专利名称：多晶硅氯硅烷取样装置的制作方法
技术领域：
多晶硅氯硅烷取样装置涉及领域本实用新型涉及多晶硅的生产设备，特别是一种多晶硅氯硅垸取样装置。
技术背景在多晶硅的生产过程中，传统的工艺结构是将氮气吹扫、氯硅垸冷却、取样 分别单独进行，因为没有一体化设计的取样装置，这样三个步骤分开进行比较浪 费时间，效率不高，非常不方便。如果能将氮气吹扫、氯硅烷冷却、取样三个步骤通过一个设备一体化实现， 那么将是多晶硅生产的一个重要突破。 实用新型内容本实用新型为解决上述问题提供了一种多晶硅氯硅垸取样装置，能够实现实 现氮气吹扫、氯硅烷冷却、取样一体化，并且安全方便。 本实用新型的技术方案如下一种多晶硅氯硅烷取样装置,其特征在于包括柜体，所述柜体通过隔板分 为上下两层并设置有上下两扇柜门，上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出 口、氮气入口和氮气出口，上层柜体内设置有位于隔板上的取样瓶、与取样瓶连 接的流量计和膜片压力表,下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口、水 冷入口和水冷出口，下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐，所述冷凝罐与2 个样品入口、水冷入口和水冷出口同时通过管道连接。所述氮气入口通过高密封截止阀A、管道与流量计连接。所述流量计依次通过穿透隔板的管道连接位于下柜体内的三通球阀D连接， 然后三通球阀D依次通过管道、波纹软管A、三通球阀A与取样瓶连接。所述取样瓶依次通过三通球阀B、波纹软管B、三通球阀C、管道与膜片压 力表连接，膜片压力表通过法兰、高密封截止阀B与氮气出口连接。所述三通球阀C和膜片压力表之间的管道还同时连接于废液出口 。所述冷凝罐的侧面分别通过管道与水冷入口、水冷出口连接，管道中间均设 置有不锈钢球阀，冷凝罐顶部通过管道、卡套连接头A、三通球阀E与2个样品 入口连接，冷凝罐顶部还通过管道、卡套连接头B与三通球阀D连接。4所述废液出口、氮气入口和氮气出口位于上柜门的右侧。所述水冷入口、水冷出口和2个样品口位于下柜门的左侧。所述上柜门的一侧设置有通风口 ，通风口与废液出口 、氮气出口的位置相对。所述上下柜门均设置有把手。所述取样瓶为带视窗的取样瓶。本实用新型的有益效果如下本实用新型操作简单，使用安全，外形简洁、美观，工作效率高，并将氮气 吹扫、取样一体化设计，达到安全、方便、直观、高效的效果，且便于维护，使 用寿命长等特点。
图1为本实用新型的结构示意图 图2为本实用新型的外形结构示意图 图3为本实用新型的外形结构示意图 图4为本实用新型的外形结构示意图图中所示的标记为l一隔板，2—废液出口， 3—氮气入口， 4一氮气出口， 5 一取样瓶，6—流量计，7—膜片压力表，8—样品入口， 9一水冷入口， IO—水冷 出口， ll一冷凝罐，12—高密封截止阀A， 13—三通球阀D， 14一波纹软管A， 15—三通球阀A， 16—三通球阀B， 17—波纹软管B， 18—三通球阀C， 19一法兰， 20—高密封截止阀B， 21—卡套连接头A， 22—三通球阀E, 23—卡套连接头B， 24—通风口， 25—不锈钢球阀，26—把手。
具体实施方式
实施例l如图1所示， 一种多晶硅氯硅烷取样装置，包括柜体，所述柜体通过隔板分 为上下两层并设置有上下两扇柜门，上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出 口、氮气入口和氮气出口，上层柜体内设置有位于隔板上的取样瓶、与取样瓶连 接的流量计和膜片压力表，下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口、水 冷入口和水冷出口，下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐，所述冷凝罐与2 个样品入口、水冷入口和水冷出口同时通过管道连接。所述氮气入口通过高密封截止阀A、管道与流量计连接。所述流量计依次通过穿透隔板的管道连接位于下柜体内的三通球阀D连接， 然后三通球阀D依次通过管道、波纹软管A、三通球阀A与取样瓶连接。所述取样瓶依次通过三通球阀B、波纹软管B、三通球阀C、管道与膜片压 力表连接，膜片压力表通过法兰、高密封截止阀B与氮气出口连接。所述三通球阀C和膜片压力表之间的管道还同时连接于废液出口。所述冷凝罐的侧面分别通过管道与水冷出口、水冷入口连接，管道中间均设 置有不锈钢球阀，冷凝罐顶部通过管道、卡套连接头A、三通球阀E与2个样品 入口连接，冷凝罐顶部还通过管道、卡套连接头B与三通球阀D连接。本实用新型的工作流程如下吹扫流程氮气入口—高密封截止阀A—流量计—三通球阀D—三通球阀A —三通球阈B—三通球阀C—膜片压力表一氮气出口 。取样流程样品入口 1或样品入口 2 —三通球阀E—冷凝管一三通球阀D— 三通球阀A—取样瓶一三通球阀B。水冷流程水冷入口一不锈纲球阀A—冷凝罐一不锈纲球阀B—水冷出口 。所述三通球阀均采用BTSS—ML&型。所述水冷入口、水冷出口经①18PVC管连接不锈钢球阀A、 B，其余管道均采 用08无缝管(SUS316)。 实施例2如图2所示， 一种多晶硅氯硅垸取样装置,所述废液出口、氮气出口和氮气 入口位于上柜门的右侧。所述水冷入口 、水冷出口和2个样品口位于下柜门的左侧。 实施例3如图3 4所示， 一种多晶硅氯硅垸取样装置，所述上柜门的一侧设置有通 风口，通风口与废液出口、氮气出口的位置相对。所述上下柜门均设置有把手。 实施例4一种多晶硅氯硅烷取样装置，所述取样瓶为带视窗的取样瓶。
