一种具有散热设备的真空镀膜机的制作方法

本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种具有散热设备的真空镀膜机。

背景技术：

真空镀膜机指的就是真空度较高的情况下进行的镀膜设备，大致包括真空离子蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、PLD激光溅射沉积镀膜机等。由于真空镀膜机在进行镀膜的时候，必须通过加热装置将其内部的温度加热至很高的温度后，才能够开始镀膜工作，当完成镀膜后，需要待其内部温度降下来后才能够进行取料。由于现有技术中的真空镀膜机内的降温散热效果大多达不到要求，造成在生产时需要耗费大量的时间去等待降温，从而增大了生产的时间成本以及人力成本。

技术实现要素：

针对上述问题，本实用新型提出一种具有散热设备的真空镀膜机，能够大大缩短真空镀膜机的降温时间，提高生产效率。

实现上述技术目的，达到上述技术效果，本实用新型通过以下技术方案实现：

一种具有散热设备的真空镀膜机，包括：

镀膜机腔体，所述镀膜机腔体包括内层和外层；

放置架，所述放置架设于所述镀膜机腔体内，其包括底板、支撑杆和若干个放料板；所述底板设于所述镀膜机腔体的底部，所述支撑杆为空腔结构，其垂直于所述底板设置，一端与所述底板固定相连，另一端上设有与其内部连通的开口，且贯穿所述镀膜机腔体内层的顶壁；各放料板内部均设有空腔，且分别与所述支撑杆内的空腔连通；

第一散热水管，所述第一散热水管设于所述镀膜机腔体的内层与外层之间，呈迂回型，一端与镀膜机腔体外部水箱内的水泵相连，另一端与所述支撑杆上远离底板的一端相连通；

第二散热水管，所述第二散热设于所述镀膜机腔体的内层与外层之间，其长度小于第一散热水管的长度，一端与镀膜机腔体外部水箱连通，另一端与所述支撑杆上远离底板的一端相连通；

驱动单元，所述驱动单元设于镀膜机腔体的内层和外层之间，且输出轴与所述放置架的底部相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述放料板上设有滑槽，所述滑槽的延伸方向与所述放料板的延伸方向相同，且滑槽内设有与放料板垂直的挡板。

作为本实用新型的进一步改进，所述挡板与支撑杆之间通过弹性件相连。

作为本实用新型的进一步改进，所述挡板的高度为竖直方向上相邻两个放料板间距的1/5～1/4。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一散热水管的均匀分布在镀膜机腔体的内层和外层之间。

作为本实用新型的进一步改进，所述镀膜机腔体的外层上还设有散热翅片。

作为本实用新型的进一步改进，所述镀膜机腔体的内层和外层之间设有冷凝器。

作为本实用新型的进一步改进，所述第一散热水管中的水流方向为从水箱流到支撑杆和放料板内；所述第一散热水管中的水流方向为从支撑杆流到水箱。

作为本实用新型的进一步改进，所述支撑杆上远离底板的端部的开口与第一散热水管和第二散热水管之间通过变径三通接头相连。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：

本实用新型的一种具有散热设备的真空镀膜机，利用第一散热水管和第二散热水管，实现对放置架进行散热，同时，第一散热水管还遍布于镀膜机腔体内，也起到对镀膜机腔体进行散热的效果，因此，能够大大缩短真空镀膜机的降温时间，提高生产效率。

进一步地，本实用新型的一种具有散热设备的真空镀膜机，在放置架的底部设置了驱动单元，利用驱动单元驱动放置架做自转，从而能够防止远离靶材的地方镀膜效果差的问题。

附图说明

图1为本实用新型一种实施例的结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

下面结合附图对本实用新型的应用原理作详细的描述。

实施例1

如图1所示，一种具有散热设备的真空镀膜机，包括：

镀膜机腔体1，所述镀膜机腔体1包括内层101和外层102；

放置架，所述放置架设于所述镀膜机腔体1内，其包括底板2、支撑杆3和若干个放料板4；所述底板2设于所述镀膜机腔体1的底部，所述支撑杆3为空腔结构，其垂直于所述底板2设置，一端与所述底板2固定相连，另一端上设有与其内部空腔连通的开口，且贯穿所述镀膜机腔体1内层101的顶壁，在具体实施时，该端上套设有轴承，用于配合驱动单元转动；各放料板4内部均设有空腔，且分别与所述支撑杆3内的空腔连通，即各放料板4上靠近支撑杆3的一端处设有开口，且支撑杆3上也设有相应的开口；在本实施例的优选实施方式中，所述支撑杆3的横截面为矩形或者圆形；所述放料板4的横截面为矩形或者圆形；

第一散热水管5，所述第一散热水管5设于所述镀膜机腔体1的内层101与外层102之间，呈迂回型，一端与镀膜机腔体1外部水箱7内的水泵相连，另一端与所述支撑杆3上远离底板2的一端相连通；优选地，所述第一散热水管5的均匀分布在镀膜机腔体1的内层101和外层102之间，以实现对镀膜机腔体1的降温；所述第一散热水管5中的水流方向为从水箱7流到支撑杆3和放料板4内；

第二散热水管6，所述第二散热设于所述镀膜机腔体1的内层101与外层102之间，其长度小于第一散热水管5的长度，一端与镀膜机腔体1外部水箱7连通，另一端与所述支撑杆3上远离底板2的一端相连通；所述第一散热水管5中的水流方向为从支撑杆3流到水箱7；

所述支撑杆3上远离底板2的端部的开口与第一散热水管5和第二散热水管6之间通过三通接头相连；

驱动单元10，所述驱动单元设于镀膜机腔体1的内层101和外层102之间，且输出轴与所述放置架的底部相连。

进一步地，为了提高散热效果，所述镀膜机腔体1的外层102上还设有散热翅片8；所述镀膜机腔体1的内层101和外层102之间设有冷凝器。

综上所述：当完成镀膜需要降温时，启动水箱7内的水泵，利用水泵向第一散热水管5内提供冷水，冷水顺着第一散热水管5进入到支撑杆3内，并从支撑杆3内进入到各放料板4内的空腔内，最终通过第二散热水管6回流到水箱7内，实现放置架的降温。

实施例2

本实施例与实施例1的区别在于：

所述放料板4上设有滑槽，所述滑槽的延伸方向与所述放料板4的延伸方向相同，且滑槽内设有与放料板4垂直的挡板9。

在本实施例的优选实施方式中，所述挡板与支撑杆3之间通过弹性件(图中未示出)相连。

在本实施例的优选实施方式中，所述挡板9的高度为竖直方向上相邻两个放料板4间距的1/5～1/4。

综上所述：

本实用新型的一种具有散热设备的真空镀膜机，利用第一散热水管5和第二散热水管6，实现对放置架进行散热，同时，第一散热水管5还遍布于镀膜机腔体1内，也起到对镀膜机腔体1进行散热的效果，因此，能够大大缩短真空镀膜机的降温时间，提高生产效率。

进一步地，本实用新型的一种具有散热设备的真空镀膜机，在放置架的底部设置了驱动单元，利用驱动单元驱动放置架做自转，从而能够防止远离靶材的地方镀膜效果差的问题。

以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。