是：所述第一回转机构包括用于放置工件小车和第三传送机构的第一回转支架，连接第一回转支架与回转仓体的设有带齿外圈的第一回转支承，与带齿外圈啮合的第一传动齿轮，以及用于驱动第一传动齿轮转动的第一驱动装置。

本发明的更进一步优选方案是：所述回转室还包括用于调节第一回转机构高度的调高机构，所述调高机构设置在第一回转机构与回转仓体之间。

本发明的更进一步优选方案是：所述回转室还包括用于调节第一回转机构回转中心的回转中心调整机构，所述回转中心调整机构穿过调高机构与回转仓体连接。

本发明的更进一步优选方案是：所述回转组件包括设置在真空室一侧的回转机构底架，设置在回转机构底架上用于将工件小车旋转180°的第二回转机构，设置在第二回转机构上的用于运输工件小车的第四传送机构。

本发明的更进一步优选方案是：所述第三传送机构包括导向机构、转动设置在第一回转支架上的多个摩擦轮，用于驱动摩擦轮转动的第二驱动装置，连接摩擦轮与第二驱动装置的传动组件，所述工件小车一端滑动穿设在导向机构上，另一端抵靠在摩擦轮上。

本发明的更进一步优选方案是：所述第三传送机构还包括转动穿设在回转仓体下部的轴套，所述第二驱动装置通过轴套与第一回转支架连接，与第一回转支架同轴转动。

本发明的有益效果在于：通过在一个真空室里并列设置进片腔和出片腔，所述进片腔和出片腔内分别设置第一传送机构和第二传送机构，即可在一个真空室里完成两个工序，有效的减少真空室的使用数量；再通过设置一个与真空室连接的回转室，即可将流出产线的工件小车转向传送回到产线上，有效的缩小小车返回装置的占地面积；本发明具有结构简单，占地面积小，投资成本低，工作效率高等优点。

附图说明

下面将结合附图及实施例对发明作进一步说明，附图中：

图1是本发明真空镀膜生产线的结构示意图；

图2是本发明真空镀膜生产线的局部放大图；

图3是本发明回转室的内部结构示意图；

图4是本发明回转室的剖视图；

图5是本发明回转室另一方向的剖视图；

图6是本发明回转室的局部放大剖视图；

图7是本发明回转室的内部结构局部放大示意图；

图8是本发明回转组件的剖视图。

具体实施方式

现结合附图，对本发明的较佳实施例作详细说明。

如图1、图2所示，本实施例的一种真空镀膜生产线，包括至少一个用于固定工件的工件小车1、至少一个并列设置有进片腔21和出片腔22的真空室2、分别设置在进片腔21内和出片腔22内用于运输工件小车1的第一传送机构和第二传送机构、用于将从进片腔21流出的工件小车1传送进入出片腔22的回转室4，所述真空室2与回转室4连接。通过在一个真空室2里并列设置进片腔21和出片腔22，所述进片腔21和出片腔22内分别设置第一传送机构和第二传送机构，即可在一个真空室2里完成两个工序，有效的减少真空室2的使用数量；再通过设置一个与真空室2连接的回转室4，即可将流出产线的工件小车1转向传送回到产线上，有效的缩小小车返回装置的占地面积；本发明具有结构简单，占地面积小，投资成本低，工作效率高等优点。

进一步的，如图1、图2所示，所述真空镀膜生产线还包括用于将从出片腔22流出的工件小车1传送进入进片腔21的回转组件5，所述回转组件5、回转室4分别设置在真空室2两端。通过增加一个回转组件5用于将从出片腔22流出的工件小车1传送进入进片腔21，可以进一步提升真空镀膜生产线的便捷性，通过回转组件5与回转室4的配合，即可以实现真空镀膜生产线的全自动生产，无需再通过人工搬运工件小车1，且占地面积更加小。

进一步的，如图1、图2所示，所述真空镀膜生产线还包括用于工件上下料的装卸片架3，所述装卸片架3设置在回转组件5与真空室2之间。所述装卸片架3包括装卸片架主体以及设置在装卸片架主体上与真空室2的进片腔21内和出片腔22位置相对应的第五传送机构和第六传送机构。本实施例中，装卸片架3由装卸片架主体与第五传送机构和第六传送机构构成，所述第五传送机构和第六传送机构可用于传送工件小车1，工件小车停留于装卸片架主体时，可进行上料以及下料，提高真空镀膜生产线使用的便捷性。

进一步的，如图1、图2、图3、图4所示，所述回转室4包括与真空室2连通的回转仓体41，设置在回转仓体41上用于将工件小车1旋转180°的第一回转机构42，设置在第一回转机构42上用于运输工件小车1的第三传送机构43，所述回转仓体41上与真空室2配合的位置开设有进出料口411。通过第三传送机构43可将工件小车1送入和送出回转室4，通过第一回转机构42可对工件小车1进行换向；再将回转仓体41与真空室2连通，可以在回转仓体41与真空室2的压强保持一样的情况下下对工件小车1进行换向，无需回复到大气压，有效的缩短工件小车1换向的时间，提高真空镀膜生产线的工作效率。所述回转室4还包括设置在设置在回转仓体41上的抽气孔412，通过增加一个抽气孔412，可以用于连接抽气机组调节回转室4的气压，使回转室4的气压与相连真空室的气压保持一致，以提高镀膜生产线的工作效率。