权利要求1、一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于包括柜体，所述柜体通过隔板(1)分为上下两层并设置有上下两扇柜门，上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出口(2)、氮气入口(3)和氮气出口(4)，上层柜体内设置有位于隔板(1)上的取样瓶(5)、与取样瓶(5)连接的流量计(6)和膜片压力表(7)，下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口(8)、水冷入口(9)和水冷出口(10)，下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐(11)，所述冷凝罐(11)与2个样品入口(8)、水冷入口(9)和水冷出口(10)同时通过管道连接。
2、 根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅垸取样装置，其特征在于所述氮气 入口 (3)通过高密封截止阀A (12)、管道与流量计(6)连接。
3、 根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅垸取样装置，其特征在于所述流量 计(6)依次通过穿透隔板(1)的管道连接位于下柜体内的三通球阀D (13)连 接，然后三通球阀D (13)依次通过管道、波纹软管A (14)、三通球阀A (15) 与取样瓶(5)连接。
4、 根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅垸取样装置,其特征在于所述取样 瓶(5)依次通过三通球阀B (16)、波纹软管B(17)、三通球阀C (18)、管道与 膜片压力表(7)连接，膜片压力表(7)通过法兰(19)、高密封截止阀B (20) 与氮气出口 (4)连接。
5、 根据权利要求4所述一种多晶硅氯硅垸取样装置，其特征在于所述三通 球阀C (18)和膜片压力表(7)之间的管道还同时连接于废液出口 (2)。
6、 根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅垸取样装置，其特征在于所述冷凝 罐(11)的侧面分别通过管道与水冷入口 (9)、水冷出口 (10)连接，管道中间 均设置有不锈钢球阀(25)，冷凝罐(11)顶部通过管逍、卡套连接头A (21)、 三通球阀E (22)与2个样品入口 (8)连接，冷凝罐(11)顶部还通过管道、 卡套连接头B (23)与三通球阀D (13)连接。
7、 根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于所述废液 出口 (2)、氮气入口 (3)和氮气出口 (4)位于上柜门的右侧。
8、 根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅垸取样装置,其特征在于所述水冷 入口 (9)、水冷出口 (10)和2个样品口 (8)位于下柜门的左侧。
9、 根据权利要求1所述一种多晶硅氯硅垸取样装置，其特征在于所述上柜 门的一侧设置有通风口 (24)，通风口 (24)与废液出口 (2)、氮气出口 (4)的 位置相对。
10、 根据权利要求l所述一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于所述上 下柜门均设置有把手(26)。
专利摘要本实用新型公开了一种多晶硅氯硅烷取样装置，其特征在于包括柜体，所述柜体通过隔板分为上下两层并设置有上下两扇柜门，上层柜体外侧设置有与柜体连通的废液出口、氮气出口和氮气入口，上层柜体内设置有位于隔板上的取样瓶、与取样瓶连接的流量计和膜片压力表，下层柜体外侧设置有与柜体连通的2个样品入口、水冷入口和水冷出口，下层柜体内设置有固定于底部的冷凝罐，所述冷凝罐与2个样品入口、水冷入口和水冷出口同时通过管道连接；本实用新型操作简单，使用安全，外形简洁、美观，工作效率高，并将氮气吹扫、取样一体化设计，达到安全、方便、直观、高效的效果，且便于维护，使用寿命长等特点。
文档编号C01B33/00GK201163246SQ20082006195
公开日2008年12月10日 申请日期2008年1月23日 优先权日2008年1月23日
发明者汪付祧, 许跃勇 申请人:乐山市永晟仪表阀门制造有限公司