一种掩膜板的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型有关一种掩膜板，特别是指一种能够拆分，且能共用掩膜框的真空蒸镀掩膜板。
【背景技术】
[0002]在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，在蒸镀过程中，需用到掩膜板。如图1所示，现有蒸镀用掩膜板，其掩膜6是直接固定在掩膜框7上，即掩膜板为一体构造，当采用不同的掩膜时，只能相应更换不同的掩膜框；同时由于掩膜固定在掩膜框上，使掩膜张力无法调整。
【实用新型内容】
[0003]有鉴于此，本实用新型的主要目的在于提供一种能够拆分，且能共用掩膜框的掩膜板。
[0004]为达到上述目的，本实用新型提供一种掩膜板，其包括有掩膜、固定框与掩膜框，其中该掩膜固定连接在固定框上，该掩膜与固定框形成一个整体，该掩膜框套合在该固定框内，该掩膜框与固定框能组合与拆卸。
[0005]所述掩膜框外侧设有第一凹槽，所述固定框的内侧相对该第一凹槽位置处设有凸块，该掩膜框套合在该固定框内时，该凸块嵌合在该第一凹槽内。
[0006]所述固定框的内侧设有第一凹槽，所述掩膜框的外侧相对该第一凹槽位置处设有凸块，该掩膜框套合在该固定框内时，该凸块嵌合在该第一凹槽内。
[0007]所述掩膜板至少一个边的外侧设有多个第二凹槽，该第二凹槽内设有能对掩膜张力调整的垫片。
[0008]所述固定框的至少一个边的内侧设有多个第二凹槽，该第二凹槽内设有能对掩膜张力调整的垫片。
[0009]所述第二凹槽设于所述掩膜框外侧靠近所述掩膜处。
[0010]所述第二凹槽设于所述固定框内侧靠近所述掩膜处。
[0011]各所述第二凹槽内的垫片的长度不同或相同。
[0012]所述固定框的四个边分别独立，相邻两个边之间设有缺口。
[0013]所述掩模与固定框激光焊接连接。
[0014]本实用新型可通过将掩膜与掩膜框分成两部分，使用时进行组合，不使用时可进行拆卸，使不同的掩膜可共用同一个掩膜框，达到节约成本的目的。
【附图说明】
[0015]图1为现有技术中掩膜板的结构示意图；
[0016]图2为本实用新型掩膜板的分解立体图；
[0017]图3为本实用新型掩膜板组装后示意图。
【具体实施方式】
[0018]为便于对本实用新型的结构及达到的效果有进一步的了解，现结合附图并举较佳实施例详细说明如下。
[0019]如图2与图3所示，本实用新型的掩膜板包括有掩膜1、固定框2与掩膜框3，其中掩膜I四周固定连接在固定框2上，使掩膜I与固定框2形成一个整体，掩膜框3套合在固定框2内，使掩膜框3与固定框2可组合与拆卸。掩膜I与固定框2可通过激光焊接连接。
[0020]本实用新型的掩膜框3外侧设有第一凹槽30，该固定框2的内侧相对第一凹槽30位置处设有多个凸块20，当将掩膜框3套合在固定框2内时，可将固定框2内侧的凸块20嵌合在掩膜框3外侧的第一凹槽30内，以此将掩膜框3与固定框2安装在一起。
[0021]本实用新型中，第一凹槽也可设于固定框2的内侧，而凸块设于掩膜框3的外侧与第一凹槽相对的位置处，当将掩膜框3套合在固定框2内时，可将掩膜框3外侧的凸块嵌合在固定框2内侧的第一凹槽内，以此将掩膜框3与固定框2安装在一起。
[0022]本实用新型中的掩膜框3至少一个边的外侧还设有至少一个第二凹槽31，当掩膜I张力需要调整时，在需要调整的位置处第二凹槽31内可设有垫片32，将掩膜框3与固定框2安装后，通过第二凹槽31内的垫片32调整掩膜框3与固定框2的间隙，借以对掩膜I的张力进行调整，垫片32的长度可根据调整间隙的需要可长可短。当设有多个第二凹槽31时，第二凹槽31内可设置相同或不同尺寸的垫片32，在张力需要调整处选择或长或短的垫片，根据需要对掩膜I张力进行不同程度的调整。
[0023]本实用新型中的第二凹槽还可设于固定框2的至少一个边的内侧，通过垫片进行掩膜张力的调整可见上述，不再赘述。本实用新型中的第二凹槽可设于固定框2内侧靠近掩膜I处或设于掩膜框3外侧靠近掩膜I处，以更利于借其中的垫片32调整掩膜张力。
[0024]本实用新型中的固定框2的四个边可分别独立，相互之间设有缺口，可以方便拆装。
[0025]本实用新型可通过将掩膜与掩膜框分成两部分，使用时进行组合，不使用时可进行拆卸，使不同的掩膜可共用同一个掩膜框，达到节约成本的目的；同时通过在掩膜框上的第二凹槽内增加垫片，可调节掩膜张力。
[0026]以上所述，仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用于限定本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种掩膜板，其特征在于，其包括有掩膜、固定框与掩膜框，其中该掩膜固定连接在固定框上，该掩膜与固定框形成一个整体，该掩膜框套合在该固定框内，该掩膜框与固定框能组合与拆卸； 所述掩膜框外侧设有第一凹槽，所述固定框的内侧相对该第一凹槽位置处设有凸块，该掩膜框套合在该固定框内时，该凸块嵌合在该第一凹槽内；或， 所述固定框的内侧设有第一凹槽，所述掩膜框的外侧相对该第一凹槽位置处设有凸块，该掩膜框套合在该固定框内时，该凸块嵌合在该第一凹槽内。
2.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板至少一个边的外侧设有多个第二凹槽，该第二凹槽内设有能对掩膜张力调整的垫片。
3.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述固定框的至少一个边的内侧设有多个第二凹槽，该第二凹槽内设有能对掩膜张力调整的垫片。
4.如权利要求2所述的掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽设于所述掩膜框外侧靠近所述掩膜处。
5.如权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述第二凹槽设于所述固定3框内侧靠近所述掩膜处。
6.如权利要求2或3所述的掩膜板，其特征在于，各所述第二凹槽内的垫片的长度不同或相同。
7.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述固定框的四个边分别独立，相邻两个边之间设有缺口。
8.如权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜与固定框激光焊接连接。
【专利摘要】本实用新型公开了一种掩膜板，其包括有掩膜、固定框与掩膜框，其中该掩膜固定连接在固定框上，该掩膜与固定框形成一个整体，该掩膜框套合在该固定框内，该掩膜框与固定框能组合与拆卸。本实用新型可通过将掩膜与掩膜框分成两部分，使用时进行组合，不使用时可进行拆卸，使不同的掩膜可共用同一个掩膜框，达到节约成本的目的。
【IPC分类】C23C14-24, C23C14-04
【公开号】CN204356395
【申请号】CN201420641286
【发明人】彭丽娟, 尤沛升, 高明, 洪耀
【申请人】昆山维信诺科技有限公司
【公开日】2015年5月27日
【申请日】2014年10月31日