进一步的，如图3、图4、图6所示，所述第一回转机构42包括用于放置工件小车1和第三传送机构43的第一回转支架421，连接第一回转支架421与回转仓体41的设有带齿外圈4221的第一回转支承422，与带齿外圈4221啮合的第一传动齿轮423，以及用于驱动第一传动齿轮423转动的第一驱动装置424。所述第一回转支承422还包括内圈4222，所述内圈4222设置在回转仓体41上，所述第一回转支架421设置在带齿外圈4221上。通过第一驱动装置424驱动第一传动齿轮423转动，即可带动第一回转支架421转动，从而完成工件小车1的换向功能。本实施例中，第一驱动装置424为驱动电机，当然也可以是旋转气缸等。

进一步的，如图3、图4、图6、图7所示，所述回转室4还包括用于调节第一回转机构42高度的调高机构44，所述调高机构44设置在第一回转机构42与回转仓体41之间。通过增加一个高度调整机构44，用于调整第一回转机构42的高度至与生产线的高度相适应，即可有效的降低回转室4的加工精度要求，有效的降低生产成本。更进一步的，所述高度调整机构44包括调高板441、调节调高板441高度的第一调节螺栓442和第一调节螺母443，所述第一调节螺栓442一端与回转仓体41连接另一端穿过调高板441，所述第一调节螺母443有两个，分别设置在调高板441的上部和下部，所述回转支承422设置在调高板441上。通过旋转调高板411下部的第一调节螺母443即可调整调高板441的高度，再通过调高板411上部的第一调节螺母443固定，从而调整第一回转机构42的高度。本实施例中，所述第一调节螺栓442和第一调节螺母443设置有四组，通过四组第一调节螺栓442和第一调节螺母443同时进行高度调节，可以有效的提高调高机构44的稳定性。

进一步的，如图1、图3、图4、图7所示，所述回转室4还包括用于调节第一回转机构42回转中心的回转中心调整机构45，所述回转中心调整机构45穿过调高机构44与回转仓体41连接。通过增加一个回转中心调整机构45，可用于调整第一回转机构42的回转中心，可以有效的降低回转室4的加工精度要求，有效的降低生产成本。

进一步的，如图3、图5、图6图7所示，所述回转中心调整机构45包括多个设置在调高板441两侧的第二调节螺栓451和转动设置字第二调节螺栓451上的第二调节螺母452，所述第二调节螺栓451穿过调高板441与回转仓体41连接，所述第二调节螺母452设置在第二调节螺栓451上远离回转仓体41的一侧，并抵靠在调高板441上。通过转动第二调节螺母452，即可调整调高板441的位置。所述调高板441上开设有与第一调节螺栓442配合的腰型孔4411，所述腰型孔4411长轴方向与第二调节螺栓451的调节方向相同。本实施例中，调高板441是通过第一调节螺栓442与回转仓体41连接。在对回转支架421的回转中心进行调节时，通过增加与第一调节螺栓442的腰型孔4411用于适应调高板441的位置变化，可防止因调高板441的位置变化导致的第一调节螺栓442弯曲变形。需要说明的是，第一回转机构42的回转中心主要是基于产线工件小车1的前进方向进行调整，通过将第二调节螺栓451的调节方向设置为与工件小车1进出回转室4的方向垂直，即可调整第一回转机构42的回转中心至与产线相适应，可以有效的防止因回第一回转机构42位置不正与工件小车1发生碰撞，导致意外发生。

更进一步的，如图1、图8所示，所述回转组件5包括设置在真空室2一侧的回转机构底架51，设置在回转机构底架51上用于将工件小车1旋转180°的第二回转机构52，设置在第二回转机构52上的用于运输工件小车1的第四传送机构53。通过第四传送机构53可将工件小车1送入和送出回转组件5；通过第二回转机构52可将工件小车1进行换向。本实施例中，所述第二回转机构52与第一回转机构结构相似，均是通过驱动装置驱动回转支承带动回转支架转动，从而实现工件小车1转向的功能。

进一步的，如图4、图5、图8所示，所述第三传送机构43包括导向机构431、转动设置在第一回转支架421一侧的多个摩擦轮432，用于驱动摩擦轮432转动的第二驱动装置433，连接摩擦轮432与第二驱动装置433的传动组件434，所述工件小车1滑动一端穿设在导向机构431上，另一端抵靠在摩擦轮432上。通过第二驱动装置433驱动摩擦轮432转动，从而实现摩擦轮432上的工件小车1前进或后退的动作，通过导向机构431可以用于导引工件小车1的前进方向，保证第三传送机构43运行的稳定性。本实施例中，所述第三传送机构不仅限于使用第二驱动装置433驱动摩擦轮432完成传送工件小车1的功能，还可以通过通过齿轮、齿条等方式对工件小车1进行传送。

进一步的，所述传动组件434包括传动轴与传动齿轮，通过传动轴与传动齿轮配合即可传递第二驱动装置433的动力，完成传送工件小车1的功能；其中所述齿轮可以为伞齿轮或斜齿轮。本实施例中，所述传动组件434也使用链传动、皮带传等传动方式驱动摩擦轮432转动，从而完成驱动工件小车1进行前进或后退的动作。

进一步的，如图5所示，所述导向机构431为磁导向机构，所述导向机构431包括磁性导轨和设置在工件小车1上方的用于与磁性导轨配合的多个永磁体。所述永磁体与磁性导轨之间极性相同相互排斥，通过永磁体与磁性导轨的配合，可以有效的降低工件小车1与导轨的摩擦力，提高第三传送机构43的运输效果。

更进一步的，如图4、图8所示，所述第三传送机构43、第四传送机构53的结构相似，均是通过驱动装置2带动摩擦轮432转动等完成工件小车1的运输功能。本实施例中，所述第一传送机构、第二传送机构、第五传送机构、第六传送机构结构相似，通过同步带驱动滑轮带动工件小车1运动，从而实现传送工件小车1的功能。

更进一步的，如图3、图5所示，所述第三传送机构43还包括转动穿设在回转仓体41下部的轴套435，所述第二驱动装置433通过轴套435与第一回转支架421连接，与第一回转支架421同轴转动。所述传动组件434穿过轴套435连接摩擦轮432和第二驱动装置433。通过增加一个轴套435连接第二驱动装置433和第一回转支架421，在第一回转支架421进行转动时，第二驱动装置433和传动组件434同时进行转动，可以简化第三传送机构43的结构同时提高第三传送机构43的稳定性。

进一步的，如图1、图2所示，所述真空镀膜生产线包括六个连续设置的真空室，根据工序的不同分为进出片室、精抽室、前过渡室、镀膜室a、镀膜室b、后过渡室，所述进出片室与装卸片架3连接，所述回转室与后过渡室连接。所述进出片室的进片腔和出片腔分别连通第一抽气机组和第二抽气机组；所述精抽室的进片腔和出片腔分别连通第三抽气机组和第四抽气机组；所述前过渡室、镀膜室a、镀膜室b、后过渡室的进片腔连接第五抽气机组；所述前过渡室、镀膜室a、镀膜室b、后过渡室的出片腔及回转室连接第六抽气机组。所述进出片室与装卸片架3之间设置有第一真空锁和第二真空锁；所述进出片室、精抽室之间设置有第三真空锁和第四真空锁，所述精抽室、前过渡室之间设置有第五真空锁和第六真空锁。

本发明的工作原理：

卸载工件后，位于装卸片架3上第六传送机构一侧工件小车1进入回转组件5，回转组件5上的第二回转机构52带动工件小车1旋转180°后，第四传送机构53传送的工件小车1进入装卸片架的第五传送机构一侧这时就可以把要镀膜的工件固定工件小车1上，开启第一真空锁，工件小车1走入进出片室的进片腔，当工件小车完全进入后关闭第一真空锁，第一抽气机组对进出室进片腔室抽气，气压达到一定数值时(通常为3帕)时开启真第三真空锁，工件小车进入精抽室的进片腔，当工件小车1完全进入后关闭第三真空锁，当精抽室进片腔室气压达到一定数值(通常为0.08帕，自动控制时第三抽气机组连续对精抽室进片腔抽气)，开启第五真空锁；工件小车1进入前过渡室进片腔，然后走进镀膜室的进片腔进行镀膜，再经后过渡室进片腔走进回转室，工件小车完全进入回转室后，回转室4的第一回转机构42旋转180°，工件小车1从回转室4走进后过渡室出片腔，跟着走进镀膜室出片腔再次镀膜，继续走进前过渡室出片腔，到达指定位置时开启第六真空锁，工件小车进入精抽室出片腔，当工件小车完全进入后关闭第六真空锁，开启第四真空锁，工件小车进入进出片室出片腔，当工件小车完全进入后关闭第四真空锁(自动控制时第四抽气机组连续对精抽室出片腔室抽气)，进出片室出片腔放气(卸真空)，放气完毕后开启第二真空锁，工件小车走进装卸片架出片侧，关闭第二真空锁(第二真空锁关闭后第二抽气机组对进出室出片腔室抽气)，这时可将工件从工件小车1上取下；取完工件后工件小车1走进回转组件5开始下一个工作循环。生产线上同时设置有多台工件小车1，每个工位上的工作可同时进行，从而达到连续生产的目的。

应当理解的是，以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制，对本领域技术人员来说，可以对上述实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而所有这些修改和替换，都应属于本发明所附权利要求的保护范围。